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1.3.
Vorvakuumpumpe
Die Vorvakuumpumpe erzeugt aus dem in den
Leck-Detektor fließenden Helium-Strom einen
proportionalen Helium-Druck.
Dabei wird das
stabile Helium-Saugvermógen
dieser
Pumpe
ausgenutzt. Seine Größe bestimmt zusammen
mit der Kompression
der Turbo-Molekular-
pumpe die Empfindlichkeit der Anordnung.
Als Vorvakuumpumpe ist im UL 100 PLUS ei-
ne Drehschieber-Pumpe TRIVAC
D 1,6 B
eingebaut. Alle Daten und Angaben
können
der Gebrauchsanweisung GA 01.200 entnom-
men warden.
1.3.3 Turbo-Molekularpumpe
Die Turbo-Molekularpumpe
erzeugt aus dem
Helium-Druck
im Vorvakuum
.den
Helium-
Druck im Massenspektrometer, der dort dann
nachgewiesen
wird. Dabei
wird ihr stabiles
Kompressionsvermógen
für
Helium
ausge-
nutzt. Seine Größe bestimmt zusammen mit
dem Saugvermögen der Vorvakuumpumpe die
Empfindlichkeit der Anordnung.
Die Turbo-Molekularpumpe
ist eine TURBO-
VAC 50, Alle Daten und Angaben können der
GA 05.100 entnommen werden.
1.3.4 Massenspektrometer
Das Massenspektrometer besteht im wesent-
lichen aus der lonenquelle, dem magnetischen
. Trennsystem und dem lonenfänger.
Die lonenquelle ionisiert durch Elektronenstoß
neutrale Gasteilchen und erzeugt daraus einen
lonenstrahl.
Positiv
geladene
fonen
werden
durch das negative Potential der Extraktor-
blende (3/10) aus der lonenquelle abgesaugt
und gelangen so in das Magnetfeld (3/8). Dort
werden sie auf einer Kreisbahn mit definiertem
Radius abgelenkt,
Nur die Helium-lonen
(M
= 4) erfüllen die Trennbedingungen der An-
ordnung und erreichen den lonenfánger (3/5).
Durch die Ausblendung von Stórionen mit Hil-
fe der Zwischenblende
(3/9) wird eine hohe
Auftösung erreicht.
Beim MS-Spektrometer
handelt es sich um
ein magneti. Sektorfeld-MS-Spektrometer
mit
180?-Ablenkung. Durch die Inhomogenität des
Magnetfeldes senkrecht zum lonenstrahl wird
in dieser Richtung eine zusätzliche Bündelung
erreicht (Z-Fokussierung).
Diese
Bauart ge-
währleistet neben einer guten Auflösung eine
hohe Empfindlichkeit und Langzeitstabilität.
1.3.2
Backing Pump
The backing pump
produces a. proportional
helium pressure from the helium flow entering
the leak detector.The stable helium pumping
rate of the pump is exploited for this purpose.
its magnitude, together with the compression
of the turbo-molecular pump, determines the
sensitivity of the system.
A rotary-vane vacuum pump TRIVAC D 1,6
B is integrated in the UL 100 PLUS
as a
backing pump. All data on it are.contained in
the Operating instructions GA 01.200.
1.3.3 Turbo-Molecular Pump
The turbo-molecular pump produces from the
helium backing pressure the helium pressure
that is detected in the mass spectrometer. The
stable compression capacity of the pump
is
exploited for this purpose. Its magnitude, to-
gether with the pumping rate of the backing
pump, determines the sensitivity of the sys-
tem.
The turbo-molecular pump used is a TURBO-
VAC 50. All data on it are contained in the
Operating Instructions GA 05.100.
1.3.4 Mass Spectrometer
The
main
components
of the mass
spec-
trometer are an ion source, a magnetic sepa-
rating system and an ion collector.
The ion source ionizes neutral gas particles
through electron impact, thereby generating an
ion beam. Positively charged ions are driven
out of the ion source owing the positive cath-
ode (3/1) and thus reach the magnetic field
(3/8). There they are deflected into an orbit of
defined radius.: Only the helium ions (M = 4)
meet the separation conditions of the arrange-
ment and reach the ion collector (3/5). The
elimination of stray ions by means of the inter-
mediate screen (3/9) ensures high resolution.
The built-in mass spectrometer is of the mag-
netic sector field type with 180° deflection.
Owing to the inhomogeneity of the magnetic
field vertically in relation to the ion beam, addi-
tional concentration is achieved in this direc-
tion (Z-axis focussing). This design guarantees
not only good resolution but also high sensitiv-
ity and long-term stability.
Abb/Fig. 3
Erläuterungen zur Abb. 3
Katode 1
Anode
Katode 2
Verstärker
lonentanger
‚Abschirmung für
lonenfünger
Suppressor
Magnatfeld
Zwischenblende
0 Extraktorblende
1 Abschirmring
oanaon.-
2200
10
22004
1.3.2
Pompe à vide primaire
La pompe à vide primaire donne une pression .
d'hélium proportionnelle au flux d'hélium entrant
dans le détecteur de fuites. La stabilité du débit
d'hélium
de
cette
pompe
le
permet
La
sensibilité du dispositif est déterminée
par le
débit
de
la
pompe
primaire
et
par
la
compression de la pompe turbomoléculaire.
Une pompe à vide rotative à palettes TRIVAC
D 1,6 B sert de pompe à vide primaire pour le
détecteur UL 100 PLUS. Toutes les caractéris-
tiques et indications nécessaires sont données
dans le mode d'emploi GA 01.200.
1.3.8 Pompe turbomoléculaire
A partir de la pression hélium fournie par la
pompe
primaire,
la pompe
turbomoléculaire
établit,
dans
le spectromètre
de
masse,
la
pression hélium qui y sera détectóe. La stabi-
lité de la compression pour ce gaz de la pompe
moléculaire
le permet.
Sa valeur détermine,
avec le débit de la pompe à vide primaire, la
sensibilité du dispositif.
La pompe turbomoléculaire est une TURBO-
VAC 50. Le mode. d'emploi GA 05.100 con-
tient toutes les caractéristiques techniques et
informations nécessaires.
1.3.4 Spectromètre de masse
Cet appareil se compose principalement d'une
source
d'ions,
d'un
système
de séparation
magnétique et d'un collecteur d'ions.
La source d'ions ionise les particules de gaz
neutres par bombardement électronique en
créant un faisceau ionique. Les ions de charge
positive sont attirés parle potentiel négatif du
diaphragme d'extraction (3/10). tls sortent donc
de la source d'ions et arrivent daris le champs
magnétique (3/8) où ils sont déviés selon, une
trajectoire circulaire au rayon défini. Seuls les
ions hélium (M = 4) parviennent à passer le
système de séparation et atteignent le collec-
teur d'ions (3/5). Le diaphragme intermédiaire
(8/9) permet d'obtenir une haute précision er
éliminant les ions parasites.
L'appareil utilisé est un spectromètre magnó-
tique à champ secteur et déviation de 180*
L'inhomogénéité du champ magnétique perpen-
diculaire au faisceau ionique permet d'obtenir
dans cette direction, une focalisation supplé
mentaire (focalisation Z). Ce type de construc
tion garantit outre une bonne
résolution, unt
haute sensibilité et une stabilité à long terme.
Key to Fig. 3
Légende de la fig.3
1 Cathode t
1 Cathode 1
2 Anode
2 Anode
3 Cathode 2
3 Cathode 2
4
Ampliller
4 Amplificateur
5 Ion collector
5 Capteur d'ions
8 Shield
for ion
6 Ecran pour le capteur.
collector
d'ions
Supprassor
7 Olaphragma
Magnetic field
8 Champs magnétique
intermediate screen
9 ` Dlaphragme intermédiaire
0 Extractor screen
10 Diaphragme d'extraction
1 Shield ring
31 Ecran cylindrique
Abb. 3 Schematische Darstellung des Massenspektrometers
Fig. 3 Schematic representation of the mass spectrometer
Fig. 3 Schéma du spectromètre de masse
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