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Agilent Technologies G8610A Bedienungsanleitung Seite 172

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Ventile, die die verschiedenen Stufen des Lecksuchzyklusses aktivieren, von
Evakuierung, bis Test, bis Lüftung
Verstärker und Ausgabeinstrumentation, welche die Ausgabesignale des
Spektrometers überwacht
Elektrischer Strom liefert und steuert das Ventil der Sequenz, schützende
Stromkreise etc.
Die Befestigung, die den leckgeprüften Teil an der Leckprüfungsausrüstung
befestigt
Unsere SIPD -Produktfamile ist auch empfindlich auf Helium und basiert auf einer
patentierten Technologie mit dem Namen Empfindliche Ionen-Pumpenerkennung
(Abbildung B-2). Die Sensortechnologie umfasst eine Ionenpumpe, die an ein Quarz-
Kapillarrohr angeschlossen ist und unter hohem Vakuum gehalten wird. Dieses
Membran wird mit einem gespulten Platinfilament erhitzt. Sobald das Membran erhitzt
ist, wird es durchlässig für Helium. Wenn der partielle Druck von Helium in der
Ionenpumpe steigt, tut das auch die Stromaufnahme der Ionenpumpe. Dieser Strom ist
proportional zum Druck und ist daher repräsentativ vom Helium bei der Prüfsonde des
Instruments.
Ein selektiver Ionenpumpensucher besteht aus folgendem:
Einer Ionenpumpe und -regler
Einem durchlässigen Quarzkapillar
Einer Heizspule, die den Quarzkapillar umgibt
Elektronik zur Verarbeitung des Signals
Anzeige für den Zugriff auf die Leckrate und ande
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Agilent Technologies Heliumlecksucher
Abbildung B-1 Prinzip zur Magnetseparation
re Einheitsfunktionen

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