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B.4 Typische Lecksuchanwendungen
B.4.1 Qualitätskontrolle der Produktionsteile und der Baugruppen
Die Erkennung und Lokalisierung von Lecks ist kritisch in der Produktion vieler Produkte
von individuellen Komponenten, bis hin zu Unterbaugruppen, bis hin zu vollständigen
Systemen. In vielen dieser Fälle ist es wichtig die Leckgröße oder -rate zu kennen, da es
der Standort ist. Egal ob quantitative oder qualitative Prüfung erforderlich ist, unsere
Lecksucher helfen die Leckintegrität Ihrer Teile oder Baugruppen sicherzustellen. Einige
Beispiele umfassen:
Evakuierte Teile und Baugruppen
❑
Hermetisch abgedichtet elektronische Pakete
❑
Ventile und Vielfältigkeit
❑
Durchführungen/Glas-zu-Metall-Dichtungen
❑
Vakuumgefäße und -systeme
Unter Druck gesetzte Teile und Baugruppen
❑
Klimaanlage- und Kühlungsbaugruppen
❑
Heizkörper, Wärmetauscher und Kondensatoren
❑
Bremse, Kraftstoff und Hydraulikleitungen
❑
Gastanks
❑
Lebensmittellagerungstanks und -verpackung
❑
Körper implantierbare medizinische Geräte
❑
High-Purity-Rohrleitung
B.4.2 Wartung der Systeme
Viele Vakuum-Prozess-Tools in fabs aller Arten, erfordern gelegentliche Leckprüfung.
Dies kann ein Teil eines preventive Beratungsplans oder im Falle eines unerwarteten
Fehlers sein. Ein Ausfall muss in jedem Fall minimiert werden. Ein robuster,
zuverlässiger, schnell startender Lecksucher ist notwendig, um die Anlaufzeit von
Produktionstools zu maximieren. Der tragbare Lecksucher des Helium-
Massenspektrometers von Agilent Technologies kommen in der Industrie voran.
Beispiele einiger dieser Anwendungen sind:
Vakuum-Prozess-Ausrüstung oder -Tools
❑
Vakuumöfen
❑
Vakuumbeschichter
❑
Beam-Lines
❑
Elektronenstrahl und Ionenstrahl-Prozess-Ausrüstung
❑
Analytische Instrumente
Agilent Technologies Heliumlecksucher
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