INFICON Stripe CDG100Dhs Gebrauchsanleitung
Verwandte Anleitungen für INFICON Stripe CDG100Dhs
Inhaltszusammenfassung für INFICON Stripe CDG100Dhs
- Seite 1 Capacitance Diaphragm Gauge Stripe™ CDG100Dhs Gebrauchsanleitung inkl. EU-Konformitätserklärung tina95d1-a (2019-07)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. Model: Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe Stripe CDG100Dhs. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. - Seite 3 Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Vakuumanschlüsse. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal- ten. tina95d1-a (2019-07)
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Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der Serie Stripe CDG100Dhs sind Vakuum-Messröhren und erlau- ben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (→ 3). Die Messdaten werden idealerweise digital über die EtherCAT- Schnittstelle oder analog ausgelesen. Die Messröhren können auch mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit... -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Lieferumfang 1× Messröhre Stripe CDG100Dhs 1× Taststift 1× Schutzschale 1× Kalibrierzertifikat 1× Gebrauchsanleitung deutsch 1× Gebrauchsanleitung englisch Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marken Patente Lieferumfang Sicherheit Verwendete Symbole Personalqualifikation Grundlegende Sicherheitsvermerke Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau Vakuumanschluss Elektrischer Anschluss 3.2.1 Stecker D-Sub, 15-polig... - Seite 6 Betrieb Anzeigen Messröhre abgleichen Schaltfunktionen SP1, SP2, ATM, Status 4.3.1 Vakuumdruck-Schaltpunkte einstellen (SP1& SP2) 4.3.2 ATM-Schaltpunkt programmieren 4.3.3 Messröhren-Status programmieren Werkseinstellung laden (Factory Reset) Diagnostik-Port (USB-Schnittstelle) EtherCAT-Betrieb Ausbau Elektrischen Anschluss trennen Vakuumanschluss trennen Instandhaltung, Instandsetzung Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Literatur EU-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→...
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Seite 7: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 8: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 9: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Genauigkeit 0.1 … 0.5 F.S. 0.4% vom Messwert 1 … 1100 F.S. 0.2% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt 0.1 … 0.5 F.S. 0.005% F.S./ °C 1 … 1100 F.S. 0.0025% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich 0.02% vom Messwert / °C 0.003% F.S. - Seite 10 Identifikation Widerstand R 13.2 kΩ gegen Speisungserde Ident Spannung ≤5 V Remote Zero Adjust Digitaler Eingang für den Nullpunktabgleich mit exter- nem Schaltkontakt Externer Schaltkontakt 30 V (dc) / <5 mA (dc) Impuls >1 s … <5 s Schaltfunktionen Schaltpunkte SP1 & SP2, ATM, Status Schaltpunkte Einstellbereich SP1 &...
- Seite 11 Messröhre +14 … +30 V (dc) oder ±15 V (dc) Leistungsaufnahme während Aufheizphase ≤16 W in Betrieb ≤11 W Sicherung vorzuschalten 1.6 AT Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung und Überlast geschützt. INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderung. tina95d1-a (2019-07)
- Seite 12 Anschluss elektrisch D-Sub 15-polig, Stifte Messkabel 15-polig plus Abschirmung Kabellänge Versorgungsspannung 15 V ≤ 8 m (0.14 mm²/Leiter) ≤15 m (0.25 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 24 V ≤43 m (0.14 mm²/Leiter) ≤75 m (0.25 mm²/Leiter) Versorgungsspannung 30 V ≤88 m (0.14 mm²/Leiter) ≤135 m (0.25 mm²/Leiter) Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich ≤1.0 Ω).
- Seite 13 Abmessungen [mm] ø85 ø82 " ½ Rohr DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8VCR Innengewinde Gewicht 837 … 897 g tina95d1-a (2019-07)
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Seite 14: Beziehung Messsignal Analog - Druck
Beziehung Messsignal analog – Druck Druck p 1.1×F.S. 1.0×F.S. 0.9×F.S. 0.8×F.S. 0.7×F.S. 0.6×F.S. 0.5×F.S. 0.4×F.S. 0.3×F.S. 0.2×F.S. 0.1×F.S. 0.0×F.S. Messsignal U p = (U / 10 V) × p (F.S.) Umrechnung Torr ↔ Pascal Torr mbar 1013.25 / 760 = 101325 / 760 = 1.00 1.3332…... -
Seite 15: Einbau
Einbau WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR Heiße Oberfläche Das Berühren der heißen Oberfläche (>65 °C) kann zu Verbrennungen führen. Heiße Teile gegen unabsichtliches Berühren schüt- zen und Warnhinweis anbringen. Vakuumanschluss GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >1 bar... - Seite 16 GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtun- gen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr stand- halten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden. GEFAHR Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein.
- Seite 17 Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. vertikal stehend bis Einbaulage waagrecht Für einen manuellen Abgleich der Messröhre im eingebauten Zustand ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten.
- Seite 18 Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem an- schließen. Dichtung mit Zentrierring Schutzkappe Spannelement Schutzkappe aufbewahren. Schutzschalen anbringen. Schutzschale tina95d1-a (2019-07)
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Seite 19: Elektrischer Anschluss
Steckergehäuse mit der Erde verbinden. Das andere Schirmende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz). INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina95d1-a (2019-07) -
Seite 20: Stecker D-Sub, 15-Polig
3.2.1 Stecker D-Sub, 15-polig Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß fol- gendem Schema herstellen. Messkabel anschließen (Kabel- länge und -querschnitt → 12). Status Remote Zero Adjust Ident 10 Ω 14…30 V case Elektrischer Anschluss Pin 1, 4 Relais SP1, Schließer Pin 2 Signalausgang (Messsignal) -
Seite 21: Stecker Ethercat
3.2.2 Stecker EtherCAT EtherCAT ist eine Kommunikationsschnittstelle. Die Versorgung erfolgt über das Sensor Kabel. Falls keine EtherCAT Kabel vorhanden sind, Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. EtherCAT Kabel anschließen. FCC68, 8-polig, lötseitig Pin 1 Sendedaten + Pin 2 Sendedaten - Pin 3 Empfangsdaten + Empfangsdaten - Pin 6... -
Seite 22: Stecker Mini-Usb Typ B (Diagnostik-Port)
3.2.3 Stecker Mini-USB Typ B (Diagnostik-Port) Handelsübliches USB-Kabel verwendbar. Falls kein Kabel vor- handen ist, Kabel gemäß folgendem Schema herstellen. Kabel anschließen. Mini-USB Typ B, lötseitig Pin 1 VBUS (5 V) Pin 2 Pin 3 Pin 4 Pin 5 Mini-USB Typ B tina95d1-a (2019-07) -
Seite 23: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit einem INFICON-Messgerät den Messbereich eingeben [1], [2], [3]). → Beachten Sie eine Aufwärmzeit der Messröhre von mindestens 90 Minuten, bei Präzisionsmessungen mindestens 3 Stunden. Anzeigen Zustand Bedeutung <STATUS> Keine Versorgungsspannung leuchtet grün... -
Seite 24: Messröhre Abgleichen
Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abge- glichen (→ "Calibration Test Report"). Den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnahme einstellen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunkt- verschiebung führen und periodisch eine Nullpunkteinstellung erfordern. Nullpunkteinstellung bei den gleichen, konstanten Umgebungs- bedingungen und bei gleicher Einbaulage durchführen, bei denen die Messröhre normalerweise verwendet wird. - Seite 25 • die EtherCAT-Schnittstelle (→ [5], [6]), • den digitalen Eingang "Remote Zero": Am Pin 10 die Versorgungsspannung anlegen (Impuls → 10), • ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie). Während der Aufwärmphase und bei Atmosphärendruck ist der Nullpunktabgleich verriegelt, um Fehlbe- dienungen zu verhindern.
- Seite 26 Die Messröhre mind. 2 Stunden betreiben (bis Messwert stabil ist). Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken, oder … Taster kurz drücken max. ø1.1 mm … beim Remote Zero am Pin 10 die Versorgungsspannung anlegen (Impulse → 10). Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch.
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Seite 27: Adjust Mit Rampenfunktion
4.2.2 <ZERO> Adjust mit Rampenfunktion Mit der Rampe kann der Druckwert auf einen bekannten Refe- renzdruck eingestellt werden, welcher im Messbereich der Messröhre liegt. Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder •... - Seite 28 Taster gedrückt halten max. ø1.1 mm • Richtungswechsel (Inversrampe): Den Taster loslassen und innerhalb von 3 … 5 s erneut drücken und halten (die Blinkfrequenz der <STATUS> Anzeige ändert kurz). • Feineinstellung des Zero-Adjust Wertes: Den Taster loslassen und innerhalb von 3 s erneut kurz drücken. Der Wert ändert in Einzelschritten.
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Seite 29: Schaltfunktionen Sp1, Sp2, Atm, Status
Schaltfunktionen SP1, SP2, ATM, Status Die Messröhre verfügt über zwei voneinander unabhängige, ein- stellbare Schaltfunktionen, welche umprogrammiert werden kön- nen. Für jede Schaltfunktion steht ein Schaltkontakt zur Ver- fügung: • Vakuumdruck-Schaltpunkte SP1 & SP2 (ab Werk) • Atmosphärendruck-Schaltpunkt (ATM-Schaltpunkt) • Messröhren-Status Schaltverhalten und Hysterese der Schaltpunkte •... - Seite 30 Messsignal (Druck p) Rückstellwert Hysterese Schaltpunkt (1% F.S.) Schwellwert Zeit t High Trip Point Ist der Druck im Vakuumsystem höher als der eingestellte Schwellwert, leuchtet die jeweilige LED (<SP1> oder <SP2>) und der entsprechende Schaltkontakt ist geschlossen. Messsignal (Druck p) Schwellwert Hysterese Schaltpunkt...
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Seite 31: Vakuumdruck-Schaltpunkte Einstellen (Sp1& Sp2)
4.3.1 Vakuumdruck-Schaltpunkte einstellen (SP1& SP2) Die zwei Schaltpunkte sind auf einen beliebigen Druck im gan- zen Messbereich der Messröhre einstellbar. Der Schwellwert des jeweiligen Schaltpunktes SP1 & SP2 kann eingestellt werden über • den Taster an der Messröhre • den Diagnostik-Port (→ [4]) •... - Seite 32 Taster drücken max. ø1.1 mm Zum Verändern des Schwellwertes Taster <ZERO> drücken und halten. Der Schwellwert wird ab dem aktuellen Wert kontinuierlich (Rampe) geändert, bis Taster losgelas- sen wird oder die Einstellgrenze erreicht ist. Taster gedrückt halten max. ø1.1 mm •...
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Seite 33: Atm-Schaltpunkt Programmieren
Der Rückstellwert liegt ab Werk beim Low Trip Point um 1% F.S. höher, beim High Trip Point um 1% F.S. tiefer (Hysterese) als der eingestellte Schwellwert. Wird nach dem Umprogrammieren der Hysterese der Taster <SP> gedrückt, wird die entsprechende Hystere- se auf Werkseinstellung (1% F.S.) zurückgestellt. - Seite 34 Beispiel ATM-Schaltpunkt: High Trip Point-Schaltpunkt mit Schwellwert 110% des Atmosphärendrucks (= Faktor 1.1). Hysterese: 1%. Messsignal (Druck p) ATM-Schaltpunkt 110% (= Faktor 1.1) Schwellwert 1078 mbar Hysterese (1% F.S.) Rückstellwert Atmosphärendruck 980 mbar (Umgebung) Der aktuell programmierte ATM-Schwellwert • kann über den Diagnostik-Port gelesen und geschrieben werden (→...
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Seite 35: Messröhren-Status Programmieren
ATM-Schaltpunkt programmieren Programmierbare Parameter: Factor of ATM Low Trip Enable (→ [4], [5], [6]) Low Trip Point Hysteresis High Trip Enable High Trip Point Hysteresis Setpoint Mode 4.3.3 Messröhren-Status programmieren Die Vakuumdruck-Schaltpunkte SP1 & SP2 können über den Diagnostik-Port (→ [4]) oder über die EtherCAT-Schnittstelle (→... -
Seite 36: Diagnostik-Port (Usb-Schnittstelle)
Über den Diagnostik-Port <DIAG> können der Messwert und alle Statusinformationen parallel ausgelesen, sowie alle Einstellfunk- tionen vorgenommen werden (→ [4]). Handelsübliches USB- Kabel Typ A/Mini-B verwendbar. Erforderliche Software: T-Gauge. Nehmen Sie mit Ihrer nächst- gelegenen INFICON-Servicestelle Kontakt auf. Mini-USB Typ B tina95d1-a (2019-07) -
Seite 37: Ethercat-Betrieb
Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der über- geordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann von unserer Website heruntergeladen werden (www.inficon.com). Spezifische Gerätedresse ändern (ab Werk 00 Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am Gerät eingestellte Adresse. -
Seite 38: Ausbau
Status-LED LEDs auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung des Röhrenzustandes und des aktuellen EtherCAT-Status (→ [5], [6]). Ausbau Voraussetzungen: • Vakuumsystem belüftet • Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C Elektrischen Anschluss trennen Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen. Vakuumanschluss trennen GEFAHR Heiße Oberfläche... - Seite 39 WARNUNG Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten.
- Seite 40 Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen. Schutzschalen entfernen. Schutzschale Beidseitig öffnen Messröhre vom Vakuumsystem demontieren und Schutz- kappe aufsetzen. tina95d1-a (2019-07)
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Seite 41: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewähr- leistung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 25). INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z. -
Seite 42: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um- weltschäden verursachen. -
Seite 43: Literatur
Literatur Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Gebrauchsanleitung Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402, VGC403 tinb07d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Gebrauchsanleitung Ein-, Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC501, VGC502, VGC503 tina96d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein... - Seite 44 [10] ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Semiconductor Device profile – Part 2080: Specific Device Profile (SDP): Vacuum Pressure Gauge tina95d1-a (2019-07)
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Seite 45: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zu folgenden Richtlinien: • 2014/30/EU, Abl. L 96/79, 29.3.2014 (EMV-Richtlinie; Richtlinie über die elektromagnetische Verträglichkeit) • 2011/65/EU, Abl. L 174/88, 1.7.2011 (RoHS-Richtlinie; Richtlinie zur Beschränkung der Verwendung be- stimmter gefährlicher Stoffe in Elektro- und Elektronikgeräten) - Seite 46 Notes tina95d1-a (2019-07)
- Seite 47 Notes tina95d1-a (2019-07)
- Seite 48 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina95d1-a (2019-07) t i na95d1-a www.inficon.com...