Inhaltsverzeichnis
Werbung
Abb. 1 Baugruppenübersicht
Fig. ? Modules of the UL 100 PLUS
Fig. 1 Modules composant le détecteur UL 100 PLUS
Lecksuch-Modul mit:
- Bedien-Einheit (1/1)
- Turbo-Molekularpumpe TURBOVAC 50
(1/2)
- Massenspektrometer (1/3)
- Elektronik-Einheit (1/4)
+ Ventilblock (1/5)
Pump-Modul mit:
Vorvakuumpumpe (TRIVAC D 1,6 B)
1.2
Technische Daten
Hinwels
Die angegebenen technischen Daten beziehen
sich auf das Lecksuch-Modul in Verbindung
mit dem Pump-Modul.
Sicherheiteangaben
Das Gerät erfüllt Schutzklasse 1 nach VDE
0411 (IEC 348).
1.2.1
Physikalische Daten
Kleinste nachweisbare Leckrate
2407? mbar. kel
Zeitkonstante (blindgeflanscht)
«158
Größte anzeigbare Leckrate
ohne Teilstrom-Pumps.
10? mbar: I s"
mit Teilstrom-Pumpsatz
10 mbar! s"
Max. Eintaßdruck
0,2 mbar
Max. Einlaßdruck mit
Teilstrompumpsatz
100 mbar
Anzeigebereiche
Meßbereichsumfang ohne
Teilstrom-Pumpsatz:
8 Dekaden
Meßbereichsumfang mit
Teilstrom-Pumpsatz:
11 Dekaden
Leckraten-Anzeige
logarithmisch,
2 Dekaden
mit 15 Schritten ja Dekade
separate Exponenten-Anzeige
0,1 mbar bis 100 mbar
logarithmisch in 15 Schritten
Einlaßdruck
Leak detection module with:
- Remote control unit (1/1)
+ Turbo-molecular pump TURBOVAC 50
(1/2)
`
- Mass spectrometer (1/3)
- Electronics unit (1/4)
- Valve block (1/5)
Pump module with:
Backing pump (TRIVAC D 1,6 B)
1.2 Technical Data
Note
The technical data below relate to the leak
detection module used in conjunction with the
pump module.
Satety
The instrument
meets the specifications of
protection class 1 according
to VDE
0411
(IEC 348).
12.1 Physical Data
Minimum detectable leak rate
2107 mbar: Lei
Time constant {with blind fiange)
<158
Maximum indicatable leak rate
without partial-flow pump set
10? mbar: | st
with partial-flow pump set
10 mbar: Lei
Max. inlet pressure
0.2 mbar
Max. inlet pressure with
partial flow.pump set
100 mbar
Indicating ranges
Measuring range without
partial-flow pump set:
8 decades
with partial-flow pump set
11 decades
Leak rate indication
logarithmic,
S
2 decades
with 15 steps per decade
separate exponent display
Intake pressure
0.1 mbar to 100 mbar
indication
logarithmic in 15 steps
Erläuterungen zur Abb. 1
Bedien-Elnheit
Turbo-Molekularpumpe (TURBOVAC 50)
Massenspektrometer mit Vorverstärker
Elektronik-Elnhelt
Ventliblock
Vorvakuumpumpe (TRIVAC D 1,6 B) mit
Kopplungseinrichtung
Annona
Key to Fig. 1
1
Remote control unit
Turbo-molecular pump (TURBOVAC 50)
Mass spectrometer with preamplifier
Electronics unit
Valve block
Backing pump (TRIVAC D 1,6 B) with coupling
égende de la fig. 1
Unité de commande
Pompe turbomolécutaire (TURBOVAC 50)
Spectromätre de masse avec präampli
Unité électronique.
Bloc de robinets
Pompe à vide primaire (TRIVAC D 1,8 B) avec
accouplement
onaun="r
anawn
Module-détecteur avec:
- Unité de commande (1/1)
+ Pompe turbomoléculaire (TURBOVAC 50
(1/2)
- Spectrométre de masse (1/3)
- Unité électronique (1/4)
- Bloc de robinets (1/5)
Module-pompe avec:
Pompe à vide primaire (TRIVAC D 1,6 B)
1.2
Caractéristiques techniques
Remarque
Les caractéristiques
techniques
indiquóes st
rapportent
au
module-détecteur
associé . at
module-pompe.
Sécurité
L'appareil correspond à la classe de sécurité
selon VDE 0411 (IEC 348).
1.2.1 Caractéristiques physiques
Plus petit taux de fuite
décelable
Constante de temps (bride aveugle)
Plus grand taux de fuite affichable
Sans groupe de pompage de flux partiel
107 mbar- t s'
Avec groupe de pompage de flux partiel
10 mbar: ke
Pression d'admission max.
0,2 mbe
Pression d'admission max avec groups
de pompage de fiux partiel
100 mbe
240 mbar- Le
«15.
Plages d'affichage
Gamme de mesure sans groupe de
pompage de flux partiel:
8 décade
Gamme de mesure avec groupe de pompage
de flux partiel:
11 décade
Affichage taux de fuite
lagarithmique
2 décade
avec chacune 15 échelons par décac
et affichage d'exposant sépai
Pression d'admission
0,1 mbar à 100 mbi
logarithmique en 15 échelor
Werbung
Inhaltsverzeichnis
