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Agilent Technologies Heliumlecksucher
Zur Kalibrierung im E-10-Bereich, muss das Vakuumsystem ausreichend gepumpt sein,
um den Heliumhintergrund unter dem Signalpegel des E-10-Bereichs zu reduzieren.
Dies ist erforderlich, um einen akzeptablen Signal-Rausch-Pegel zu erreichen und die
genaue Kalibrierung sicherzustellen.
Die Kalibrierung des E-10-Bereichs wird durch die Verwendung eines extern kalibrierten
Lecks durchgeführt. Wenn eine externe Kalibrierung bald nach der
Systeminbetriebnahme ausgewählt wird, bewertet das System dem Heliumhintergrund
und bestimmt, ob das Hintergrundsignal gering genug ist, um eine genau Kalibrierung
abzugeben. Wenn das:
❑
System ausreichend ausgepumpt hat, findet die Kalibrierung statt.
❑
Der Hintergrund ändert sich und gibt an, dass das System immer noch
Hintergrundhelium wegpumpt, ein Countdown-Timer erscheint (Abbildung 1-16).
Das System überwacht den Helium-
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