Edwards EXT75DX Betriebsanleitung Seite 8

B722-40-882 Issue E
Tabellen
Tabelle
1 Leistungsgrenzen ......................................................................................................... 3
2 Allgemeine Daten ........................................................................................................ 9
3 Technische Daten - DX-Pumpen ...................................................................................... 10
4 Technische Daten - DX-Pumpen ...................................................................................... 11
5 Technische Daten - DX-Pumpen ...................................................................................... 12
6 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung .............................................. 16
7 Spülgas-Spezifikation ...................................................................................................17
8 Spezifikation des Kühlwassersystems ................................................................................ 17
9 Technische Daten der Logik-Schnittstelle .......................................................................... 18
10 Pin-Belegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle ...............................................................20
11 Technische Daten des Pumpen-Moduls .............................................................................. 20
12 Anzeige-LEDs ............................................................................................................ 21
13 Betriebs- und Lagerungsumgebung ................................................................................... 21
14 Lieferumfang - Checkliste .............................................................................................23
15 Zusammenfassung der Befehle, die an die DX-Pumpe gesendet werden können ............................. 34
16 Abkürzungen der Befehle ..............................................................................................36
17 Fehlercodes .............................................................................................................. 37
18 Belüftungsoptionen .....................................................................................................39
19 Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel (mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) 40
20 Einstellung der Leistungsgrenze ...................................................................................... 43
21 Optionen für Analogsignal .............................................................................................47
22 Verhalten einer Pumpe, wenn die Stromversorgung nach einem Ausfall wieder hergestellt wird ......... 56
23 Fehlersuche .............................................................................................................. 60
24 Blinksignal-Fehlercodes ................................................................................................63
25 Sedezimal-Umrechnungstabelle ...................................................................................... 64
26 Status-Flags .............................................................................................................. 65
27 Beispiel zur Entschlüsselung von Systemstatus-Wörtern ..........................................................65
28 Einlassflansch-Dichtungen .............................................................................................70
29 Belüftungsdrosseln ......................................................................................................71
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