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Agilent Technologies Heliumlecksucher
HINWEIS
Alternativ, wenn Sie einen Massendurchflussmesser verwenden, der nicht von der
Lecksucher-Software unterstützt wird
(alles andere als der Massendurchflussmesser der Marke Alicat Scientific):
1. Befestigen Sie den Massendurchflussmesser in Reihe über der Stromtester-Sniffing-
Gun von Agilent (Agilent Teilenummer K9565306).
2. Befestigen Sie den Massendurchflussmesser an der Sniffing-Gun durch
Verwendung eines KF am Kompressionsanschlussadapter, 1/8" bis NW25 (Agilent
Teilenummer KCP250125), wenn Sie den Stromtester als Messventil verwenden
(Abbildung 5-22).
3. Führen Sie eine interne Kalibrierung durch.
4. Führen Sie eine externe Kalibrierung mit dem Sniffing-Tester durch, indem Sie:
a. Auswahl Kalibrierung > Kalibrieren Mit > Externes Leck.
b. Eingabe des Werts des extern kalibrierten Lecks. Halten Sie den Tester an den
Einlass des Standardlecks.
c. Drücken von Kalibrieren.
Abbildung 5-22 Externe Sniff-Kalibrierungseinrichtung
5. Wählen Sie Testkonfigurationen > Anwendungseinrichtung.
6. Wählen Sie PPM-Sniff-Methode > Anwendungseinrichtung.
7. Stellen Sie sicher, dass das System im Test ist und der Testanschlussdruck zwischen
5E-1 Torr 1 Torr angepasst ist.
8. Wählen Sie die Option MFM .
9. Eingabe der Fluss - SCCM angezeigt vom MFM-/MFC-Regler.
Der Lecksucher ist jetzt bereit zur Messung der Konzentration von Helium in PPM.
Um die Verbindung zwischen dem Stromtester-Sniffing und dem
Massendurchflussmesser herzustellen.
1. Befestigen Sie den Massendurchflussmesser am Niederdruckende mit einer NW25
Vakuumbefestigung (Abbildung 5-23).
Der kleinste Massendurchflussmesser, der verwendet
werden kann, während er immer noch funktioniert. Es könnte
300 SCCM klein sein, obwohl diese Flussrate nicht den
Massendurchfluss bei der Messung von Flüssen von
Lecksuchern mobiler Einheiten (Einheiten mit größeren
Vorvakuumpumpen) lesen kann.
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