ACHTUNG!
Inhalt
1
Beschreibung
.......
4
11
Allgemeine Angaben
.....
4
1.1.1
Bezeichnung
...-
5
1.1.2
Verwendungszweck
5
1.1.3
Kennzeichnungsstelle
5
1.1.4
Baugruppenübersicht
5
12
Technische Daten
.......
6
1241
Physikalische Daten
6
1.2.2
Elektrische Daten
.
vc
1.2.3
Sonstige Daten ...........
7
13
Technische Beschreibung
.
8
1.3.1
Beschreibung des Nachweis-
IMPORTANTI
Before consulting the Service Dept., please declare, for
the sake. of operational
safety and environmental
protection, any toxic or other hazardous products (e.g.
as defined in EEC directive L 360, 1976/1979 or VBG
18) existing in or around the apparatus
to be serviced.
Contents
1
14
11:1
13.2
14.3
114
12
6
1.2.1
6
1.2.2
7
1.2.3
7
1.3
Technical Description
....
8
1.3.1
Description of Leak Detection
Principle (Counterflow)
1.3.1.1
Valve positions
.......
1.3.2
Backing Pump
.......
13.3
Turbo-Molecular Pump
.
1.3.4
Mass Spectrometer ..
.
1.3.5
Jon Source
.............
1.8.6
lon Collector
and Amplifier
.
11
14
12
1.4.1
12
14.2
12
2
Le
stresse
14
poration
24
Setting Up the UL 100 PLUS 14
2.1.1
Layout
of Controls and Displays 14
2.1.2
Preparations for Initial
15
2.1.3
16
2.2
16
2.2.1
16
2.2.1.1
16
2.2.1.2
17°
2.2.1.3
Mains Outlet for Auxiliary
quipment
17
2.2.2
Pushbutton "START" and
"STOPAENT"
........,.
17
223
Parameter Pushbutton .....
18
2.2.4
Range Selector Pushbutton
"Automatic"/"Trigger logic"
.
19
2.2.5
Measuring. Range Selector
"Manual"
....:.........
18
2.2.6
Pushbutton "Auto Zero"
...
19
2.2.7
Multi-Function Pushbutton
"Acoustic Signal"
........
19
228
Multi-Function Pushbutton
"Trigger and Calibration"
..
20
2.2.8.1
Function "Trigger 1 and 2"
Normal ..
20
2.2.8.2
Function "Trigger 1 and 2"
Invers .................
21
2.2.8.8
Special function Trigger 1
and 2 (equipment status) ...
22
2.2.8.4
Function "Calibration"
.....
22
2.2.9
2.2.10
2.2.11
2.2.12
2.2.13
ENTIONI
Pour des raisons fiées à la sécurité et à l'environnement,
prière d'indiquer à chaque demande d'intervention du
service après-vente
les produits dangereux
(p. ex. au
terme des directives de la GE L 380, 1976/1979 ou VBG
16) se trouvant sur ou dans l'appareil.
Sommaire
1
..............
4
11
4
1.1.1
Désignation
5
1.1.2
.....
5
1.1.3
...
5
1.1.4
......
5
1.2
D
1.2.1
€
1.2.2
...
7
1.2.3
......
7
1.3
.....
€
1.3.1
.....
€
1.3.1.1
.......
€
1.3.2
.
1
1.3.3
....
1€
1.3.4
V
1.3.5
d:
1.3.6
1°
14
Equipement
.....:......
LH
14.1
1;
14.2
2
1
2.1
T
24.1
d'affichage
....:........ oot
2.1.2
`
mise
en service
..........
1
2.1.3
1
2.2
2.2.1
...
1
2.2.1.1
1
2.2.1.2
1
2.2.1.3
...
4
222
....,.,....
1
223
1
2.2.4
tique"/" trigger log." des
.......
T
2.2.5
des gammes de mesure
....
1
2.2.6
à
.....,.......,
1
227
2.28
"trigger et calibrage" .......
H
2.2.84
................
i
2.2.8.2
Fonction "triggers 1 et 2"
:
inverse 6. eee cere
eee ee í
2.2.8.8
Fonction spéciale triggers 1 et 2
i
2.2.84
.......
i
2.29
d'entrée "ENTER"
.......-
i
2.2.10
. Mémoire perm. des paramètres ` :
2.211
2.212
2.213