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2.6
Kalibrleren und Tunen
Der UL 100 PLUS ist zur quantitativen Leck-
ratenmessung geeignet. Dazu ist ein Kalibrier-
faktor erforderlich, der vom UL 100 PLUS
beim Kalibrieren automatisch errechnet und
gespeichert
wird. Die Kalibrierung
vom
UL
100 PLUS wird zudem durch die Verwendung
eines internen Testlecks (Einbautestleck TL 7)
wesentlich vereinfacht. Ist im UL 100 PLUS
kein Testleck eingebaut, muß die Kalibrierung
mit einem externen Testleck erfolgen.
Hinweis
- Die Kalibrierung sollte erst 15 min nach Be-
endigung des Hochlaufs erfolgen u. nach ca.
2 Stunden einmal wiederholt werden.
- Die durch die Kalibrierung ermittelten Kali-
brierfaktoren bleiben auch:nach dem Aus-
schalten des Gerátes erhalten.
Es werden vier Kalibrierfaktoren gespeichert:
+ Faktor- GROSS
+ Faktor-FINE
- Faktor-ULTRA
- Faktor-SNIFF
Beim Kalibrieren in ULTRA werden die Fakto-
ren GROSS
und FINE
aus dem
Faktor-
ULTRA berechnet. Diese Umrechnung ist nur
für einen Betrieb mit der Option "Teilstrom-
pumpsatz mit D 25 B" gültig. Beim Betrieb mit
beliebigen
Anlagen
oder
Teilstrompumpen
muß zusätzlich in den Bereichan GROSS und
FINE kalibriert werden.
Der
analoge
Signalausgang
(Abschnitt
2.2.13.6)
bzw.
die V.24-Schnittstelle
bieten
.zur Erstellung der Kalibrierleckrate eine besse-
re Auflösung als die Kombi-Anzeige der Be-
dieneinheit. Die Leckrate kann bei Benutzung
der V.24-Schnittstelle durch Drücken der Ta-
ste "START" an ein Terminal oder Drucker
ausgegeben werden.
Vor jedem Kalibriervorgang solite ein TUNE-
Vorgang durchgeführt werden.
2.6.1
Tunen
Der Tune-Vorgang
dient zum
Abgleich
des
Massenspektrometers auf maximale Empfind-
lichkeit. Dazu wird die Beschleunigungsspan-
nung der lonen im gewählten
Massebereich
variert, bis ein maximaler lanenstrom am lo-
nenfänger registriert wird.
Zum Tunen muß die Elektronikeinheit mit dem
Servicefeld ausgektappt werden und das Test-
leck geöffnet sein.
Das Massenspektrometer
kann jetzt mit Po-
tentiometer "M4" (26/12) auf max. Empfind-
lichkeit gebracht werden. Die Leckratenanzei-
ge wird dann maximal.
2.8.2
Kalibrieren mit eingebautem Test-
feck
UL 100 PLUS mit der Taste "STOP/VENT"
in den Zustand Standby oder Fluten bringen.
Mit
Multifunktionstaste
"Trigger
und
Kali-
brierung"
das Kalibrieren anwählen
und mit
der Taste "ENTER" quittieren.
Auf der Statusanzeige (26/1) im Servicefeld
erscheint "CAL". Das interne Testleck öffnet
hórbar.
46
2.6
Calibration and tuning
The UL 100 PLUS is suitable for quantitative
leak rate measurements. This requires a Cali-
bration factor, which is automatically calcula-
ted and stored by the UL 100 PLUS during
calibration. Calibration of the UL 100 PLUS is
greatly simplified by the use of an internal
calibrated leak. if the UL 100 PLUS is not e-
quipped with a calibrated leak, calibration must
be carried out with an external calibrated leak.
Note
- Calibration should
not take place until 15
min after run-up and should be repeated
once after approx. 2 hours.
- The factors determined during the calibration
process remain stored even after switching
off.
Four calibration factors are stored:
- factor - GROSS
- factor - FINE
- factor - ULTRA
- factor - SNIFF
During calibration in the ULTRA
range, the
factors
GROSS
and
FINE
are
computed
based on the ULTRA factor. This computation
applies only for operation with the option "par-
tial flow pump set with D 25 B". For operation
with any other type of system or other partial
flow pump
it is essential
to calibrate
the
ranges FINE and GROSS in addition.
The analogue signal output (Section 2.2.13.6)
or the V.24 interface offer a higher resolution
compared to the combined indicator on the
hand unit. When using the V.24 interface it is
possible to output the leak rate once to a ter-
minal
or
a
computer
by
pressing
the
"START" pushbutton.
The TUNE process should be run before each
calibration.
2.6.14 Tuning
The tuning process helps to align the mass
spectrometer so that its maximum sensitivity is
obtained. For this the accelerating voltage for
the ions in the mass spectrometer is varied in
the selected mass range, until a maximum ion
current is registered at the ion collector.
For tuning it is required to fold out the elec-
tronics unit with the service panel and to open
the calibrated leak.
Now the sensitivity of the mass spectrometer
may be set to maximum by operating potenti-
ometer "M4"
(26/12). The leak rate display
will also. show a maximum.
2.6.2
Calibration with the built-in call-
brated leak
Set up the UL 100 PLUS to standby or vent-
ing by pressing the "STOP/VENT" button.
Use the multifunction pushbutton "Trigger and
Calibrate" to select the calibrate mode and
acknowledge this by pressing the. "ENTER"
pushbutton.
The status display (26/1) on the service panel
will read "CAL". The internal calibrated leak
opens audibly.
2.6
Calibrage et syntonisation
Le détecteur UL 100 PLUS permet la mesure
quantitative des taux de fuite. Ceci nécessite un
facteur de cafibrage calculé automatiquement
et mémorisé par le détecteur lors du calibrage.
Cette opération est très simplifiée par l'emploi
d'une fuite calibréé
interne. Si aucune
fuite
calibrée n'est intégrée dans le détecteur UL
100 PLUS, ce calibrage doit alors étre exécuté
au moyen d'une fuite calibröe externe.
Remarque
- Ne
pratiquer le calibrage
que
15. minutes
aprés la fin de la montée
en régime.
Le
répéter aprés environ 2 heures.
- Les facteurs déterminés par le calibrage sont
conservés même après la mise hors circuit de
l'appareil.
Quatre facteurs de calibrage sont mémorisés:
- facteur GROSS
- facteur FINE
- facteur ULTRA
- facteur SNIFF
Pour
le calibrage
en
ULTRA,
les facteurs
GROSS et FINE sont calculós à partir du fac-
teur ULTRA.
Cette conversion n'est valable
que. pour un service avec l'option "groupe de
pompage à flux partiel avec D 25 B^. Avec
d'autres installations ou pompes à flux partiel il
faut
également
caliber
dans
les
gammes
GROSS et FINE.
Pour obtenir le taux de fuite calibré, la sortie de
Signal
analogique
(section
2.2.13.6)
ou
l'interface V.24 offrent une meilleure résolution
que l'affichage combiné de l'unité de comman-
de. Avec l'interface V.24, on peut sortir le taux
de fuite sur un terminal ou une imprimante en
actionnant la touche "START".
It est préférable d'effectuer une syntonisation
avant chaque calibrage.
2.6.1
Syntonisation
La syntonisation
sert à équilibrer le spectro-
métre de masse sur la sensibilité maximale. On
fait varier la tension d'accélération des ions
dans
la gamme
de
masse
choisie
jusqu'à
l'enregistrement d'un courant ionique maximal
sur le collecteur d'ions.
Pour la syntonisation il faut que l'unité électro-
nique avec le panneau de commande soit bas-
culée et que la fuite calibrée soit ouverte.
Le spectromètre
de masse
peut maintenant
être reglé par le potentiométre. "M4" (26/12)
sur sensibilité maximale. L'affichage du taux de
fuite sort également un maximum.
2.8.2
Calibrage avec fuite calibrée
incorporée
Mettre. UL 100 PLUS dans l'état Stand-By ou
remis
à
l'atmosphère
avec
la
touche
"STOPWENT".
Sélectionner
le calibrage
avec
la touche
multifonction "trigger et calibrage" et confirmer
avec la touche "ENTER".
"CAL" apparait sur l'indicateur d'état (26/1) du
panneau
de commande.
On entend distincte-
ment l'ouverture de ia fuite calibrée interne.
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