Inhaltsverzeichnis
Werbung
"ERO1" *
Es wurde ein höherer Vorvakuumdruck als 0,4
mbar festgestellt, z.B. verursacht durch einen
Lufteinbruch am Prüfüng. Zum
Schutz der
lonenquelle hat sich die Massenspektrometer-
Versorgung
selbsttätig
abgeschaltet
(siehe
unter "CONT").
"ERO2"
Es wurde ein Fadenbruch an der Thermovac-
Meñstelle
Eintaß
(pg)
festgestellt.
(Service
rufen).
"ERO3"
Es wurde ein Fadenbruch an der Thermovac-
Mefistelle Vorvakuum (py) festgestellt (Service
rufen).
"EROS" ^
Während des Hochlaufes ("ACCL") wird der
Vorvakuumdruck von py <
0,1 mbar inner-
halb 3 min nach Inbetriebnahme nicht erreicht.
Fehlerursachen können sein:
- das Pumpmodul fehlt
- der Vorvakuumbereich einschließlich Vaku-
umkupplung enthält ein grobes Leck
- die Vorvakuumpumpe
läuft nicht an oder
erreicht die Nenndrehzahl nicht
- die Ventilsteuerung arbeitet fehlerhaft
(siehe unter " CONT")
"ERO6" *
Die Drehzahl der TMP 50 liegt unterhalb
63 000 mint (siehe unter "CONT").
"ERO7" *
Der Offset des
Elektrometerverstärkers
ist
kleiner 15 mV. (siehe unter CONT).
"ER08" *
Der Offset des Elektrometerverstárkers
ist
größer 90 mV (siehe unter CONT).
Normalerweise betrágt der Offset ca. 50 mV
"EROS"
Die
lonenquelle
ist defekt
(Bruch
beider
Katoden) oder Fehler in der Massenspektro-
meter-Versorgung.
"ER10"
Die Fehlermeldung "ER 10^ erscheint, bei ei-
nem
Fehler im batteriegepufferten Speicher.
Die Grundeinstellung wird durchgeführt.
Diese Fehlermeldung wird nur in der Initialiste-
rungsphase
abwechselnd
durch
"ER
10 /
INIT" angezeigt.
"ER21"*
Während
des
Hochlaufes
(SNIF)
wird der
Einlaßdruck
(pe) innerhalb von 2 min nach
Inbetriebnahme nicht erreicht.
Fehlerursachen kónnen sein:
- VakuumanschluB
zwischen
und Schnüffler undicht.
- Schnüffelleitung undicht.
- Schnüffelspitze defekt.
(siehe unter " CONT")
Nach Auftreten eines im Status/Fehler-Display
angezeigten
Fehlers,
wechselt
die Anzeige
periodisch zwischen
der Fehlermeldung
und
letzter Statusanzeige. Dabei blinkt die Fehler-
Indikator LED (4/20).
* CONT
Erscheint nach Beseitigung des Fehlers im
Einlaßtlansch
54
"EPO"
A vacuum
pressure of more than 0.4 mbar
has been detected, for example caused by an
air inrush into the test object. For protection of
ihe ion source the mass spectrometer
supply
has
been
automatically
switched
off (see
"CONT").
"ERO2"
A filament breakage has been detected at the
Thermovac measurement point inlet | (Pe) {see
below, "CONT").
"ERO3"
A filament breakage has been detected at the
Thermovac
measurement
point forevacuum
(py) (Call service).
"EROS" *
During
run-up
("ACCL")
the
forevacuum
pressure of. py <
0.1 mbar has not been
reached within 3 min after being ready for
operation. Either of the following faults may be
the reason for this:
- the pump module is missing
- there ís a coarse leak within the forevacuum
area including the vacuum coupling
- the backing pump. is not running or has not
reached its nominal speed
- the valve control is faulty.
(see "CONT")
"ERO6" *
The speed of the TMP 50 turbopump is below
63,000 rpm (see "CONT").
"ERO?" *
The offset of the high impedance input amplifi-
er is below 15 mV (see "CONT").
"EROS" *
The offset of the high impedance amplifier is
higher than 90 mV (see "CONT").
Normally the offset is below 50 mV.
"EROS"
The
ion
source
is faulty
(both
cathodes
broken) or there is a fault in the mass spec-
trometer supply.
"ER10"
The error message "ER 10" is displayed in
the event of a fault in the battery backed-up
memory. Default settings will then be used.
This error message is only displayed alter-
natingly as "ER 10 / INIT" during the initiali-
zation phase.
"ER21"*
During run-up (SNIF) the inlet pressure (pg)
was not reached within 2 min. after switching
on.
This may be due to:
- A leaky vacuum
connection
between
inlet
flange and sniffer
- A leaky sniffer fine
- A faulty sniffer tip
(see "CONT")
After a fault has been indicated by the status
{error display the display changes alternatingly
between error message and the last indicated
status display. During this time the error indi-
cating LED (4/20) flashes.
* CONT
.
If after removal of the fault the status display
"ERO1" *
Détection d'une pression primaire supérieure à
0,4 mbar provoquée p.ex. par une entrée d'air
dans
l'objet
à
tester.
L'alimentation
du
spectromètre de masse a été coupée automa-
tiquement pour protéger la source d'ions (voir
"CONT").
"ERO2"
Signale une rupture de filament au point de
mesure
admission
(pg) de
Thermovac
(cf.
"CONT").
s
"EROS3"
Signale une rupture de filament au point de
mesure prévide de Thermovac (py) (Appeler le
SAV).
"EROS" *
La pression primaire p, « 0,1 mbar n'est pas
atteinte pendant les 3 min suivant la mise en
service
et pendant
la montée
en
régime
("ACCL")
Les
causes
peuvent
ótre
les
suivantes:
- le module pompe manque
- fuite grossière dans la zone prévide compre-
nant l'accouplement à vide
- la pompe primaire ne démarre pas ou n'at-
teint pas sa vitesse nominale
- la commande des robinets travaille mal.
{voir " CONT")
"EROS" *
La vitesse de TMP 50 est inférieure à
63.000 t min'! (voir " CONT").
"ERO?" *
L'offset de l'ampli électrométrique est inférieur
à 15 mV. (Cf. sous CONT).
"EROS" *
L'offset de l'ampli électrométrique est supérieur
à 90 mV (Cf. sous CONT).
Normalement l'offset est d'env. 50 mV.
"ERO9"
La source d'ions est défectueuse (rupture des
deux cathodes) ou défaut dans l'alimentation du
Spectrométre de masse.
"ER10"
.
Signale une erreur dans la mémoire tampon
alimentée par pile. Le réglage par défaut est
alors adopté.
Ce message d'erreur n'est indiqué que pendant
la phase d'initialisation, dans l'alternance "ER
10 / INIT".
*ER21" *
Pendant
la montée
en
régime
(SNIF),
la
pression
d'admission
(pe) n'est pas, atteinte
pendant les 2 min après la mise en circuit.
Causes probables:
- Fuite au raccord vide entre la bride d'admis-
Sion et le renifleur.
- Fuite de la conduite du renifleur.
- Buse du renifleur défectueuse.
{voir "CONT")
Après Findication d'un défaut dans l'affichage
d'étaÿd'erreur,
l'affichage
commute
périodi-
quement entre message d'erreur et la dernière
indication d'état La DEL d'indication d'erreur
(4/20) clignote en même temps.
* CONT
Apres la correction d'une erreur, si l'affichage
Werbung
Inhaltsverzeichnis
