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Abb.2
Funktiansschema UL 100 PLUS
Fig.
2 Functional diagram of the UL 100 PLUS
Fig.
2 Schéma fonctionnel du détecteur UL 100 PLUS
Erläuterungen zur Abb, 2
Massenspektromater
Turbo-Malekularpumpe TURBOVAC 50
Totaldruck-Meßstelte, Vorvakuum
Totaldruck-Meßstelte, EinlaB
Testanschluß DN 25 KF
2.Testanschluß bzw. Anschluß für Teilstrom-
Pumpsatz ON 25 KF
7
'Option Teilstrom-Pumpsatz
8
Option He-Testleck TL 7
s
Anschluß DN 10 KF tür He-Testleck
10 — "Auspuff-Absparrventil
11 ` Drehschiaber-Vakuumpumpe TRIVAC.D 1,6 8
32
Trennstelle (Vaküumkupplung)
VI ` Pumpventil
EintaBventiVFlutventll
V1.2
Grobleck-Ventil
ext. Ventil für Option Teilstrompumpsatz
Key to Fig. 2
1
Mass spectrometer
2
Turbo-molecular pump TURBOVAC 50
3
Total backing-pressure measuring point
4
Total intake-pressure measuring point
5
Test connection DN 25 KF
6
7
8
H
onaun-
2nd test connection DN 25 KF or connection
for partial-flow pump sat
Partlal-low pump sat (option)
Helium callbrated leak TL 7 (option)
Connection
DN 10 KF for helium calibratad
leak
10
Exhaust shut-off valve
1
Rotary-vans vacuum pump TRIVAC D 1,6 B
12 ` Vacuum coupling
vi
Pump valve.
V2N3
Inlet valve/Vanting valve
V1.2
Coarse-leak valve
External valve for partial flow pump set option
13.1
Beschreibung des Nachweis-Prin-
zips (Gegenstrom)
Beim Gegenstrom-Prinzip wird der Prüfling an
der Vorvakuumpumpe angekoppelt.
Dadurch sind erheblich höhere Prüflingsdrücke
zulässig
als beim
klassischen
Hauptstrom-
Prinzip. Das Helium diffundiert. entgegen der
Pumprichtung der Turbo-Molekularpumpe
in
das Massenspektrometer,
wáhrend
schwere
Gase, vor allem Wasserdämpfe,
zurückge-
halten werden (massenabhängiges Kompres-
sionsvermügen).
Eine Kühlfalle in Verbindung mit fl. Stickstoff
ist deshalb nicht mehr erforderlich.
1.3.1.1.
Ventilstellung
Nachfolgende Tabelle zeigt den Zusammen-
hang zwischen der Betriebsart und den Ventil-
stellungen. Siehe auch Abb. 2.
Ventil-
stellung
Bezeich-
Einlaß
nung
V1.2, V2,
Vex offen
V1 geschl.
FINE
V1, V2,
p<0,2
Vgxr offen
V1.2 gesch,
ULTRA
V1, V2, offen]
p<0,2
V1.2 geschl.
Vexr geschi.
? mit externer Vorvakuumpumpe D 25 B
Légende de la tig. 2
1 Spectrométre de masse
Pompe turbomolecufalre TURBOVAC 50
Polnt de mesure pression totale, vide primaire
Point da mesure pression totale, admission
Raccord d'admission DN 25 KF
2e raccord test ou raccord du groupe de
pompage de flux partiel DN 25 KF
Option jeu de pompes
en régime à flux partiel
Option fulte calil
à l'héllum TL 7
on
onaum
1.3.1
Description of the Leak Detection
Principle (Counterflow)
With the counterflow principle, the test object
| is linked to the backing pump.
This permits considerably higher test-object
pressures compared to the conventional full-
flow principle. The helium diffuses against the
turbo-molecular pump's pumping direction into
the mass spectrometer, while heavy gasés,
especially water vapors, are restrained (mass-
dependent compression capacity).
A cold trap in conjunction with liquid nitrogen
is thus no longer needed.
1.3.1.1
Valve positions
The following
table provides
information
in
which way valve position and operating mode
are related. See also Fig. 2.
Lecksuch-Modul
Leak detection madule
Module-détecteur
9
Raccord ON 25 KF pour la calibráe à l'hélium
10.
Robinat d'isolement échappement
11
Pompe à vide rotative à palettes TRIVAC D 1,8 B.
12
Ligne de séparation (accouplement pour vide)
vi
Robinet d'évacuation
Robinets d'admission / de remise à l'air
V1.2
Robinet pour grosses fuites
Robinet
ext. pour option groupe
de pompage
flux partiet
13.1
Description du principe de détec-
tion (contre-flux)
Pour la détection selon le principe du contre-
flux, la pièce est raccordóe à la pompe à vide
primaire.
Ceci permet des pressions bien plus importan-
tes dans la piöce que celles nécessaires selon
le principe classique à flux principal. L'hélium
se diffuse dans le sens inverse de l'évacuation
de la pompe turbomoléculaire, dans le spectro-
métre de masse, tandis que les gaz lourds et
surtout les vapeurs d'eau sont retenus (com-
pression dépendante de la masse).
Un
piège
à azote
liquide
n'est
donc
plus
nécessaire.
1.3.1.1
Positions des robinets
Le tableau suivant indique les rapports entre le
mode de service et les positions des robinets.
Cf. fig. 2 également.
Mode | Typ. meas] Valve
Inlet
Nom
Gamme
| Position
Pression
range
pressure
mes.typiq. | robinet
admission
mbarts1
(mbar)
mbar-s
(mbar)
GROSS| ..105?
p<100
— GROSS
2031
|V1.2, V2,
p«100
Vexr ouvert
V1 fermé
FINE
1099
p<0,2
FINE
109%
|V1, V2,
p<0,2
Vgxr ouvert
V1.2 fermé
ULTRA | 2-10-10
V1, V2, open | p« 0,2
ULTRA |" 2-10-10
V1, V2, ouvert
p<0,2
V1.2 closed
V1.2 fermé
Vex closed
Vex fermé
* with extemal backing pump
D 25 B
"| avec pompe primaire externe D 25 8
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