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1.3
Technische Beschrelbung
Der UL 100 PLUS dient zum Auffinden von
Lecks und ermöglicht es, die Leckrate quanti-
tativ zu bestimmen. Die kleinste nachweisb.
Helium-Leckrate beträgt 210719 mbar-s".
Der UL 100 PLUS besteht aus dem Leck-
such-Modul und dem Pump-Modul.
Der UL 100 PLUS wird betriebsbereit gelie-
tert. Dabei ist das Lecksuch-Modul auf das
Pump-Modul
abgestimmt und kalibriert.
Das
Lecksuch-Modul kann auch allein zur Auffin-
dung von Lecks an Vakuumanlagen eingesetzt
werden. Es muß sichergestellt sein, daß das
Lecksuch-Modul nur an einer Stelle der Anla-
ge angeschlossen wird, wo der Druck mit Si-
cherheit immer kleiner als 0,2 mbar ist.
Hinwels
Bei alleiniger Verwendung des Lecksuch-Mo-
duls mit einem externen Vorvakuum-Pumpsatz
‚muß
für die quantitative
Leckraten-Anzeige
das Saugvermógen dieses Pumpensatzes be-
rücksichtigt werden
(siehe Abschnitt
2.4.7).
Gegebenenfalls ist das Lecksuch-Modul neu
zu kalibrieren. Bei Verwendung des Teilstrom-
Pumpsatzes gilt die Kalibrierung über den ge--
samten erweiterten Meßbereich.
Nach dem Einschalten der Netzspannung be-
ginnt der UL 100 PLUS
mit dem
automa-
tischen Hochlauf. Dabei wird auf der Kombi-
Anzeige (4/3) der fortlaufend erfaBte Vorvaku-
umdruck py (4/22) und der einmal ermittelte
EinlaBdruck pe (4/23) angezeigt. Der UL 100
PLUS ist lecksuchbereit, wenn der Hochlauf
beendet ist. Dann schaltet die Kombi-Anzeige
(4/3) auf Leckraten-Anzeige um und zeigt die
Betriebsbereitschaft des Gerätes an.
Durch kurzes Betátigen der Taste "START"
(4/24) wird die Evakuierung eines am UL 100
PLUS
angeschlossenen
Prüflings begonnen,
gleichzeitig leuchtet die Status-LED (4/1) grün,
die Kombi-Anzeige schaltet wieder auf Druck-
anzeige.
Der fallende Einlaßdruck pe (Prüfling) wird auf
der Skala (4/23) der Kombi-Anzeige (4/3) an-
gezeigt. Ist der Einlaßdruck pg kleiner als 0,2
mbar, erfolgt automatisch ein Umschalten der
Kombi-Anzeige
(4/3)
von
Einlaßdruck
pe
(4/23) auf Leckraten-Anzeige.
Wird der Prüfling mit Helium besprüht, kann
Helium durch die Druckdifferenz durch ein
eventuell vorhandenes
Leck in den Prüfling
eindringen. Helium gelangt innerhalb der An-
sprechzeit in das Massenspektrometer.
Das
Massenspektrometer ionisiert die Gas-Molekü-
le, trennt sie nach ihrem Masse-zu-Ladungs-
verhältnis und fängt die Helium-lonen
(Mas-
senzahl 4) auf. Der Strom, proportional zur
Anzahl der Helium-lonen, die auf den lonen-
fánger (3/5) treffen, wird verstárkt und auf der
Kombi-Anzeige (4/3) als Leckrate sichtbar ge-
macht,
Zum
Belüften des Prüflings muß die Taste
"STOP" (4/2) lange gedrückt werden (minde-
stens 2 s). Die Status-LED (4/1) leuchtet rot.
Der Prüfling wird hörbar geflutet und kann
abgenommen werden.
1.3
Technical Description
The UL 100 PLUS is used for detecting leaks
and for quantitative determinations of leak
rates. The smallest detectable helium leak rate
is 210719 mbar st.
The UL 100 PLUS consists of the leak de-
tection module and the pump module.
The UL 100 PLUS is supplied ready for ope-
ration, with the leak detection module matched
to the pump module and calibrated. The leak
. detection module may be used individually for
detecting leaks in vacuum
systems.
In this
case, make sure that the leak detection modu-
le is connected to a point in the system where
the pressure will certainly always be less than
0.2 mbar.
Note
When using the leak detection module alone
with-an external backing pump set, the pump-
ing speed of this set must be taken into ac-
count for the quantitative leak rate indications
(see Section 2.4.7). If necessary, the leak de-
tection module must be recalibrated. If the
partial-flow pump
set is used, the UL 100
PLUS's calibration remains valid over the en-
tire extended pressure range.
After switching on the mains power, automatic
run-up of the UL 100 PLUS starts. The.con-
tinuously
monitored
backing
pressure
py
(4/22) and the once determined intake: pres-
Sure pe (4/23) are shown on the combined in-
dicator (4/3). The UL 100 PLUS is ready for
leak detection once the UL 100 PLUS has run
up. Then the combined indicator (4/3) switch-
es over to leak rate indication, showing that
the UL 100 PLUS is ready for operation.
By briefly depressing the ."START"
push-
button (4/24), evacuation of a test object con-
nected to the UL 100 PLUS is started. At the
same
time, the status LED
(4/1) lights up
green, and the combined
indicator changes
back to pressure indication.
The falling intake pressure pg (test object) is
shown on the scale (4/23) of the combined in-
dicator (4/3). Once
the intake pressure
pg
drops below 0.2 mbar, the combined indicator
(4/3) automatically changes over from intake
pressure De (4/23) to leak rate indication.
When the test object is sprayed with helium,
the helium will, owing to the pressure diffe-
rence, enter the test object through any leak.
The helium reaches the mass spectrometer
within the response time. The mass spectro-
meter ionizes the gas molecules,
separates
them according to their mass-to-charge ratio
and collects the helium ions (mass number 4).
The current, which is proportional to the num-
ber of helium ions arriving at the ion collector
(3/5), is amplified and shown on the combined
indicator (4/3) as the leak rate.
To vent the test object, the "STOP"
push-
button (4/2) must be depressed for at least 2
S. The status LED (4/1) then turns red and the
test object is audibly vented, whereupon it can
be disconnected.
.13
Description technique
Le détecteur UL 100 PLUS permet non seule-
ment la détection de fuites mais également la
détermination quantitative de leurs taux. Le plus
petit taux de fuite d'hélium décelable se monte
à 210-19 mbars:
Le détecteur UL 100 PLUS se compose de
deux modules, le module-détecteur et le mo-
dule-pompe.
{| est prêt à fonctionner à la livraison et le mo-
dule-détecteur est adapté au module-pompe et
calibré. Il est possible d'utiliser séparément le
module-détecteur pour détecter des fuites sur
des installations à vide. H faut alors s'assurer
que ce module soit raccordé à un endroit de
l'installation où la pression
reste absolument
inférieure à 0,2 mbar.
Remarque
'Lorsque le module-détecteur est employé seul
avec un groupe de pompage primaire externe,
il faut tenir compte
du débit-volume
de ce
groupe pour l'affichage quantitatif du taux de
fuite (voir section 2.4.7). Il est éventuellement
nécessaire de recalibrer le module-détecteur.
Si l'on utilise cependant le groupe de pompage
de flux partiel, le calibrage reste valable pour
toute la gamme étendue des pressions.
La première opération de UL 100 PLUS après
sa mise en circuit est la montée en régime
automatique. La pression du vide primaire py
(4/22) et la pression d'admission pg (4/23) sont
indiquées
sur
l'affichage
combiné
(4/3).
La
détection peut commencer quand la montée en
régime est terminée. L'affichage combiné (4/3)
commute alors sur affichage de taux de fuite et
montre ainsi la disponibilité de l'appareil.
L'évacuation
d'une
pièce
raccordée
au
détecteur UL 100 PLUS est amorcée en ap-
puyant
brièvement
sur la touche
"START"
(4/24).
L'affichage d'état vert (4/1) s'allume
simultanément, l'affichage combiné revient sur
affichage de pression.
La
pression
d'admission
décroissante
pg
(pi&ce) est indiquée sur l'échelle (4/23) de l'af-
fichage combiné (4/3). Lorsqué cette pression
d'admission
pe devient inférieure à 0,2 mbar
l'affichage
combiné
(4/3)
revient
auto-
matiquement sur affichage de taux de fuite.
La piöce est ensuite aspergóe avec de l'hélium
Si la pièce présente une fuite, l'hélium peut y
pénétrer grâce à la différence des pressions
Ce gaz arrive dans le spectromètre de masst
en l'espace du temps de réponse. Le spectro
métre de masse ionise les molécules du gaz
les sépare selon leur rapport masse/charge €
capte.les ions hélium (masse 4). Le couran
ionique proportionnel au nombre d'ions héliun
arrivant sur le collecteur d'ions (3/5) est am
plifié et représenté sur l'affichage combiné (4/3
en tant que taux de fuite.
La remise à l'air de la piece s'effectue par un
longue pression sur la touche
"STOP"
(4/2
(au moins
pendant
2 s). L'affichage
d'été
rouge (4/1) s'allume, la remise à l'air de I
pièce se manifeste de façon audible. La.piec
peut être ensuite retirée.
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