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2.3
Inbetriebnahme und Abpumpen eines Prüflings
Hinweis
Die Lfd. Nr. 1, 3 und 4 sind nur bei der ersten Inbetriebnahme durchzuführen.
Lfd.Nr.
Tätigkeit
1
Aufstellen des UL 100 PLUS
gemäß Abschnitt 2.1
2
UL 100 PLUS mit der erforderlichen
Netzspannung versorgen
3
Elektronikeinheit ausklappen (s. Abschnitt 2.7)
Grundeinstellung der Schalter im
Servicefeld (Abb. 25) prüfen
4
Ansaugstutzen mit Blindflansch schließen
Netzschalter "EIN/AUS" (8/7) auf "EIN"
6
Taste "START" (4/24) kurz drücken
7
Taste "STOP/VENT" (4/2) lange ( ? 2 s) drücken.
8
Ansaugstutzen öffnen.
98
Prüfling anschließen.
10
Taste "START" (4/24) kurz drücken.
11
Prüfling mit Helium besprühen.
12
Taste "STOP/VENT" länger als 2 s drücken.
13
Prüfling abkoppetn.
Ansaugstutzen mit Blindflansch schließen oder
neuen Prüfling anschließen.
Hinweis
Der MeBbetrieb kann durch kurzes Drücken der Taste
"STOP/VENT" unterbrochen werden.
Anzeige / Reaktion
Schlitzschalter (26/2) auf Stellung " NORMAL"
Bedienschalter (26/13) alle auf Stellung "Auto"
Umschalter für Masse (26/11) auf "M4"
Initialisierung des UL 100 PLUS; auf der Statusanzeige (26/1) erscheint "INIT"
Die Bedieneinheit wird initialisiert; die Status-LED (4/1) leuchtet grün.
Anlauf der Vorpumpe.
Elektronik wird mit Spannung versorgt.
im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) einmal durchlaufend
nachstehender Text.
UL 100 PLUS
VERSION-3.0
DATE
TIME-xx.xx.xx
Beginn automatischer. Hochlauf der Turbo-Molekularpumpe.
Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) alternierend die Anzeige
ACCL / VAC.
Anzeige Vorvakuum-und Einlafidruck.
Sobald Vorvakuumdruck py <0,1 mbar und die Nenndrehzahl der TMP-Pumpe
erreicht ist, erfolgt Bereitmeldung durch Aufleuchten der Exponenten und Null-
Indikatoren LED (4/21)
Die Status-LED (4/1) erlischt.
Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) die Bereitschaftsmeldung `
" STBY".
Hinweis
Erscheint im Serviceteld in der Statusanzeige (26/1) alternierend die Anzeige
ACCL / SNIF, war der UL 100 PLUS vor dem Ausschalten im Schnüffelbetrieb.
Der Einlaf wird evakuiert; Anzeige "EVAC"
Der Stand-By Betrieb wird übersprungen und auf der Anzeige erscheint "SNIF".
Die Status-LED (4/1) leuchtet grün.
Die Exponenten und Null-Indikator LED (4/21) verlóschen.
Anzeige fallender Einlaßdruck pg (4/23).
Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) "EVAC"
Sobald Einlaßdruck pe 0,2 mbar, Umschalten der
Kombi-Anzeige (4/3) auf Leckrate. Ein kurzes Signal ertönt.
Anzeige der Leckrate.
Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige (26/1) "MEAS".
Die Status-LED (4/1) leuchtet rot.
Leckratenanzeige erlischt.
Die Exponenten und die Null-Indikator LED (4/21) leuchten.
Flutventil öffnet hörbar.
Siehe Lfd. Nr. 6
Nach Ablauf der Ansprechzeit ggf. Anzeige der Leckrate.
Siehe Ltd. Nr. 7
Die Status-LED (4/1) erlischt.
Die Leckratenanzeige erlischt.
Die Exponenten und die Null-Indikator LED (4/21) leuchten.
33
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