Inhaltsverzeichnis
Werbung
Agilent Technologies Heliumlecksucher
Abbildung B-2 Selektiver Ionenpumpensucher
B.3 Methoden der Leckprüfung
Es gibt viele verschiedene Arten, um Teile auf Lecks zu prüfen, unter Verwendung von
Helium als Tracergas. Im allgemeinen wird die Lecksuchmethode basierend auf den
eigentlichen Arbeitsbedingungen des zu prüfenden Teils ausgewählt. Es wird empfohlen,
dass während der Leckprüfung die gleiche Druckdifferenz gehalten wird und in der
gleichen Richtung wie während der eigentlichen Verwendung des Teils vorhanden.
Beispielsweise wird ein Vakuumssystem mit einem Vakuum in der Kammer geprüft,
während ein komprimierter Luftzylinder mit einem hohen Druck im Zylinder geprüft
werden sollte.
Es gibt zwei allgemeine Probleme bei der Leckprüfung. Eines ist der Standort der Lecks
und das andere ist die Messung der gesamten Leckrate des Teils, da einige Lecks
akzeptabel sein können. In vielen Fällen können Teile erst getestet werden, unsere
Stimmen, wenn sie ein akzeptables Level erreichen, und wenn nicht, kann der Teil
offline genommen werden und unterliegt einem zweiten Test mit der Absicht das Leck zu
lokalisieren. Zusätzlich können viele Teile in Batches getestet werden. Wenn ein Batch
fehlschlägt, kann der individuelle Teil in dem Batch separat getestet werden, um die
Leckteile zu identifizieren.
173
Werbung
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
