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Agilent Technologies G8610A Bedienungsanleitung
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Agilent Technologies G8610A Bedienungsanleitung

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Agilent
Technologies
Heliumlecksucher
MODELLE: G8610A, G8610B, G8611A,
G8611B, G8611C, G8612A, G8612B, G8612C,
UND G8612D
Handbuch-Nr. G8610-90002
Revision A
Dezember 2017
Unterteilung der
Vakuumprodukte
BEDIENUNGSANLEITUNG

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Verwandte Anleitungen für Agilent Technologies G8610A

Inhaltszusammenfassung für Agilent Technologies G8610A

  • Seite 1 Unterteilung der Vakuumprodukte Agilent BEDIENUNGSANLEITUNG Technologies Heliumlecksucher MODELLE: G8610A, G8610B, G8611A, G8611B, G8611C, G8612A, G8612B, G8612C, UND G8612D Handbuch-Nr. G8610-90002 Revision A Dezember 2017...
  • Seite 2 Agilent Technologies Heliumlecksucher Contra-Flow ist eine Marke oder eingetragene Marken von Agilent, Inc. Alconox ist eine eingetragene Marke von Alconox, Inc. Apiezon ist eine eingetragene Marke von M&I Materials Ltd. Copyright 2017 Agilent, Inc...

  • Seite 3: Garantieumtausch Und -Anpassung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Garantie Vom Verkäufer hergestellte Produkte sind mit einer Garantie gegen Material- und Bearbeitungsfehler für zwölf (12) Monate ab dem Versanddatum dessen zum Kunden abgedeckt und die Haftung des Verkäufers unter gültigen Garantieansprüchen ist nach eigenem Ermessen begrenzt, das Produkt zu reparieren oder zu ersetzen oder einen angemessen Teil des Kaufpreises des Produkts zu erstatten.
  • Seite 4 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Inhaltsverzeichnis Einleitung ............................13 Dokumentationsstandards ......................13 Gefahren- und Sicherheitshinweise ................... 14 Agilent Dienstleistungen ..............................23 Kontaktaufnahme mit Agilent ..............................23 Abschnitt 1. Einführung in den Lecksucher ..................25 1.1 Der Lecksucher ........................25 1.2 Entpacken des Lecksuchers....................28 1.2.2 Entpacken, Erstinbetriebnahme, Hochdrucktestaufbau und Herunterfahren .....
  • Seite 6 Agilent Technologies Heliumlecksucher 6.3 Drahtlos ..........................112 Abschnitt 7. Wartungsbildschirm ..................... 113 7.4 Wartungsmenü ........................113 7.4.2 Intern kalibrierte Leckeinrichtung ................115 7.4.3 Manuelle Optimierung ............................. 118 7.4.4 Wartung: Ventilsteuerung ..................121 7.4.5 Wartung: Pumpe ....................... 124 7.4.6 Wartung: Messgerätkalibrierung ................125 Abschnitt 8.
  • Seite 7 Abbildungsverzeichnis Abbildung Titel Seite Tragbarer Lecksucher mit interner DS40M nasser Drehschieberpumpe, Modell G8610A und Tragbarer Lecksucher mit Interner IDP-3 (G8610B) Abmessungen ........27 Mobiler Lecksucher mit externer nasser Schieberpumpe oder trockener Scrollpumpe auf einem Wagen, Modell G8611A, G8611B und G8611C Abmessungen........................
  • Seite 8 Agilent Technologies Heliumlecksucher 5-10 Hohe Empfindlichkeit ......................83 5-11 Auto-Sequenzer ........................86 5-12 Split-Flow-Anwendung......................89 5-13 Split-Flow-Einrichtung ......................91 5-14 PPM-Sniff-Methode ......................92 5-15 Sniffing-Einrichtung ......................93 5-16 Messventil allgemeine Baugruppe ..................95 5-17 Messventil Baugruppe ......................95 5-18 Externe Sniff-Kalibrierungseinrichtung .................. 96 5-19 Alicat unterstützte Methode der PPM-Prüfung des...
  • Seite 9 Agilent Technologies Heliumlecksucher Leckortung: Von außen nach innen ................. 160 Leckmessung: Von außen nach innen ................160 Leckmessung: Von innen nach außen ................161 Leckortung: Von innen nach außen .................. 161 Ansammlung: Von innen nach außen ................162 Vakuumsystem ......................... 163...
  • Seite 10 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.
  • Seite 11 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabellenverzeichnis Tabelle Titel Seite Lecksucherkonfigurationen und Teilenummern der Serie ........... 26 Installationsanforderungen ....................34 Bildschirme – Allgemeine Beschreibung ................45 Funktionen ........................... 45 Bildschirm-Symbole ......................53 Betriebszustände des Lecksuchers..................58 Zustände des Lecksuchers ....................58 Bereichsstopp/Empfindlichkeitsanforderungen ..............107 Tabelle des Ventilzustands des Lecksuchers - einzelnes mechanisches Pumpensystem ................
  • Seite 12 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 13: Einleitung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Einleitung Dokumentationsstandards Dieses Handbuch verwendet die folgenden Dokumentationsstandards: Inhalte beinhalten wichtige Informationen. HINWEIS Vorsichtsmaßregeln erscheinen vor den Anweisungen, VORSICHT die, wenn sie nicht befolgt werden, Schäden am Gerät oder einen Datenverlust verursachen können. Warnungen Erscheinen vor einem bestimmten Verfahren...

  • Seite 14: Gefahren- Und Sicherheitshinweise

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Gefahren- und Sicherheitshinweise Die geläufigen internationalen Symbole, die in diesem Handbuch und auf dem Gerät verwendet werden, werden nachstehend definiert. AUS Versorgung (Strom) Erdrungsklemme EIN Versorgung (Strom) Vorsicht, heiße Oberfläche AC – Wechselstrom Vorsicht, Gefahr eines elektrischen...
  • Seite 15 Agilent Technologies Heliumlecksucher Lösungsmittel Die mechanischen Komponenten der Lecksucher WARNUNG werden typischerweise mit Alkohol, Methanol oder anderen Lösungsmitteln gereinigt. Wenn diese Lösungsmittel erhitzt, gesprüht oder einem Hochtemperaturgerät ausgesetzt werden, werden sie entflammt war und explosiv und führen zu ernsthaften Verletzungen oder dem Tod. Verwenden Sie diese Lösungsmittel nicht In der Nähe einer Hochtemperaturquelle.
  • Seite 16 Agilent Technologies Heliumlecksucher Vakuumgerät und Sauberkeit Bei der Instandhaltung des Lecksuchers oder eines Vakuumsgerätes ist die Sauberkeit wichtig. Es gibt einige Techniken, die bei der Instandhaltung des Lecksuchers wichtiger sind als bei der allgemeinen Vakuumarbeit: Verwenden Sie kein Silikon oder Silikonfett.
  • Seite 17 Agilent Technologies Heliumlecksucher O-Ring-Pflege Beim Entfernen, Überprüfen oder Ersetzen der O-Ringe, beachten Sie folgendes: Agilent empfiehlt den Ersatz aller O-Ringe während einer HINWEIS Routinewartung oder während eines Wartungsverfahrens, welches erfordert, dass O-Ringe entfernt werden. Aufgrund der effektiven Reinigungsnatur des Lösungsmittels HINWEIS VacuSolv und den rückstandsfrei Eigenschaften, wird das...
  • Seite 18 Agilent Technologies Heliumlecksucher Metalldichtungspflege Metaldichtungen müssen während einer Routinewartung oder VORSICHT während eines erforderlichen Wartungsverfahrens ersetzt werden. Alle Befestigungselemente müssen gemäß den Spezifikationen des Montageverfahrens installiert und festgezogen werden. Entfernen Sie Metalldichtungen vorsichtig mit Ihren Fingern. Verwenden Sie keine Metallwerkzeuge für diese Aufgabe; dies verhindert ein Verkratzen aller Dichtungsflächen.
  • Seite 19 Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Nicht in Gegenwart von entflammbarem oder explosivem WARNUNG Gas verwenden.. ❑ Versuchen Sie nicht das Gerät zu demontieren oder zu verändern. Eine solche Handlung könnte zu einem elektrischen Stromschlag oder einer Verletzung führen. Die autorisierten Techniker von Agilent übernehmen alle Reparaturarbeiten.
  • Seite 20 Lairds, Modell RM024, HF-Modul, betrieblich in 2,4 GHz ISM-Band. Der gleiche Typ des HF-Moduls wird in einer drahtlosen Basisstation-PCB und drahtlose Fernbedienungseinheit des Lecksuchers des Helium- Massenspektrometers von Agilent Technologies eingebaut (siehe Betriebshandbuch der drahtlosen Fernbedienung des Lecksuchers des Helium-Massenspektrometers von Agilent Technologies(6999099945A)).
  • Seite 21 Strom und statische Empfindlichkeit Abhängig von der bestellten Einheitskonfiguration, sind die WARNUNG Stromversorgungsanforderungen für Lecksucher des Helium- Massenspektrometers von Agilent Technologies folgende: ❑ 100 VAC, 50 Hz, 5 A ❑ 115 VAC, 60 Hz, 5 A bis 9 A (G8611A) oder ❑...
  • Seite 22 Agilent Technologies Heliumlecksucher Verwenden Sie einen Überspannungsschutz, um die VORSICHT Immunität des Lecksuchers vor unidirektonalen Störsignalen zu verbessern, durch das folgende Phänomen: ❑ Schaltphänomen im Stromnetz (z.B., Schalten der Kondensatoren Banken, induktiven Lasten, Elektromotoren etc.) ❑ Fehler im Stromnetz ❑...
  • Seite 23 Agilent Technologies Heliumlecksucher CAN/CSA-C22.2 No. 61010-1-12 - Sicherheitsbestimmungen WARNUNG für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte - Teil 1: Allgemeine Anforderungen UL Std. Nr. 61010-1, 3. Ausgabe - Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte - Teil 1: Allgemeine Anforderungen EMV-Emissionen und Störfestigkeit - ETSI...
  • Seite 24 Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Alle elektrischen Anschlüsse müssen von einem qualifizierten Elektriker durchgeführt werden und den nationalen und lokalen Vorschriften entsprechen. ❑ Die Öffnung des Gehäuses kann gefährliche Spannungen freigeben. Ziehen Sie vor der Eröffnung des Gehäuses immer das Netzkabel und Schnittstellenkabel. Berühren Sie mindestens 10 Sekunden nach dem Ziehen des Netkabels nicht die Kontakte des Stromeingangs.
  • Seite 25 Agilent Technologies Heliumlecksucher Spektrometer Lagern Sie die Ionenquelle-/Vorverstärker-Baugruppe in WARNUNG einem kühlen, trockenen Bereich in einem fest verschlossenen, ESD-geschützten Behälter. Tragen Sie bei der Handhabung der Spektrometers fusselfreie Handschuhe. Waschen Sie Ihre Hände nach der Handhabung des Filaments des Spektrometers und besonders vor dem Rauchen oder Essen gründlich.
  • Seite 26 Agilent Technologies Heliumlecksucher Die Vakuumpumpen sind auch Kompressoren; der falsche WARNUNG Betrieb kann gefährlich sein. Lesen Sie die Bedienungsanleitung der mechanischen Pumpe, die Ihrer Pumpe beigefügt ist, sorgfältig durch, bevor Sie die Pumpen starten. Die Pumpen wurden entwickelt, um ein thermisches Risiko für die Bedienersicherheit zu verhindern.

  • Seite 27: Agilent Dienstleistungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Zur Vermeidung von Verletzungen, warten Sie ist die WARNUNG Turbopumpe komplett gestoppt ist, bevor Sie diese vom Vakuumssystem trennen. Überprüfen Sie öfter den Ölstand. Lassen Sie ölbasierte mechanische Pumpen nicht laufen, wenn der Ölstand unter der Markierung NIEDRIG . Trainerpumpen können auftreten, wenn diese ohne Öl betrieben werden, wenn der...
  • Seite 28 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 29: Abschnitt 1. Einführung In Den Lecksucher

    Die drahtlose Fernbedienung hat die folgenden Fähigkeiten: ❑ HF-Kommunikation zwischen dem Lecksucher des Helium-Massenspektrometers von Agilent Technologies (Basisstation oder Host) und der drahtlosen Remote- Einheit von dem Abstand bis zu 100 m (300 ft). ❑ Öffnen Sie die Lecksucher-Einheit in Test- und Haltemodi von der Tastatur der drahtlosen Remote-Einheit.

  • Seite 30: Lecksucherkonfigurationen Und Teilenummern Der Serie

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Die Verwendung eines längeren Kabels für den parallelen VORSICHT I/O-Ausgangsanschluss mit einer externen SPS liegt in der vollen Verantwortung des Bedieners. Einige EMV- Präventionsmaßnahmen können vom Bediener erforderlich sein. ❑ USB-Anschluss vom Typ A und einer, der sich auf der Rückseite des Lecksuchers befindet.

  • Seite 31: Tragbarer Lecksucher Mit Interner Ds40M Nasser Drehschieberpumpe, Modell G8610A Und Tragbarer Lecksucher Mit Interner Idp-3 (G8610B) Abmessungen

    Abmessungen sind in mm, unter den Klammern angegeben. Abbildung 1-1 zeigt die Entwurfszeichnung und die physischen Abmessungen des tragbaren Lecksuchers mit interner DS40M nasser Drehschieberpumpe, Modell G8610A und die G8610B, welche eine trockene Pumpe von Agilent IDP-3 verwendet. Abbildung 1-1...

  • Seite 32: Entpacken Des Lecksuchers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.2 Entpacken des Lecksuchers Die folgenden Elemente sind im Versand enthalten: ❑ Bedienungsanleitung des Lecksuchers des Helium-Massenspektrometers von Agilent Technologies ❑ Wie bestellt konfigurierter und komplett montierter Lecksucher von Agilent Technologies ❑ Alle notwendigen Netzkabel, wie bestellt ❑...

  • Seite 33: Unverpackte Lecksucher

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 1-4 Unverpackte Lecksucher 3. Entpacken Sie eine mobile Einheit mit Rädern, indem Sie a. Die schützende Schaumstoffpolsterung entfernen, den Lecksucher stützen, der zwischen den zwei Radsätzen platziert ist, indem Sie den Lecksucher vorsichtig ein paar Grad seitwärts kippen und den Schaumstoff herausziehen. Lassen Sie die Lenkrollen blockiert, bis angegeben wird, diese zu lösen.
  • Seite 34 Agilent Technologies Heliumlecksucher 2. Versandsperren lösen Ein Lecksucher mit entweder einer IDP-15-Pumpe oder einer TS620-Pumpe wie mit einer Versandsperre-Bolzen versendet, um die Pumpe während des Transports zu sichern. Entfernen Sie diese Versandsperren, bevor Sie den Lecksucher einschalten, um ein übermäßiges Klappern und Geräusch während des Betriebs zu verhindern (Abbildung 1-6).

  • Seite 35: Ts620 Entfernen Der Versandverriegelungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Verwenden Sie den mitgelieferten 4 mm Imbusschlüssel mit Knebelbegriff, um die Sperren im Uhrzeigersinn zu drehen, um sie zu lösen; die Versandsperren des IDP-15 können nur festgezogen/gelöst werden, und sind nicht entfernbar (Abbildung 1-8). Abbildung 1-8 IDP-15 Lösen der Versandverriegelungen ❑...

  • Seite 36: Ölbasierte Pumpen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 3. Öl hinzufügen Öl-Drehschieberpumpen müssen vor dem Betrieb mit Öl befüllt werden. Diese umfassen die Lecksucher der Pumpenmodelle DS40-M, DS302, und DS602 (Abbildung 1-10). Abbildung 1-10 Ölbasierte Pumpen 1. Verwenden Sie einen Trichter, wenn sie Öl hinzufügen und befüllen Sie bis zur Schauglasmarkierung.

  • Seite 37: Mobile Einheit Öleinfüllung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 1-12 Mobile Einheit Öleinfüllung Einschalten 1. Stellen Sie sicher, dass die Vorvakuumpumpe eingeschaltet ist und gegebenenfalls (IDP-15) auf die richtige Spannungseinstellung eingestellt ist. 2. Schalten Sie den Lecksucher ein, decken Sie den Lecksucher-Einlass mit Blinddeckel ab (mitgeliefert und schon eingebaut) und warten Sie bis auf dem...

  • Seite 38: Installation

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.3 Installation Installationsanforderungen werden in Tabelle 1-2 beschrieben. Tabelle 1-2 Installationsanforderungen Element Anforderung ❑ In der Nähe der Stromquelle. Lecksucherstandort ❑ 0,6 bis 0,9 m Abstand für die richtige Belüftung. ❑ Ermöglichen Sie ausreichend Raum für den Bediener zum sicheren Rangieren, um die Prüfung...

  • Seite 39: Banksystem-Installationen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.3.3 Banksystem-Installationen Abbildung 1-13 und Abbildung 1-17 stellen den Prozess für die Installation der Banksystemversion des Lecksuchers des Helium-Massenspektrometers von Agilent Technologies dar. Abbildung 1-13 ist eine Zeichnung der Montagevorrichtung Lecksucher mit externer DS302 nasser Drehschieberpumpe, Modell G8612A mit individuell angezeigten Komponenten.

  • Seite 40: Empfohlene Zusätzliche Dienstleistungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 1-15 ist eine Zeichnung der Montagevorrichtung Lecksucher mit externer IDP- 15 trockener Scrollpumpe, Modell G8612C mit individuell angezeigten Komponenten. Abbildung 1-15 Montagevorrichtung Lecksucher mit externer IDP-15 trockener Scrollpumpe, Modell G8612C 1.3.1 Helium Schweißgrad-Helium in einem Standardzylinder mit Druckregelventil und Schlauch, ist erforderlich für Prüfprodukte und zur Leckprüfung.

  • Seite 41: Lagerung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.3.3 Lagerung Wenn der Lecksucher nicht sofort verwendet wird, kann er wie erhalten ohne besondere Vorsichtsmaßnahmen gelagert werden. Ein trockener, relativ staubfreier Bereich wird bevorzugt. Die erforderlichen Umgebungsbedingungen zur Lagerung sind: ❑ 0% bis 95% relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend ❑...
  • Seite 42 Agilent Technologies Heliumlecksucher Wenn das System kürzlich vor dem Herunterfahren kalibriert HINWEISE wurde, kann es zur qualitativen Prüfung verwendet werden. Lesen Sie das Standardleck, um die Genauigkeit zu verifizieren. Für genauere quantiative Leckwerte, führen Sie eine Kalibrierung 20 Minuten nach der Inbetriebnahme.
  • Seite 43 Agilent Technologies Heliumlecksucher Zur Kalibrierung im E-10-Bereich, muss das Vakuumsystem ausreichend gepumpt sein, um den Heliumhintergrund unter dem Signalpegel des E-10-Bereichs zu reduzieren. Dies ist erforderlich, um einen akzeptablen Signal-Rausch-Pegel zu erreichen und die genaue Kalibrierung sicherzustellen. Die Kalibrierung des E-10-Bereichs wird durch die Verwendung eines extern kalibrierten Lecks durchgeführt.
  • Seite 44 Agilent Technologies Heliumlecksucher Hintergrund und zeigt die Zeit an, bis die Kalibrierung beginnt. Sollten Sie es bevorzugen, nicht zu warten, erlaubt die Taste Cancel (Abbrechen) , dass die Kalibrierungsanfrage abgebrochen wird. Die Firmware beginnt anfänglich in einem großen HINWEIS Zeitintervall, aber berechnet die erforderliche Zeit neu, wenn das Pumpen weitergeht.

  • Seite 45: Abschalten (Herunterfahren)

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.3.5 Abschalten (Herunterfahren) Das System kann beim Herunterfahren in jedem Modus sein. Wenn das System heruntergefahren ist, werden alle Ventile im System geschlossen. Wenn das System nicht im Lüftungsmodus ist, bleibt der Testanschluss unter Vakuum und könnte schwierig zu öffnen sein.

  • Seite 46: Anzeige Und Vorgänge Der Frontseite

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.4 Anzeige und Vorgänge der Frontseite Die gesamte Steuerung und Überwachung des Bedieners wird über die residente Software erreicht, auf die über die Touchpanel-Anzeige zugegriffen werden kann. Tabelle 1-3 auf Seite 45. Abbildung 1 -17 Anzeige und Vorgänge der Frontseite...
  • Seite 47 Agilent Technologies Heliumlecksucher Touchpanel-Anzeige Stellt dar: ❑ Leckrate - in einem Säulendiagrammformat mit einer numerischen Bereichsanzeige ❑ Leckrate, Systemstatus und Parameter - in alphanumerischem Format ❑ Serie der mit den Softkey-Tasten für die Bildschirme Bedienerschnittstelle Leckrate, Systemstatus und Parameter in alphanumerischem Format: ❑...

  • Seite 48: Startbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.5 Startbildschirm VENT (LÜFTEN) Die Taste VENT (LÜFTEN) erweitert den Lecksucher auf den belüfteten Status. Das rote Lüftungssymbol in der Mitte des Schalters bleibt rot, während der Lecksucher lüftet. TEST (TEST) Wenn das System im Zustand Lüften oder Halten ist, erwitert das Drücken der Taste TEST (TEST) automatisch den...

  • Seite 49: Startbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Die Lecksucher-Betreiberschnittstelle funktioniert über eine Reihe von Bildschirmen, die wie in Abbildung 1-19 navigiert werden. Start‐Bildschirm Oben auf dem Bildschirm Symbolleiste Parte superiore della barra degli strumenti schermata Figure 1-19 Screen Flow...

  • Seite 50: Anzeige Der Frontseite - Startbildschirmanzeige

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.6 Anzeige der Frontseite - Startbildschirmanzeige Tabelle 1-3 Bildschirme – Allgemeine Beschreibung Bildschirm Zweck Home Zugriff auf die Menübildschirme. Aktiviert die Funktionen Test, Lüften und Zero. Aktiviert den Grobleck-Testbildschirm, wenn Bruttotest über die Taste Zero initiiert ist.

  • Seite 51: Ppm-Sniff-Methode

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 1-3 Bildschirme – Allgemeine Beschreibung (Fortsetzung) Bildschirm Zweck Menüs Zugriff auf die folgenden Bildschirme zur Anpassung des Lecksucherbetriebs: Kalibrierung ❑ Interne oder Externe Auswahl ❑ Internes Leck lesen ❑ Kal.-Leckinformation Testkonfiguration ❑ Sollwerte - Konfiguriert: ❑...
  • Seite 52 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 1-3 Bildschirme – Allgemeine Beschreibung (Fortsetzung) Bildschirm Zweck Wartung ❑ Allgemein - Konfiguriert: ❑ Einrichtung & Ablauf intern kalibriertes Leck ❑ Software-Aktualisierungs-Dienstprogram ❑ Manuelle Optimierung - Konfiguriert: ❑ Schaltet zwischen Filament 1 & 2 ❑ Stellt die Emissions-, Ion- und Verstärkungseinstellungen ein ❑...

  • Seite 53: Rückseite

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.7 Rückseite Die Rückseite des Lecksuchers mit der Option drahtlose Fernbedienung wird angezeigt in Abbildung 1-20. Abbildung 1-20 Rückseite ➀ Serieller Anschluss Ein 9-Pin D-Typ-Anschluss zur Schnittstelle mit einem externen PC über ein Kommunikationsprotokoll des RS-232-Typs zur Systemdiagnose oder -steuerung.

  • Seite 54: Usb-Port

    Ölstandabdeckung Ölstandfenster für ein G8610A-Modell. ⑪ Ölablassabdeckung Ölablassöffnung für ein G8610A-Modell. ⑫ Stickstoff-Lüftungsanschluss Stickstoff-Lüftungsanschluss. Funketikett Ein Funkinfoetikett für Lecksucher mit einer optionalen Fernbedienung. Die Rückseite des Lecksuchers (Modell G8610A und G8610B) wird in Abbildung 1-21 angezeigt. Abbildung 1-21 Rückseite (mit Diskretem I/O PCB)
  • Seite 55 Signalklemme; schwarz ist die negative Signalklemme. Signalbereich: Von 0 bis +10 VDC. Spätere Modelle des Lecksuchers des Helium- Massenspektrometers von Agilent Technologies werden mit einem DB9F-Anschluss für den analogen Ausgang ausgestattet sein. Pin #1 ist Signal (positiv) und Pin #2 ist Rückgabe (negativ).
  • Seite 56 Agilent Technologies Heliumlecksucher Chassis (Erde)- Bereitgestellt zum zusätzlichen Anschluss des Lecksuchers zum Gebäudeerdungssystem, um den ESD-Schutz zu Klemme verbessern. ❑ Eingänge: Optoentkoppelt, 5 - 24 VDC 3300 ohmsche Last. 25-Pin-I/O Alle Eingänge sind Optokoppler-LEDs mit Vorwiderständen. ❑ Momentane Eingänge: Optoentkoppelt, 5 - 24 VDC 3300 ohmsche Last, erfordert 200 ms Minimumpulsbreite.

  • Seite 57: Funktionen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 1.8 Funktionen Die Funktionen für den Lecksucher werden in Tabelle 1-4 bereitgestellt. Tabelle 1-4 Funktionen Funktion Beschreibung Kalibrierung Voll automatisierte Optimierung und Kalibrierung mit dem intern oder extern kalibrierten Leck. Die Schnellkalibrierfunktion erlaubt die Kalibrierung in weniger als einer Minute.
  • Seite 58 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 1-4 Funktionen (Fortsetzung) Funktion Beschreibung Drahtlose Fernbedienung Dies stellt folgendes bereit: ❑ HF-Kommunikation zwischen dem Lecksucher (mit Basisstation oder Host) und die drahtlose Remoteeinheit von einem Abstand bis zu 100 m (300 ft). ❑ Die Möglichkeit die Lecksucher-Einheit in Test- und Haltemodi von der Tastatur der drahtlosen Remote-Einheit zu öffnen.

  • Seite 59: Abschnitt 2. Betrieb Des Lecksuchers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 2. Betrieb des Lecksuchers 2.1 Bildschirme Die Lecksucher-Anzeige wird für die anfängliche Einrichtung und Konfiguration des Lecksuchers verwendet. Sobald der Lecksucher für eine spezifische Anwendung eingerichtet und konfiguriert ist, wird der Basisbetrieb primär unter Verwendung der Tasten TEST (TEST) und VENT (LÜFTEN) auf dem Lecksucher und der Startbildschirm...
  • Seite 60 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 61: Abschnitt 3. Startbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 3. Startbildschirm 3.1 Startbildschirm Der Startbildschirm zeigt eine Zusammenfassung der folgenden Status- und Konfigurationseinstellungen an: ❑ ❑ ❑ Digitale Leckratenanzeige Testanschlussdruck Bruttotest-Taste (nicht angezeigt) ❑ Zustandsanzeige ❑ Lecksucherstatus (Tabelle 3-2 auf Seite 58) (Tabelle 3-1 auf Seite 58) ❑...
  • Seite 62 Agilent Technologies Heliumlecksucher Halten Platziert das System in Halten (während des Tests, drücken Sie erneut Test, um Halten zu starten); hält den Testanschluss unter Vakuum und lüftet nicht. Verwenden Sie Halten, um das System unter Vakuum zu halten, während Sie den Lecksucher aus dem Test nehmen.
  • Seite 63 Agilent Technologies Heliumlecksucher Das Drücken von Null, während der Einführung des Helium- HINWEIS Spürgases in das Testobjekt oder während der Heliumhintergrund sich deutlich ändert, könnte zur Unterdrückung des realen Lecks führen. Verwenden Sie nur die Taste Null, nachdem die Helium-Spürgasquelle entfernt wurde.

  • Seite 64: Betriebszustände Des Lecksuchers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Null Aktivieren Schaltet den auf Null gestellten Hintergrund ein oder aus. Diese Funktion schließt das Hintergrundleck vom Leckratensignal aus. Der Heliumhintergrund stellt Helium dar, welches im System ist, aber nicht vom zu testenden Teil kommt. Wenn der Hintergrund auf Null gestellt ist, wird eine genauere Messung der Leckrate des Teils bestimmt.
  • Seite 65 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 3-2 Betriebszustände des Lecksuchers Anzeige Beschreibung Unterstützung Gibt an, dass der Lecksucher momentan die Foreline der Hochvakuumpumpe während einer erweiterten Rohperiode unterstützt. Unterstützung erfolgt, wenn die Rohbearbeitungszeit größer als 60 Minuten ist oder wenn die Turbopumpe nicht bereit ist.
  • Seite 66 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 3-2 Betriebszustände des Lecksuchers (Fortsetzung) Anzeige Beschreibung Kal OK Gibt an, dass die Kalibrierroutine erfolgreich ausgeführt wurde. Kalibrierung Vorber. Gibt an, dass der Lecksucher aktuell eine Kalibrierroutine vorbereitet. Filament 1 Gibt an, dass Filament 1 der Ionenquelle ausgebrannt ist. Filament 2...
  • Seite 67 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 3-2 Betriebszustände des Lecksuchers (Fortsetzung) Anzeige Beschreibung Systemdruck-Warten Gibt an, dass der System (Spektrometer)-Druck zu hoch ist, um das Ionenquellfilament zu beleuchten. System Bereit Gibt an, dass das System für die Prüfung bereit ist. Diese Nachricht erscheint nur während der anfänglichen Inbetriebnahme und wird nach dem...
  • Seite 68 Agilent Technologies Heliumlecksucher 3.1.1 Grafikanzeige-Bildschirm Der Grafikanzeige-Bildschirm (Abbildung 3-4) stellt die Leckrate im Laufe der Zeit dar. Die Grafiklinie erscheint in blau und ändert sich zu rot, wenn ein Zurückweisungs- Sollwert ausgelöst ist. Das Antippen des Grafikfunktionsymbo ls schaltet zwischen...
  • Seite 69 Agilent Technologies Heliumlecksucher Das Drücken von Null, während der Einführung des Helium- HINWEIS Spürgases in das Testobjekt oder während der Heliumhintergrund sich deutlich ändert, könnte zur Unterdrückung des realen Lecks führen. Verwenden Sie nur die Taste Null, nachdem die Helium-Spürgasquelle entfernt wurde.

  • Seite 70: Menübildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 3.1.2 Menübildschirm ❑ Drücken Sie auf Menüs auf dem Startbildschirm. Der Menübildschirm erscheint (Abbildung 3-5). Verwenden Sie den Pfeil, um zum vorherigen Bilschirm zu navigieren. Der Menübildschirm besteht aus Tasten zum Zugriff auf untere Bildschirme, die zur Anwendungsspezifischen Konfiguration verwendet werden.

  • Seite 71: Abschnitt 4. Kalibrierungsbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 4. Kalibrierungsbildschirm 4.1 Kalibrierungseinrichtung ❑ Drücken Sie auf den Bildschirm Kalibrierungsmenü . Der Kalibrierungsbildschirm erscheint (Abbildung 4-1). Verwenden Sie diesen Bildschirm um: ❑ Den Wert und das Ablaufdatum des intern kalibrierten Lecks anzusehen ❑ Geben Sie den Wert des extern kalibrierten Lecks ein ❑...
  • Seite 72 Agilent Technologies Heliumlecksucher Kalibrieren Kalibriert das System. Intern oder Extern erscheint, um anzugeben welches Leck das System zum Kalibrieren verwendet. Die automatisierte Kalibrierung wird basierend auf den auf dem Kalibrierungsbildschirm eingestellten Parametern durchgeführt. Die Sequenz der Ereignisse ist: ❑ Der Lecksucher setzt das interne Standardleck dem...
  • Seite 73 Agilent Technologies Heliumlecksucher Internes Leck lesen Öffnet den internen Leckwert, damit das Leck vom System gesehen werden kann. Die Taste internes Leck lesen ist nur funktional, während der Lecksucher im Test/Feintest und das intern kalibrierte Leck aktiviert, indem die Verifizierung der Systemkalibrierung ermöglicht wird.
  • Seite 74 Agilent Technologies Heliumlecksucher Externe Kalibrierungsstandards nur zum Schnellen Modus. HINWEIS Interner Leckwert Der temperaturkompensierte interne Leckwert und das Ablaufdatum erscheinen recht vom Text des internen Leckwerts. Der eigentliche interne Leckwert und das Ablaufdatum können in Abschnitt 7 „Wartungsbildschirm“ auf Seite 113 geändert werden.
  • Seite 75 Agilent Technologies Heliumlecksucher 3. Geben Sie den Leckwert ein und drücken Sie auf OK. Zur Kalibrierung im E-10-Bereich, muss das Vakuumsystem ausreichend gepumpt sein, um den Heliumhintergrund unter dem Signalpegel des E-10-Bereichs zu reduzieren. Dies ist erforderlich, um einen akzeptablen Signal-Rausch-Pegel zu erreichen und die genaue Kalibrierung sicherzustellen.
  • Seite 76 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 77: Abschnitt 5. Testkonfigurationsbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 5. Testkonfigurationsbildschirm 5.1 Testkonfiguration 5.1.1 Testkonfigurationsmenü Das Testkonfigurationsmenü ermöglicht Ihnen: ❑ Das Programmieren und Aktivieren der Prozesssollwerte (Leckratendruck und Audio) ❑ Das Aktivieren oder Deaktivieren der erweiterten Funktionen des Lecksuchers ❑ Die Auswahl der spezifischen Anwendungen der Leckerkennung mit Auto- Parametereinrichtung mit Schritt-für -Schritt-Anleitungen zum erweiterten Betrieb.
  • Seite 78 Agilent Technologies Heliumlecksucher Schaltet diese Optionen ein/aus. Drücken Sie auf den gewünschten Aktiviert den Wert, um auf die Tastatur Zurückweisungs- zuzugreifen Sollwert, wenn er unter dem programmierten Wert ist. Aktiviert den Zurückweisungs- Sollwert, wenn er über dem programmierten Wert ist.
  • Seite 79 Agilent Technologies Heliumlecksucher Für angeschlossenen Tester Alarm - Hochdrucktest (Sniffing- HINWEIS Modus) siehe Abschnitt 5.1.3.5 „Sniff-Methode“ auf Seite 79. ❑ Aus: Das audio erklingt für alle Leckraten über null. Sollwerte können EIN- oder AUSgeschaltet (aktiviert oder deaktiviert) werden. Wenn der Audio-Sollwert AUSgeschaltet ist, sind die Audiotöne für alle Leckraten...

  • Seite 80: Testkonfiguration Erweiterte Funktionen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.2 Testkonfiguration erweiterte Funktionen Verwenden Sie diesen Bildschirm, um den Hochdrucktest, Nur Feintest, AZ<0<0, Brutto zu konfigurieren Test, Transfer zu Test und Stabilisierungswarten-Timer. Abbildung 5-2 Testkonfigurationsbildschirm Hochdrucktest Wählen Sie den Modus Hochdrucktest . Wenn Hochdrucktest ausgewählt ist, wird der Bereichsstopp auf 10 atm cc/sek.
  • Seite 81 Agilent Technologies Heliumlecksucher Auto-Null<0 Aktiv Passt den Null-Referenzpunkt automatisch und kontinuierlich auf den richtigen Null-Wert an, wenn das Helium-Hintergrundniveau unter den vorher eingestellten Null-Referenzpunkt fällt. Diese Funktion stellt sicher, dass der Lecksucher einen richtigen Bilanzwert behält, nachdem ein vorher auf Null gestelltes Hintergrundsignal sich natürlich reinigt (Hintergrundhelium wird...
  • Seite 82 Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 5-3 Bruttotestbildschirm ❑ Bruttotest ist in den Testkonfigurationen aktiviert > Erweitert Menü Funktionen. ❑ Sobald aktiviert, erscheint die Taste BRUTTOTEST auf dem Startbildschirm. Drücken Sie auf BRUTTOTEST , um den Bildschirm zu öffnen. ❑ Es gibt einen Audioton zur Grobleckprüfung, der sich erhöht, wenn sich das Leck erhöht.

  • Seite 83: Transfer Zu Test

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.2.2 Transfer zu Test Der Werteingang und die versteckte Tastatur befinden sich rechts von der Funktion Transfer zum Test. Verwenden Sie diese, um den Druck einzustellen, bei dem das System in den Test geht. Die Einstellung Transfer zum Test kann für spezifische Anwendungen auf geringere Werte angepasst werden.

  • Seite 84: Hochdrucktest-Einrichtungsverfahren

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.2.2.1 Stabilisierungswarten-Timer Abbildung 5-4 zeigt den Bildschirm Transferpunkte an. Stabilisierungswarten Dies erscheint nach erfolgreicher Inbetriebnahme auf dem Startbildschirm. Dieser Timer ist notwendig für die Spektrometer- Stabilisierung und -Entlüftung. Die Werkseinstellung ist 5 Minuten. Es wird wärmstens empfohlen für die Kunden, die...

  • Seite 85: Startbildschirm - Bruttotest Aktivieren

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.2.4 Startbildschirm - Bruttotest aktivieren Drücken zum Aktivieren Bruttotest. Abbildung 5-5 Startbildschirm - Bruttotest aktivieren Bruttotest Ermöglicht dem Bediener Lecks zu lokalisieren, während das System im Rohbearbeitungsmodus ist. Der Test gibt die Anwesenheit eines Lecks nur unter Hochdruck an und zeigt keinen Leckratenwert an.

  • Seite 86: Anwendungseinrichtung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 5-6 Startbildschirm - Bruttotest Aktiv 5.1.3 Anwendungseinrichtung Abbildung 5-7 Anwendungseinrichtung...

  • Seite 87: Sniff-Methode

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.5 Sniff-Methode Die Verwendung des Stromtesters von Agilent, der mit dem Testanschluss des Heliumlecksuchers verbunden ist, die Sniff-Methoden-Pinpoints des Standorts und die Größe der Lecks von Volumen, die mit Helium gefüllt wurden. Die in diesem Modus verfügbaren Einstellungen enthalten: ❑...
  • Seite 88 Agilent Technologies Heliumlecksucher Audio-Sollwert: Gewünschter Audio Alarmierter Leck -Ratenwert (> <) - Dieser Wert kann angepasst werden von 10 to 10 . Der Audio- Sollwert löst mit seinem eigenen eindeutigen Ton aus, wenn er sich von Sollwert 1unterscheidet. Der Audio-Sollwert ist sehr nützlich in der Sniffing-Anwendung.
  • Seite 89 Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.6 Sprühmethode Die Sprühmethode ist für Leckprüfungs-Vakuumsysteme aller Größen. Wenn der Heliumlecksucher richtig mit dem getesteten Vakuumsystem verbunden ist, wird dieser die relative Größe der Lecks lokalisieren und angeben. Die in diesem Modus verfügbaren Einstellungen enthalten: ❑...
  • Seite 90 Agilent Technologies Heliumlecksucher Die drahtlose Fernbedienung ist eine Fabrik- und HINWEIS Feldinstallierte Kunden-Option. Dateien Der Bediener kann bis zu drei Einrichtungskonfigurationen speichern: ❑ Spray 1-3 Das Informationssymbol bietet die notwendigen Richtungen für eine erfolgreiche externe Kalibrierung. Kalibrieren Externe Kalibratierung/Empfindlichkeitsprüfung: Befolgen Sie den Schritt-für-Schritt-Prozess.

  • Seite 91: Hohe Empfindlichkeit

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.7 Hohe Empfindlichkeit Oft ist eine Kalibrierung auf ein bekanntes, externes Heliumleckstandard für interne Qualitätsanforderungen zur zusätzlichen Genauigkeit erforderlich. Hochempfindlichkeitstest führt Sie durch dieses Verfahren. Die in diesem Modus verfügbaren Einstellungen und Funktionen enthalten: ❑ Festlegung des minimal angezeigten Bereichs - vermeidet die Ablenkung der unbedeutenden Lecks.
  • Seite 92 Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.8 Auto-Sequenzer Der Auto-Sequenzer von Agilent vereinfacht die Programmierung eines wiederholenden Testzyklusses für Leckprüfungsteile, die mit Helium innen abgedichtet wurden. Dies kann die Produktivität verbessern und die Prüfungsfehler reduzieren. Die in diesem Modus verfügbaren Einstellungen enthalten: ❑...
  • Seite 93 Agilent Technologies Heliumlecksucher Bestanden hat oder nicht und macht dann eine Angabe indem es entweder in die LÜFTUNG (Bestanden) oder HALTEN (Durchgefallen) geht und zeigt den Zurückweisungs-Sollwertfehler auf der Vorderseite an. ❑ Drücken Sie auf Auto-Sequenzer-Einrichtungauf dem Menübildschirm. Der Auto-Sequenzer-Einrichtungsbildschirm erscheint (Abbildung 5-11). Der Lecksucher kann zum automatischen Lauf durch einen kompletten Testzyklus (Start/Rohbearbeitung/Test/Lüftung konfiguriert werden.
  • Seite 94 Agilent Technologies Heliumlecksucher Grobe Zeit Bestimmt die Zeitmenge, die der Lecksucher das Testobjekt zum maximalen Testdruck evakuieren darf (siehe Abschnitt 5.1.2.2 auf Seite 75). Im Auto-Sequenzer-Modus überträgt der Lecksucher in den Test sobald der spezifizierte Transferdruck erfüllt wird. Wenn der spezifizierte Testtransferdruck nicht innerhalb der vorher ausgewählten groben Zeit erreicht wird,...

  • Seite 95: Auto-Sequenzer

    Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Drücken Sie auf TEST und lassen Sie das System die eigentlich in der Rohbearbeitung verbrachte Zeit aufnehmen. Nach Abschluss des Tests, verwenden Sie den aufgezeichneten Wert der Rohbearbeitungszeit, um eine geeignete Rohbearbeitungszeit einzustellen. Zum Zugriff: 1. Wählen Sie Testkonfigurationen > Anwendungseinrichtung.
  • Seite 96 Agilent Technologies Heliumlecksucher Der Auto-Sequenzer wird verwendet, um die Prüfung auf einem Teil automatisch durchzuführen, den Prüfdurchsatz zu maximieren und die Chancen der zufälligen Annahme eines schlechten Teils zu reduzieren. Der Auto-Sequenzer wird in Zusammenhang mit den Sollwerten 1 & 2 und den Einstellungen Drucksollwert Verwendet, die die Kriterien für Bestanden/Durchgefallen...

  • Seite 97: Auto-Sequenzer-Einrichtung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Testzeit Diese Einstellung sagt dem System, wann der Test gegen Sollwerte durchzuführen ist. Zum Beispiel können Sie 20 Sekunden für die Testzeiteinstellen. Am Ende der 20 Sekunden bestimmt das System, ob der Teil bestanden hat oder nicht und macht dann eine Angabe indem es entweder in die LÜFTUNG...

  • Seite 98: Testzeit-Einstellung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.8.2.1 Testzeit-Einstellung 1. Programmieren Sie die Testzeit für einen Wert, der die richtige Charakterisierung der notwendigen Testzeit erlauft, um mindestens eine Dekade weniger als die des Sollwerts 1 (Zurückweisungsstufe) zu erreichen. 2. Geben Sie die gewünschte Testzeitein.
  • Seite 99 Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.9 Split-Flow Die Aktivierung der Split-Flow-Option charakterisiert das System zu einem extern kalibrierten Leck, welches von zusätzlichen Vakuumpumpenquellen beeinflusst wird. Diese separaten Vakuumpumpquellen reduzieren die Heliummenge, die vom Lecksucher gemessen wird. Die Split-Flow-Option ist sehr nützlich für externe Kalibrierungen, wo externe Verstärkungsfaktoren die Grenze von 50 aufgrund eine hohen Heliumhintergrunds...
  • Seite 100 Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Im Hauptbildschirm blinkt das System das Split-Flow-Symbol wenn der Split-Flow EINgeschaltet ist. ❑ Wenn der Split-Flow EINgeschaltet ist, zeigt es die korrigierte Leckrate an, aber es kennt den echten Leckratenwert. ❑ Wenn NULL gedrückt wird, wenn Split-Flow EINgeschaltet ist, stellt das System den Hintergrund auf null bis zu einer Grenze ähnlich dem maximalen Split-Flow-...
  • Seite 101 Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 5-13 Split-Flow-Einrichtung 7. Geben Sie den Wert des installierten extern kalibrierten Lecks ein. 8. Optional - Geben Sie einen Sollwert 1 Leckratenwert ein. 9. Optional - Geben Sie einen Audio-Sollwert -Wert ein. 10. Drücken Sie auf Fortfahren.
  • Seite 102 Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.10 PPM (Teile pro Million) Sniff-Methode Bestimmte Testprotokolle spezifizieren Teile pro Million (PPM)-Einheiten zur Messung von Leckraten. Diese Testmethode wird nur mit einem geeigneten Sniffer-Tester verwendet, sie ist nicht zur Vakuumleckprüfung gedacht. Die in diesem Modus verfügbaren Einstellungen und Funktionen enthalten: ❑...
  • Seite 103 Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 5-15 Sniffing-Einrichtung 4. Wenn der Lecksucher belüftet ist - Drücken Sie die Taste Test in der unteren rechten Ecke. Passen Sie das Messventil auf den Sniffing-Tester an, bis ein gewünschter Wert zwischen 5.0E-1 und 1 Torr erreicht ist.

  • Seite 104: Kalibrierung Auf Eine Bekannte Helium Ppm-Konzentration

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.10.3 Kalibrierung auf eine bekannte Helium PPM-Konzentration ❑ Günstigste Methode ❑ Schnellste Antwortzeit ❑ Erfordert die Kalibrierung mit einer bekannten Helium PPM-Gasmischung Dies erfordert die Kalibrierung unter Verwendung einer HINWEIS bekannten PPM-Mischung, wie eine 50 PPM-Heliummischung. Um die Gaskonzentration zu testen, kann der Bediener...
  • Seite 105 Abbildung 5-16 Messventil allgemeine Baugruppe Abbildung 5-17 Messventil Baugruppe Element A. (2X) Beschreibung: NW25 bis 1/4 NPT Edelstahl-Rohradapter Von: Agilent Technologies Inc. - Agilent Teilenummer: KAMP250250S Element B. (2X) Beschreibung: 1/4 NPT bis 1/4" Verrohrungsadapter Von: Swagelok - Swagelok Teilenummer: SS-4-TA-1-4 Element C.

  • Seite 106: Externe Sniff-Kalibrierungseinrichtung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 5. Platzieren Sie das System im Test und stellen Sie sicher, dass der Testanschlussdruck zwischen 5E-1 Torr 1 Torr (750 mTorr bevorzugt) ist. 6. Führen Sie eine interne Kalibrierung durch. 7. Führen Sie eine externe Kalibrierung durch mit dem Sniffing-Tester (Abbildung 5-18), durch: a.

  • Seite 107: Alicat Unterstützte Methode Der Ppm-Prüfung Des Wissenschaftlichen Massendurchflussmessers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 5-19 Alicat unterstützte Methode der PPM-Prüfung des wissenschaftlichen Massendurchflussmessers Der Schlauch kann an der Einlassseite des Massendurchflussmesser angeschlossen werden. Eine Verbindungstechnik wird hier beschrieben, wenn sie den Sniffer- Stromtester von Agilent kaufen möchten. 1/16" ID-Schlauch kann alleine verwendet werden, mit sich selbst als Sniffing-Tester, obwohl er keinen Griff haben wird.

  • Seite 108: Weiterverwendung Einer Stromtester Für Dünnen Schlauch Ohne Einen Regler

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Die Verbindung von 3/16“ Rohrleitung zur 1/16“ Rohrleitung kann mit der McMaster-Carr Teilenummer 2808K105 erreicht werden. 1/16" Rohrleitung sollte wie der Sniffer mit der langen Leitung in dieser Anwendung verwendet werden, nicht die dickere 3/16" ID- Rohrleitung. Die dünnere Rohrleitung gibt eine schnellere Reaktionszeit für ein Heliumsignal.

  • Seite 109: Externe Sniff-Kalibrierungseinrichtung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Der kleinste Massendurchflussmesser, der verwendet HINWEIS werden kann, während er immer noch funktioniert. Es könnte 300 SCCM klein sein, obwohl diese Flussrate nicht den Massendurchfluss bei der Messung von Flüssen von Lecksuchern mobiler Einheiten (Einheiten mit größeren Vorvakuumpumpen) lesen kann.
  • Seite 110 Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 5-23 Kompressionsport Abbildung 5-24 Testerkonfiguration 2. Messen Sie die Flussrate. Schreiben Sie diese Zahl für später auf. 3. Lüften Sie das System und entfernen Sie den Massendurchflussmesser. Wenn der Testanschlussdruck konstant bleibt, sollte sich die Flussrate nicht ändern. Passen Sie nicht das Messventil auf der Rückseite des Sniffing-Stromtesters ohne...
  • Seite 111 Agilent Technologies Heliumlecksucher 5.1.3.10.6.7 Teile pro Million (PPM) Anwendungshinweise Theorie Teile pro Million (PPM) von Helium können mit Hilfe eines Lecksuchers gemessen werden, der entweder in Zusammenhang mit einem Massendurchflussmesser verwendet wird oder mit Hilfe einer bekannten Konzentration (PPM) von Helium kalibriert wird.
  • Seite 112 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 113: Abschnitt 6. Einstellungsbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 6. Einstellungsbildschirm 6.1 Einstellungsmenü Das Einstellungsmenü konfiguriert den Lecksucher für eine gewünschte Erscheinung und Funktion. Das Einstellungsmenü besteht aus folgenden: ❑ Haupteinstellungen - Datums- und Uhrzeiteinrichtung, Leckraten- und Druckeinheitenauswahl und Sprachauswahl. ❑ Bildschirm-& Ausgangseinstellungen - Säulendiagrammerscheinung, Leckraten- Aufstellungsauswahl und Auswahl Analoger Ausgang.

  • Seite 114: Haupteinstellungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 6.2 Haupteinstellungen Zur Öffnung dieses Bildschirms wählen Sie Registerkarte Menü > Einstellung > Haupteinstellungen. Bei geöffnetem Einstellungsmenü, wählen Sie das Haupteinstellungsmenü wie unten angezeigt: Abbildung 6-1 Enstellungen: Haupteinstellungen Tasten und Felder Datum & Uhrzeit Anzeige und Konfiguration des aktuellen Datums und der aktuellen Uhrzeit.

  • Seite 115: Datum Und Uhrzeit

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Sprache Die verfügbaren Auswahlen schließen ein: ❑ Englisch ❑ Französisch ❑ Spanisch ❑ Deutsch ❑ Mandarin ❑ Koreanisch ❑ Japanisch ❑ Russisch 6.2.1 Datum und Uhrzeit konfigurieren Zur Konfiguration des Datums- und Uhrzeitbilschirms: Abbildung 6-2 Datum und Uhrzeit 1.

  • Seite 116: Bildschirmeinstellungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 6.2.2 Bildschirmeinstellungen Die Bildschirmeinstellungen sind ein personalisiertes Menü, welches das Säulendiagramm des Lecksuchers, Leckratenaufstellung und der Typ der analogen Ausgangsspannung ist. Abbildung 6-3 Enstellungen: Bildschirmeinstellungen Tasten und Felder Säulendiagramm Konfiguriert das Säulendiagramm: ❑ Linearmaßstab - Die Leckrate des linearen Säulendiagramms erscheint über der Oberseite aller...
  • Seite 117 Agilent Technologies Heliumlecksucher Bereich Konfiguriert den Mindestbereich (Bereichsstopp) und den Bereich Nur Anzeigen (Manuell) Optionen Leckrate ❑ Bereich Nur Anzeigen - Konfiguriert den Lecksucher, damit er nur die im Feld der manuellen Bereichvariable eingegebene vorher ausgewählte Dekade anzeigt. Wenn die Funktion manueller Bereich beispielsweise aktiviert war und die manuelle Bereichsvariable auf E-6 eingestellt war, dass wäre die auf dem LED-Säulendiagramm...

  • Seite 118: Bereichsstopp/Empfindlichkeitsanforderungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 6-1 Bereichsstopp/Empfindlichkeitsanforderungen Bereichsstopp Max. Verstärkung 5.00E-12 EIN bei 5.00E-12 5.00E-11 5.00E-10 5.00E-09...

  • Seite 119: Analogausgang

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 6.2.3 Analogausgang Analogausgang Konfiguriert die Analogausgänge: ❑ Linear 10 V/DEC Linearer Ausgang, der von 0 bis 10 V für jede Dekade läuft. Abbildung 6-4 zeigt die lineare Ausgangsspannung als eine Funktion der Leckrate. ❑ Log 1 V/DEC Protokollausgabe bei 1 V pro Dekade.

  • Seite 120: Logarithmische Ausgangsspannung Des Lecksuchers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Ausgangsspannung = Leckraten-Mantisse Leckraten-Mantisse = Ausgangsspannung *Standard- und Ausgangsspannung (Volts) Hochempfindlichkeitsversionen Abbildung 6-4 Lineare Ausgangsspannung des Lecksuchers V = LOG (Leckrate X 10 Leckrate = 10 Ausgangsspann Abbildung 6-5 Logarithmische Ausgangsspannung des Lecksuchers...

  • Seite 121: Fernbedienung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 6.2.4 Fernbedienung Die Funktion Fernbedienung ist eine werksseitige oder vor Ort installierte drahtlose Option, die die Kommunikation zwischen dem Lecksucher und der drahtlosen Handfernbedienung von Agilent festlegt. Verwenden Sie dieses Menü, um die drahtlose Sockelleistenoption des Lecksuchers zu aktivieren und die HF- Kanalnummer zuzuweisen, die mit dem Fernhandgerät verknüpft...

  • Seite 122: Passwort Und Einschränkungen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 6.2.5 Passwort und Einschränkungen Das Passwort- und Einschränkungs-Menü ist eine optionale Konfiguration, die die Einrichtung des Lecksuchers schützt. Die werkseitigen und operativen Einrichtungen des Lecksuchers beeinflussen deutlich die Leistung des Lecksuchers und es darf nur von geschultem Servicepersonal darauf zugegriffen werden. Dieses Menü erlaubt nur den Schutz unbeabsichtigter Kalibrierungen und zufälliger Betreibereingabe während die...

  • Seite 123: Drahtlos

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Das Passwort kann auch durch den RS-232-Anschluss HINWEIS gelesen werden, für den Fall eines Passwortverlustes. Siehe Abschnitt A „Kommunikationsprotokoll“ auf Seite 139. Lüftungssteuerung Sperren Deaktiviert die Taste LÜFTEN . Diese Option verhindert die zufällige Systemlüftung während des Tests unter Fern- oder PLC-Steuerung.
  • Seite 124 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 125: Abschnitt 7. Wartungsbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 7. Wartungsbildschirm 7.4 Wartungsmenü Das Wartungsmenü ermöglicht Ihnen die Ansicht oder die Änderung der Einstelungen/Parameter des Lecksuchers, einschließlich ❑ Allgemein ❑ Intern Kalibriertes Leck ❑ Manuelle Optimierung ❑ Spektrometer-Optimierungsparameter ❑ Ventilsteuerung ❑ Ventilstatus ❑ Pumpe ❑...

  • Seite 126: Softwareupdate

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.1 Softwareupdate Kontaktieren Sie den Kundenservice/Technischen Support von Agilent für das neueste Software-Upgrade. Das Softwareupdate-Dienstprogramm ist notwendig, wenn hinzugefügte Funktionen und Software-Upgrades benötigt werden. Ein USB-Stick ist alles, was benötitgt wird. Der USB-Anschluss befindet sich auf der Rückseite des Lecksuchers Abbildung 7-2.

  • Seite 127: Intern Kalibrierte Leckeinrichtung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.2 Intern kalibrierte Leckeinrichtung Verwenden Sie diesen Bildschirm, um den Internen Leckwert, Temperaturkoeffizienten oder Ablaufdatumeinzustellen. Der Bildschirm Intern Kalibriertes Leck erscheint (Abbildung 7-4). Abbildung 7-4 Intern kalibriertes Leck Zur Verwendung dieses Bildschirms: 1. Drücken/tippen Sie auf das unterstrichene/hervorgehobene Feld, um die...
  • Seite 128 Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 7-5 Tastaturen Intern Kalibriertes Leck 2. Geben Sie die erforderlichen Werte an, wie auf dem Etikett des kalibrierten Lecks oder der Kalibrierungszertifizierung angezeigt. 3. Wiederholen Sie Schritt 1 und 2 für jedes gewünschte Element. 4. Drücken Sie auf OK , um den Bildschirm zu schließen.

  • Seite 129: Kalibriertes Leck

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung 7-6 Kalibriertes Leck Der aktuelle Wert und die Informationen des intern HINWEIS kalibrierten Lecks sind auf dem Kalibrierungszertifikat zu finden, welches mit dem Lecksucher oder mit dem vor Ort installierten kalibrierten Leck versandt. Das Etikett auf dem intern kalibrierten Leck enthält auch alle notwendigen...

  • Seite 130: Manuelle Optimierung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.3 Manuelle Optimierung ❑ Drücken Sie auf Manuelle Optimierung und der Bildschirm zur manuellen Spektrometeroptimierung erscheint (Abbildung 7-7). Verwenden Sie diesen Bildschirm, um die Parameter anzusehen und manuell auf die Ionenquelle des Spektrometers für ein maximales Heliumsignal anzupassen.
  • Seite 131 Agilent Technologies Heliumlecksucher Filament Schaltet zwischen Filament 1 und 2. Die Filamentauswahl kann manuell durchgeführt werden, aber tritt automatisch auf, wenn das aktuelle Betriebsfilament ausbrennt. Eine Kalibrierungsroutine wird jedes Mal wenn das Betriebsfilament geändert wird empfohlen. Der Wechsel erscheint auf dem Start- und...
  • Seite 132 Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Passen Sie den IONEN-Wert nach oben oder unten an, um den maximalen Wert zu erreichen. Idealerweise sollte der IONEN-Wert zwischen 205 und 240 sein. ❑ Passen Sie die EMISSION an, um den maximalen Wert zu erreichen.

  • Seite 133: Wartung: Ventilsteuerung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.4 Wartung: Ventilsteuerung Verwenden Sie diesen Bildschirm, um die Ventile im Vakuumsystem des Lecksuchers zu Fehlerbehebungszwecken zu überwachen und zu steuern. Siehe Abbildung 7-10 auf Seite 123 für eine Darstellung des Vakuumsystems des Lecksuchers. Ventilstatus - Farbcode Abbildung 7-8 Wartung: Ventilsteuerung Abbildung 7-9 Ventilsteuerungsmodelle G8610B, G8611B, G8611C, G8612B &...

  • Seite 134: Tabelle Des Ventilzustands Des Lecksuchers - Einzelnes Mechanisches Pumpensystem

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Modelle beinhalten alle eine Membranpumpe wie über V8 angezeigt. Eine Manipulation der Ventile mit dem Bildschirm der VORSICHT manuellen Ventilsteuerung darf nur von Personen durchgeführt werden, die extrem vertraut mit dem Lecksucher sind, da Schäden an kritischen Komponenten (z.B.

  • Seite 135: Vakuumsystemdiagramm Des Lecksuchers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Testanschluss Testanschluss-Thermoelement Kalibriertes Leck Spektrometer Foreline Contraflow1 Contraflow2 Midstufe1 Midstufe2 * V8 Kal Leck Lüften Ablassen Abbildung 7-10 Vakuumsystemdiagramm des Lecksuchers * Normalerweise geöffnetes Ventil, eingeschaltet geschlossen während aller Betriebe. ** Modell G8610B, G8611C, G8612C, G8611B während der Rohbearbeitungssequenz.

  • Seite 136: Wartung: Pumpe

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.5 Wartung: Pumpe Der Pumpenmenübildschirm zeigt den Vorpumpentyp (Trocken oder Öl) an - Werkseitig konfiguriert. Betriebsstunden und Letzte Wartung werden ebenfalls angezeigt. Dieses Menü zeigt auch die Installation einer Membranablasspumpe und die Betriebsstunden sowie das letzte Wartungsdatum an.

  • Seite 137: Vorpumpentyp Und Ablasspumpenaktivierung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.5.1 Vorpumpentyp und Ablasspumpenaktivierung Der Vorpumpentyp und die Ablasspumpe werden werkseitig konfiguriert oder können vom Servicetechniker konfiguriert werden. Wenn das Letzte Wartungsdatum aktualisiert/geändert wird, dann HINWEIS stellen sich die Betriebsstunden auf Null zurück 7.4.6 Wartung: Messgerätkalibrierung Eine Anzeige von <1.0E-03 gibt an, dass der Druck geringer ist, als der am niedrigsten anzeigbare Druck des TC-Messgeräts, der 1.0E-03 ist.

  • Seite 138: Wartung: Systemstandards

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Testanschluss-ATM Stellt den atmosphärischen Wert des Thermoelements ein. Führen Sie diesen Betrieb nur durch, wenn der Testanschluss auf Atmosphäre ist. Testanschlussdruck und Diese Werte erscheinen auf diesem Bildschirm zur Referenz. Spektrometerdruck 7.4.6.2 Messgerätkalibrierungsverfahren des Testanschlussdrucks Kalibriert das Thermometermessgerät des Testanschlussdrucks. Führen Sie sowohl die Verfahren Vakuum und Atmosphärische Kalibrierung in der gegebenen Reihenfolge durch.

  • Seite 139: Bildschirmzustände Der Systeminformationen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.6.4 Systeminformation ❑ Drücken Sie auf Systeminformationenauf dem Menübildschirm. Der Systeminformationsbildschirm erscheint (Abbildung 7-14). Dieser Bildschirm gibt Details der installierten Softwareversion, Spektrometerparameter und der Turbofrequenz. Abbildung 7-14 Systeminformationen Tabelle 7-2 Bildschirmzustände der Systeminformationen Zustand Anzeige Beschreibu Ionenquellfilament Filament 1 Aus Filament 1 wird ausgewählt und nicht...

  • Seite 140: Aktueller Einrichtungsbildschirm

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.1 Aktueller Einrichtungsbildschirm Details der aktuallen Lecksuchereinrichtung werden angezeigt. Zurückweisungs- und Audio-Sollwert-Status, Auto-Sequenzer-Status & Split-Flow. Die Einstellung des kalibrierten Lecks, Einstellungen des Leckratenbereichs und der Lüftungssperrstatus. Abbildung 7-15 Aktueller Einrichtungsbildschirm Tabelle 7-3 Zustände des aktuellen Einrichtungsbildschirms Zustand...
  • Seite 141 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 7-3 Zustände des aktuellen Einrichtungsbildschirms (Fortsetzung) Zustand Anzeige Beschreibu Bereichsstopp -[Exp] Bereichsstopp System ist eingestellt, um den empfindlichsten Siehe Abschnitt 4 Leckratenbereich anzuzeigen, „Kalibrierungsbildschirm“ . Die Bereichs- [Exp] auf Seite 65. stoppleitung wird nur angezeigt, wenn der Bereichsstopp eingeschaltet ist.

  • Seite 142: Aktuelle Einrichtung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 7.4.1.5 Aktuelle Einrichtung Das aktuelle Einrichtungsmenü zeigt alle aktiven Parameter einschließlich den ausgewählten Anwendungen an. 7.4.1.6 Abschalten Abbildung 7-16 Ausschalten Diese Funktion bietet ein weiches Herunterfahren für die CPU und Turbopumpe vor dem Ausschalten des Hauptstrom-/Trennschalters. Diese Ausschaltfunktion bietet ein zweiminütiges HINWEIS Bremsverfahren für die Turbopumpe.
  • Seite 143 Agilent Technologies Heliumlecksucher 1. Wählen Sie Power Off (Ausschalten). 2. Warten Sie darauf, dass sich die Statusleiste zu 100% füllt. 3. Drücken Sie auf OK und schalten Sie den Stromschalter aus, der sich auf der Rückseite des Lecksuchers befindet. Abbildung 7-17 Ausschalten...
  • Seite 144 Agilent Technologies Heliumlecksucher Diese Seite wurde absichtlich freigelassen.

  • Seite 145: Abschnitt 8. Einheitswartung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abschnitt 8. Einheitswartung Die gesamte Wartung darf nur von geschultem Personal HINWEIS durchgeführt werden. Ein Massenspektrometer-Lecksucher erfordert eine periodische Wartung, um einen kontinuierlichen zuverlässigen Betrieb sicherzustellen. Nach einer längeren Nutzung sammelt der Lecksucher Schadstoffe auch von den saubersten getesten Produkt, die eventuell den Betrieb beeinträchtigen.
  • Seite 146 Agilent Technologies Heliumlecksucher Bei der Instandhaltung des Lecksuchers oder eines Vakuumsgerätes ist die Sauberkeit wichtig. Es gibt einige Techniken, die bei der Instandhaltung des Lecksuchers wichtiger sind als bei der allgemeinen Vakuumarbeit: Verwenden Sie kein Silikon oder Silikonfett. VORSICHT Verwenden Sie puderfreie Butyl- oder Polycarbonat- Handschuhe, damit Hautöle nicht auf Vakuumoberflächen...

  • Seite 147: Geplante Wartung

    Pumpen) Ersetzen Sie Spitzendichtungen auf Modellen: G8610B, G8611B, G8611C, G8611D,G8612B,G8611C Ölwechsel - Modelle G8610A, G8611A, G8611B, G8611D, G8612A Wartungsfunktionen, die auf einer Nachfragebasis erforderlich sein können, wie Wechsel eines Filaments nach einem Filamentfehler, werden in Tabelle 8-2 aufgelistet. Tabelle 8-2 Geplante Wartung Funktion Häufigstes Merkmal...

  • Seite 148: Sicherungen Und Trennschalter

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle 8-2 Geplante Wartung Funktion Häufigstes Merkmal Optimierungsanpassungen Wenn eine Kalibrierung nicht erfolgreich ist oder wenn das System auf ein externes Leck kalibriert ist, kann eine Optimierung das Heliumsignal maximieren. Wechsel der Flüssigkeit der Anhaltendes, hohes Heliumhintergrundsignal.

  • Seite 149: Tägliche Wartung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 8.1 Tägliche Wartung 8.1.1 Empfindlichkeitsprüfung Zur Durchführung einer Empfindlichkeitsprüfung: 1. Schalten Sie das Std Leck auf dem Bedienfeldbildschirm ein. 2. Vergleichen Sie den Wert auf dem Startbildschirm mit dem Wert des bekannten kalibrierten Lecks auf dem Bildschirm des intern kalibrierten Lecks.

  • Seite 150: Ersatzteilliste

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 8.3 Ersatzteilliste Tabelle 8-4 Ersatzteile des Lecksuchers Baugruppe Teilenummer Motherboard PCB R2101501 Ionenquelle PCB R2120502 Ventiltreiber PCB R2104502 Turbopumpenregler PCB austauschen EX9699518M001 Touchscreen-Anzeige G8610-68003 Spektrometerbaugruppe, Austausch G8610-69008 Ionenquellersatz-Kit VSFLDHIS Filamentersatz-Kit VSFLDHFR Metalldichtungs-Kit VSFLDMG Ventilblock O-Ring-Kit VSFLDOV Kalibriertes Leck, intern VSFLDCL TC-Messgerät...

  • Seite 151: Ersatzteile Der Primärpumpen

    IDP3TS G8610B, G8611B, G8611B, Membranpumpen-Instandhaltungskit VSFLDDP G8612B, G8612C Membranpumpen-Ersatzkit G8610B, G8611B, G8611B, VSFLDDPR G8612B, G8612C Elite Z Mechanische Pumpe Öl G8611A, G8612A, G8610A, 695409005 G8611D IDP-15 Scrollpumpenaustausch G8611C, G8612C X3815-69010 IDP-15 Spitzendichtungsset G8611C, G8612C X3815-67000 DS602, Austausch Drehschieberpumpe G8611D, G8612D...

  • Seite 152: Zubehörartikelliste Des Lecksuchers

    Agilent Technologies Heliumlecksucher 8.4 Zubehörartikelliste des Lecksuchers Tabelle 8-6 Zubehörartikelliste des Lecksuchers* Baugruppe Teilenummer Flapperbox, NW25 Flansch VSFLDFBNW25 Flapperbox, Kabel (I/O Option erforderlich) VSFLDFBCBL Stromtester, 10’ (NW25 Flansch) K9565306 Stromtester, 25’ (NW25 Flansch) K9565307 Ersatzspitzenfilter für Stromtester (Menge: 10) K9565303...

  • Seite 153: Anhang A. Kommunikationsprotokoll

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Anhang A. Kommunikationsprotokoll Dieser Anhang definiert die technischen Spezifikationen für das RS-232-Protokoll, das mit dem Lecksucher verwendet wurde und beschreibt die kundenspezifischen Ein-/Ausgaben. A.1 Protokoll (RS-232) RS-232-Anschlüsse funktionieren bei 9600 Baud, 8 Bit, keine Parität, und einem Stoppbit.

  • Seite 154: Kommunikation Mit Rs-232

    Agilent Technologies Heliumlecksucher A.2 Kommunikation mit RS-232 Das RS-232-Protokoll ist zu Diagnosezwecken und anfänglichen Erstellungsanfragen gedacht. Die RS-232-Verbindung befindet sich auf dem rückseitigen D-sub 9-pin- Anschluss. Der Lecksucher RS-232-Anschluss ist kein interruptgesteuerter Anschluss. Er ist konfiguriert als DEE (Datenendeinrichtung), daher kann das RS-232-Protokoll des Lecksuchers nicht als Zeichenfolgen gesendet werden.
  • Seite 155 Agilent Technologies Heliumlecksucher 7. Konfigurieren Sie die folgenden Einstellungen: ❑ Bits pro Sekunde (Baud-Rate) – 9600 ❑ Datenbits: – 8 ❑ Parität: – Keine ❑ Stoppbits: – 1 ❑ Flusskontrolle: – Keine 8. Klicken Sie auf OK. 9. Wählen Sie Eigenschaften vom Dateimenü.

  • Seite 156: Drucken Mit Hyperterminal

    Agilent Technologies Heliumlecksucher A.2.2 Drucken mit HyperTerminal Die einfachste Art Informationen zu drucken, die im HyperTerminal erfasst sind ist es, das Drucken vom Dateimenü auszuwählen; dennoch druckt diese Methode nur aktuell auf dem Bildschirm angezeigte Informationen. Bildschirminformationen kann auch hervorgehoben, kopiert und in Microsoft Word oder Excel eingefügt werden.
  • Seite 157 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-1 listet die Anfragen auf, die verwendet werden, um interne Betriebsparameter zu bestimmen. Alle Anfragen, außer VER, beginnen mit und enden mit <CR>. Tabelle A-1 Interne Betriebsparameter Anfrage Antwort ?ALL Antwortet mit vier Zeilen. Jede beginnt mit einem <cr><lf>. Die erste Zeile teilt den Ionenkammerwert mit.
  • Seite 158 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-1 Interne Betriebsparameter (Fortsetzung) Anfrage Antwort ?LEAK Teilt eine sechsstellige Zahl mit, die aus einer zweistelligen Leckratenmantisse mit einem Dezimalpunkt nach der ersten Zahl gefolgt von E besteht - dann eine zweistellige Zahl, welche der Exponent des Leckratenbereichs ist (z.B. 1.3E-08).
  • Seite 159 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-1 Interne Betriebsparameter (Fortsetzung) Anfrage Antwort ?SETUP Teilt sieben Zeilen mit, jede beginnt mit einem <cr><lf>. Die erste Zeile teilt die Turbopumpengeschwindigkeit mit dem RPM-Wert oder AUS mit. Die zweite Zeile teilt den ausgewählten manuellen Leckratenbereich und die Bereichswahlmethode als auto oder manuell mit.
  • Seite 160 Agilent Technologies Heliumlecksucher Die Befehle, die in Tabelle A-2 aufgelistet sind, werden verwendet, umnichtflüchtigeBetriebsparameter einzustellen. Der aktuelle Wert des Betriebsparameters wird auf den neuen Wert geändert. Wenn der Lecksucher in der Steuerung der Rückseite ist, ist die Antwort cant. Tabelle A-2 Nichtflüchtige Betriebsparameter...
  • Seite 161 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-2 Nichtflüchtige Betriebsparameter (Fortsetzung) Befehl Parameter INIT-ION Stellt die Ionenspannung der Ionenquelle ein. Vorausgehend mit einer dreistelligen Zahl (Volt), im Bereich 220 bis 280. INIT-LANGUAGE Wählt die auf der Anzeige anzuzeigende Sprache aus. Vorausgehend mit 0-6, wobei (0=Englisch, 1=Französisch, 2=Deutsch, 3=Koreanisch, 4=Spanisch, 5=Japanisch, 6=Chinesisch).
  • Seite 162 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-2Nichtflüchtige Betriebsparameter (Fortsetzung) Befehl Parameter INIT-4REJECT Stellt den Testanschlussdruckwert für den Zurückweisungs-Sollwert #4 ein. Vorausgehend mit einer zweistelligen Leckratenmantisse mit einem Dezimalpunkt nach der ersten Zahl, gefolgt von E-, und dann von einem zweistelligen Exponenten der Leckrate: der Testanschluss-TC-Druck in millitorr.
  • Seite 163 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-2Nichtflüchtige Betriebsparameter (Fortsetzung) Befehl Parameter UNLOCK-MS Dektiviert die MS-Sperrfunktion. ?MS-LOCK Fragt den Status der MS-Sperrfunktion ab; entweder ein oder aus erscheint. Die Befehle, die in Tabelle A-3 aufgelistet sind, werden verwendet, um eine sofortige Änderung in den Betriebsparametern des Spektrometers zu verursachen. Diese Befehle ändern nicht die nichtflüchtigen Betriebsparameter.
  • Seite 164 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-4 Lecksuchaktionen (Fortsetzung) Befehl Aktion DISABLE-xREJECT Stellt den Zurückweisungs-Sollwert AUS. Wobei x eine Zahl von 1 bis 4 oder der Buchstabe A ist. DISABLE-RANGESTOP Stellt die Bereichsstopp-Funktion AUS. DISABLE-VOLUME Stellt Audio AUS. ENABLE-0ENABLE Stellt die Funktion Null Aktivieren EIN.
  • Seite 165 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-4 Lecksuchaktionen (Fortsetzung) Befehl Aktion TUNE Passt die Ionenquellspannung an, um eine maximale Antwort auf Helium zu verursachen. VENT Verursacht, dass der Lecksucher den Testanschluss für die Atmosphäre isoliert und lüftet. XYZZY Entsperrt das System, damit alle RS-232 Befehle zugänglich sind.

  • Seite 166: Für Kunden Zugängliche Eingänge Und Ausgänge

    Agilent Technologies Heliumlecksucher A.3 Für Kunden zugängliche Eingänge und Ausgänge A.3.1 Serieller Anschluss Verwenden Sie den SERIELLEN Anschluss auf der Rückseite um den Lecksucher mit einem PC über einen isolierten RS-232-Anschluss zu verbinden. Tabelle A-5 und Abbildung A-1 bieten Details der Verbindung. Eine typische Verbindung von einem 9-pin PC seriellen Anschluss erfordert ein Buchse-zu-Buchse, 9-pin, Null-Modem-Kabel, wo Pin 2 und 3 über Kreuz sind.
  • Seite 167 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-6 I/O-Anschluss Pin-Signale (Fortsetzung) Signalname Signal Beschreibung Lecksucherverhalten ZERO_OUT Level Aktiv HOCH, wenn der Führt die Lecksucher im Nullstellungsroutine NULLSTELLUNGS-Modus durch. ist. HOLD_OUT Level Aktiv HOCH, wenn der Führt eine HALTE-Routine Lecksucher im HALTE- durch und isoliert den Modus ist.
  • Seite 168 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-6 I/O-Anschluss Pin-Signale (Fortsetzung) Signalname Signal Beschreibung Lecksucherverhalten REJECT4_ Level Aktiv HOCH, wenn der Gibt an, dass der Wert des Testanschluss-Druck über Testanschlussdrucks den dem Sollwert #4 ist. in der Variable 4REJECT überschreitet. CAL_OUT_ Level Aktiv HOCH, wenn die...

  • Seite 169: Skizze Des Optisch Isolierten Ausgangskreises

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle A-6 I/O-Anschluss Pin-Signale (Fortsetzung) Signalname Signal Beschreibung Lecksucherverhalten RDSTDLK_ Level Aktiv HOCH, wenn das Initiiert die Standardleck EINgeschaltet Lesungsroutine des ist. INTERNEN STANDARDLECKS. PARALLEL_ Level Aktiv HOCH wenn Die Aktivierung verursacht, AKTIVIEREN dass der Lecksucher nur ENABLE_IN aktiv ist.

  • Seite 170: Skizze Des Optisch Isolierten Eingangskreises

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung A-3 zeigt die Eingangskreisskizze an. Alle Eingänge sind optisch isolierte 3300 Ohm Lasten in Reihe mit dem LEDS der Optokoppler und Spannungsniveau von 5 VDC bis +24 VDC. Die erforderlichen Impulseingaben sind 200 ms Mindestimpulsbreite. Abbildung A-3 Skizze des optisch isolierten Eingangskreises...

  • Seite 171: Anhang B. Einführung In Die Lecksuche

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Anhang B. Einführung in die Lecksuche B.1 Leckprüfung—Warum wird sie benötigt? Helium ist eine bessere Auswahl des Tracergases, um Lecks aus einer Vielzahl von Gründen zu finden. Helium ist: ❑ Ungiftig ❑ Inert und nicht kondensierbar ❑...
  • Seite 172 Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Ventile, die die verschiedenen Stufen des Lecksuchzyklusses aktivieren, von Evakuierung, bis Test, bis Lüftung ❑ Verstärker und Ausgabeinstrumentation, welche die Ausgabesignale des Spektrometers überwacht ❑ Elektrischer Strom liefert und steuert das Ventil der Sequenz, schützende Stromkreise etc.

  • Seite 173: Methoden Der Leckprüfung

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung B-2 Selektiver Ionenpumpensucher B.3 Methoden der Leckprüfung Es gibt viele verschiedene Arten, um Teile auf Lecks zu prüfen, unter Verwendung von Helium als Tracergas. Im allgemeinen wird die Lecksuchmethode basierend auf den eigentlichen Arbeitsbedingungen des zu prüfenden Teils ausgewählt. Es wird empfohlen, dass während der Leckprüfung die gleiche Druckdifferenz gehalten wird und in der...

  • Seite 174: Vakuumprüfmethode (Outside-In)

    Agilent Technologies Heliumlecksucher B.3.1 Vakuumprüfmethode (Outside-in) Der zu testende Teil wird mit einem separaten Pumpensystem für größere Volumen evakuiert, oder mit dem Lecksucher selbst. Wenn der geeignete Überkreuzdruck erreicht wurde, wird der Lecksucher mit einem Ventil versehen oder in den Test übertragen und der Teil wird getestet mit einer der folgenden Methoden: B.3.1.1 Leckortung...

  • Seite 175: Druckprüfmethode (Inside-Out)

    Agilent Technologies Heliumlecksucher B.3.2 Druckprüfmethode (Inside-out) Dieser Technik wird der Teil mit Helium oder einer Mischung aus Helium und Luft unter Druck gesetzt und durch eine der folgenden Methoden getestet. B.3.2.1 Leckmessung: Um die Gesamtmenge an Lecks (aber nicht die Leckanzahl oder Leckortung) zu bestimmen, wird der Teil mit Helium (oder einer Mischung aus Helium und Luft) unter Druck gesetzt.
  • Seite 176 Agilent Technologies Heliumlecksucher B.3.2.2 Leckortung Um den Standort der Lecks genau festzulegen (aber nicht das Gesamtleck zu messen), werden die wahrscheinlich potentiellen Standorte des Teils gescannt, mit einem Sniffer- Tester, der mit dem Einlass des Lecksuchers verbunden ist (Abbildung B-6).

  • Seite 177: Systemlecktestmethoden

    Agilent Technologies Heliumlecksucher B.3.2.2.1 Ansammlungsprüfmethode Diese Methode kann Lecks sowohl lokalisieren als auch quantifizieren. Einige Verhüllungs- oder Haubenarten werden so platziert, um einen möglichen Leckort zu umhüllen. Eine bestimmte Menge an Zeit wird gegeben, damit sich das austretende Helium im umhüllten Bereich ansammelt, indem die Heliumkonzentration erhöht wird.
  • Seite 178 Agilent Technologies Heliumlecksucher Abbildung B-8 Vakuumsystem B.3.3.2 Unter Druck gesetzte Systeme Viele verschiedene Typen unter Druck gesetzter Systeme müssen auch leckfrei sein. Diese Systeme können mit Helium oder einer Mischung aus Seele und einem anderen Gas wie Stickstoff beladen werden. Wenn eine verdünnte Heliummischung verwendet wird, wird das Heliumsignal proportional vermindert.

  • Seite 179: Typische Lecksuchanwendungen

    Fehlers sein. Ein Ausfall muss in jedem Fall minimiert werden. Ein robuster, zuverlässiger, schnell startender Lecksucher ist notwendig, um die Anlaufzeit von Produktionstools zu maximieren. Der tragbare Lecksucher des Helium- Massenspektrometers von Agilent Technologies kommen in der Industrie voran. Beispiele einiger dieser Anwendungen sind: Vakuum-Prozess-Ausrüstung oder -Tools ❑...

  • Seite 180: Im System Integrierte Lecksuche

    Agilent Technologies Heliumlecksucher ❑ Halbleiter-Prozess-Tools ❑ Laser-Prozess-Ausrüstung Unter Druck gesetzte Systeme ❑ Kraftwerke ❑ Undergrundtanks, Kabel und Rohre ❑ Reinstgashandhabungssysteme ❑ Bioreaktoren und Fermenter ❑ Flüssiggasherstellungseinrichtungen ❑ Kraftstofftanks und -blasen B.4.3 Im System integrierte Lecksuche Hersteller von großen, komplexen Systemen können wählen in diese Systeme einen Komponenten-Lecksucher zu integrieren, der die andauernde Wartung einer leckfreien Integrität vereinfacht und dadurch ihren Kunden zusätzlichen Wert gibt.
  • Seite 181 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tragbare Sniffing-Anwendungen Einige Anwendungen erfordern, dass der Bediener oder Techniker Lecks von einer Leiter, draußen, über oder unter dem Erdboden oder in einer dicht gebauten industriellen Einrichtung oder einem Kraftwerk zu. In diesen Fällen könnte ein mobiler Wagen- montierter MSLD nicht praktisch sein.

  • Seite 182: Anhang C. Spezifikationen

    Agilent Technologies Heliumlecksucher Anhang C. Spezifikationen C.1 Spezifikationen Die Funktionen für den Lecksucher werden in Tabelle C-1 bereitgestellt. Tabelle C-1 Lecksucher-Reihen (Fortsetzung) Lecksucher des Helium-Massenspektrometers von Agilent Technologies Spezifikationen Versionen Pumpe Drehschiebe Trockene Scroll Vorpumpentyp DS40M DS-302 TS-620 IDP-15 IDP-3...
  • Seite 183 Abmessungen Siehe Entwurfszeichnungen (Abbildung 1-1 auf Seite 27 bis Abbildung 1-14 auf Seite 35). Gewicht G8610A mit eingebauter DS40M-Pumpe: 35 kg/77 lb.* G8611A w/DS-302 Drehschieberpumpe auf dem Wagen: 172 lb./78 kg* G8611C w/IDP-15 trockene Scroll-Pumpe auf dem Wagen: 194 lb./88 kg* G8611B w/TS-620 trockene Scroll-Pumpe auf dem Wagen: 192 lb./87 kg* G8610B mit...
  • Seite 184 Agilent Technologies Heliumlecksucher Tabelle C-1 Lecksucher-Reihenspezifikationen (Fortsetzung) Lecksucher des Helium-Massenspektrometers von Agilent Technologies Spezifikationen Versionen Kontra-Kreuzung 10 Torr sinkend, 12 Torr steigend 1 x 10 atm.cc.Sek. Empfindlichkeit im Hohen Drucktestmodus...

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