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Unterstützung
Beide Filamente/
Keine Emission
Agilent Technologies Heliumlecksucher
Tabelle 3-2 Betriebszustände des Lecksuchers
Gibt an, dass der Lecksucher momentan die Foreline der
Hochvakuumpumpe während einer erweiterten Rohperiode unterstützt.
Unterstützung erfolgt, wenn die Rohbearbeitungszeit größer als 60
Minuten ist oder wenn die Turbopumpe nicht bereit ist.
Gibt an, dass keine Filamentemission erkannt wurde. Dies kann von einem
PCB- oder Kabelproblem oder ausgebrannten Filamenten resultieren.
Beschreibung
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