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5.1.2.2 Transfer zu Test
Der Werteingang und die versteckte Tastatur befinden sich rechts von der
Funktion Transfer zum Test. Verwenden Sie diese, um den Druck einzustellen,
bei dem das System in den Test geht.
Die Einstellung Transfer zum Test kann für spezifische Anwendungen auf
geringere Werte angepasst werden. Die Grenze auf dem maximalen Testdruck
verhindert, dass der Betreiber versehentlich den Lecksucher auf Transfer im Test
bei zu hohem Druck einstellt, was zu einer übermäßigen Kontamination des
Spektrometers oder einem Ionenquell-Filamentfehler führen könnte.
Maximaler
Testdruck
HINWEIS
Agilent Technologies Heliumlecksucher
Abbildung 5-4 Transfer zu Test
Bestimmt den Kreuzungspunkt des Testdrucks bei dem das
System von Rohbearbeitung in den Test und dann in den
Contra-Flow-Testmodus transferiert. Im Contra-Flow-
Testmodus wird die Gasprobe durch den Lecksucher gepumpt
und über die Hochvakuum- pumpen-Foreline gekehrt. Der
Contra-Flow-Modus ermöglicht eine höhere
Empfindlichkeitsprüfung bei außergewöhnlichen hohen
Testdrucken.
Der maximale Testanschlussdruck ist 10 Torr.
Der Transferdruck vom Testmodus zum Feintestmodus wird
auf 100 milliTorr (1.0E-1 Torr) eingestellt. Eventuell möchten
Sie den Wert unter bestimmten Umständen senken. Die
Transferdruckgrenze der mittleren Stufe ist anpassbar von 1
bis 100 milliTorr pber einen RS-232 Befehl (siehe?ML-XFER
und INIT-ML-XFER in Abschnitt A „Kommunikationsprotokoll"
auf Seite 139). Die Druckgrenze ist unter Verwendung der
Anzeige nicht anpassbar.
Drücken Sie auf den
Wert, um auf
die Tastatur
zuzugreifen
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