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Edwards EXT75DX Betriebsanleitung Seite 21

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
Parameter
Maximaler kontinuierlicher Einlassdruck
(bei Vorvakuum-Enddruck)
Stickstoff:
Wasserkühlung (40 °C Umgebung)
Druckluftkühlung (35 °C Umgebungstemperatur)
Natürliche Konvektionskühlung (30 °C
Umgebungstemperatur)
Argon:
Wasserkühlung (40 °C Umgebung)
Druckluftkühlung (35 °C Umgebungstemperatur)
Natürliche Konvektionskühlung (30 °C
Umgebungstemperatur)
Empfohlene Vorvakuumpumpe
Einbaulage
Nenndrehzah
Anlaufzeit bis 90 % der Drehzahl
Schalldruckpegel (1 Meter Abstand)
*
Das Saugvermögen wird auf 90 % des ursprünglichen Wertes verringert.
Oberhalb dieses Drucks fällt die Drehzahl unter die Nenndrehzahl ab. Werte für maximalen kontinuierlichen
Einlassdruck mit einer Vorvakuumpumpe RV12. Die Kühlungsbedingungen werden in
beschrieben.
Kühlwassertemperatur bei 15 °C. Kühlwasser-Durchflussrate bei 30 l hr
**
Eine passende Membranpumpe mit einem Endvakuum unter 5 mbar kann eventuell ebenfalls eingesetzt
werden.
††
Einstellung der Leistungsgrenze 80 W (EXT75DX), 160 W (EXT255DX).
Überschreiten Sie nicht den maximalen kontinuierlichen Betriebsdruck. Dies kann zu gefährlichen
Rotortemperaturen führen und die Lebensdauer der Pumpe verkürzen.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 5 – Technische Daten – DX-Pumpen (Fortsetzung)
**
††
WARNUNG
EXT75DX
-2
2 x 10
mbar
-2
3 x 10
mbar
-3
8 x 10
mbar
-3
4 x 10
mbar
-3
4 x 10
mbar
-3
1 x 10
mbar
RV3
Vertikal und aufrecht bis
horizontal ± 2°
90.000 Umdrehungen
pro Minute
110 Sekunden
< 50 dB(A)
-1
.
B722-40-882 Issue E
EXT255DX
-2
1 x 10
mbar
-3
8 x 10
mbar
-3
2 x 10
mbar
-3
7 x 10
mbar
-3
5 x 10
mbar
-3
1 x 10
mbar
RV12
Vertikal und aufrecht bis
horizontal ± 2°
60.000 Umdrehungen
pro Minute
78 Sekunden
<50 dB(A)
Abschnitt 3.9
Seite 13
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Diese Anleitung auch für:

Ext75idxExt255dxExt255idx

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