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Betrieb Mit Standby-Drehzahl; Stop Der Pumpe; Parallele Überwachung; Betrieb Mit Serieller Steuerung Und Überwachung - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
4.4.2

Betrieb mit Standby-Drehzahl

Um die DX-Pumpe mit Standby-Drehzahl zu betreiben, müssen Sie den Standby-Steuereingang mit der 0 V-
Steuerreferenz am Anschluss der Logik-Schnittstelle verbinden. Wenn die Pumpe unter der Standby-Drehzahl ist,
beschleunigt sie, bis sie die Standby-Drehzahl erreicht. Wenn sie schneller als mit Standby-Drehzahl läuft,
verlangsamt sie, bis die Standby-Drehzahl erreicht ist.
Um die Pumpe wieder mit voller Drehzahl zu betreiben, trennen Sie den Standby-Steuereingang von der 0 V-Referenz
am Anschluss der Logik-Schnittstelle.
4.4.3

Stop der Pumpe

Schalten Sie die DX-Pumpe ab, indem Sie den Start/Stop-Steuereingang von der 0 V-Steuerreferenz am Anschluss der
Logik-Schnittstelle trennen. Der Pumpenrotor verlangsamt bis zum Stillstand.
4.4.4
Parallele Überwachung
Die folgenden Parameter können überwacht werden:
Analogausgang
Normal-Signal
Fail-Signal
Weitere Informationen zur Überwachung dieser Signale finden Sie in
4.5
Betrieb mit serieller Steuerung und Überwachung
4.5.1
Verzögerter Start
Wenn Sie ein vom Pumpen-Modul gesteuertes TAV-Magnetventil verwenden, kann es vorkommen, dass sie es
schließen möchten, bevor Sie die DX-Pumpe einschalten. Dadurch kann die Vorvakuumpumpe den Druck in Ihrem
Vakuumsystem verringern.
Um das Belüftungsventil zu schließen, senden Sie den folgenden Befehl:
Die Antwort, die Sie erhalten, entspricht dem folgenden Format:
Hinweis:
Dieser Befehl hat Vorrang vor der aktuellen Belüftungsoption und schließt das Belüftungsventil. Es gibt
keinen Befehl zum Öffnen des Belüftungsventils, wenn Sie jedoch einen Stop-Befehl an die Pumpe
senden, wird die Übersteuerung gelöscht.
4.5.2

Starten der Pumpe

Um die Pumpe zu starten, senden Sie den folgenden Befehl über die serielle Datenübertragungsverbindung:
Die Antwort, die Sie erhalten, entspricht dem folgenden Format:
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Befehl
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Antwort
*
Befehl
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Antwort
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Abschnitt
3.6.
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B722-40-882 Issue E
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Diese Anleitung auch für:

Ext75idxExt255dxExt255idx

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