Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung

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Beschreibung

EXT255Hi/ISO100

EXT255H/100CF

EXT255H/ISO100

EXT255HVi/ISO100

Betriebsanleitung

EXT-Compound-Molekularpumpen:

EXT255H, EXT255Hi und EXT255HVi

B753-03-882

Ausgabe F

Bestellnummer

B753-03-000

B753-02-000

B753-01-000

B753-07-000

Inhaltsverzeichnis

Fehlerbehebung

Inhaltszusammenfassung für Edwards EXT255H/ISO100

Seite 1 B753-03-882 Ausgabe F Betriebsanleitung EXT-Compound-Molekularpumpen: EXT255H, EXT255Hi und EXT255HVi Beschreibung Bestellnummer EXT255Hi/ISO100 B753-03-000 EXT255H/100CF B753-02-000 EXT255H/ISO100 B753-01-000 EXT255HVi/ISO100 B753-07-000...
Seite 2: Konformitätserklärung
EXT Compound Molekularpumpen: EXT255H/ISO100 B753-01-000 EXT255H/100CF B753-02-000 EXT255Hi/ISO100 B753-03-000/B753-04-000 EXT255H/ISO100 Stutzenausführung B753-06-000/B753-08-000 EXT255Hvi (lang) B753-07-000 auf das (die) sich diese Erklärung bezieht, mit der (den) folgenden Norm(en) oder sonstigen Regelwerken konform ist (sind): EN ISO12100-2: 2003 Sicherheit von Maschinen – Grundbegriffe, allgemeine Gestaltungsleitsätze.
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Ausheizen ........................ 27 Wartung ..................29 Einleitung ........................ 29 Lebensdauer der Lager ....................29 Lebensdauer des Rotors ....................29 Die Pumpe reinigen .....................30 Fehlersuche ......................30 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 4 Tabellen Tabelle Seite Technische Daten .......................10 Stückliste ......................... 15 Öffnungsdurchmesser des Belüftungsbegrenzers (bei Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) ............20 Fehlersuche ......................31 Seite ii © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 5 B753-03-882 Ausgabe F Weiterführende Publikationen Publikationstitel Publikationsnummer EXC-Turbomolekularpumpen: Controller EXC100E und EXC100L D396-20-882 E2M0.7 Drehschieberpumpe A371-31-882 RV-Drehschieberpumpen A652-01-882 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 7: Einleitung
Molekularpumpen EXT255H, EXT255Hi und EXT255HVi. Die Pumpen sind ausschließlich nach den Anweisungen in diesem Handbuch zu betreiben. Die Compound-Molekularpumpen der Reihe EXT sind für den Betrieb in Verbindung mit einem der Edwards EXC- Controller ausgelegt. Lesen Sie dieses Handbuch sowie die Anleitung, die Sie mit Ihrem EXC-Controller erhalten haben, bitte gründlich durch, bevor Sie versuchen, die Pumpe zu installieren oder in Betrieb zu nehmen.
Seite 8: Allgemeine Beschreibung
3. Pumpen mit CF-Flansch werden mit einem Wasserkühler geliefert. Alle EXT-Pumpen sind mit einem Temperaturfühler zur Überwachung der Temperatur von Motor und Pumpengehäuse ausgerüstet. Seite 2 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 9: Belüftung Und Belüftungssteuerung
3.4). Der EXC-Controller ist werkseitig so eingestellt, dass eine Belüftung erfolgt, wenn die Drehzahl der EXT-Pumpe nach Ausschalten der Pumpe 50 % der maximalen Drehzahl beträgt. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 10: Querschnittsansicht Der Pumpe Ext255H
2. Ansaugsieb 9. Ölreservoir 3. Magnetlager 10. Drag-Stufe 4. Sicherheitslager 11. Distanzring 5. Gehäuse 12. Stator 6. Welle 13. Rotor 7. Gleichstrommotor Seite 4 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 11: Querschnittsansicht Der Pumpe Ext255Hvi
9. Ölreservoir 3. Magnetlager 10. Drag-Stufe 4. Sicherheitslager 11. Distanzring 5. Gehäuse 12. Stator 6. Welle 13. Rotor 7. Gleichstrommotor 14. Zwischenstufen-Anschluss © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 13: Technische Daten
Pumpen nicht mit Gas gespült wurden. Ansonsten kann das Schmiermittel polymerisieren, und an den Pumpen können vorzeitig Störungen auftreten. Hinweis: Beachten Sie, dass die Gaskonzentrationen durch die von den Pumpen erzielten Komprimierungen verändert werden können. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 14: Pumpen Ohne Spülgas
25 sccm (0,42 mbar l s , 42 Pa l s Maximal zulässiger Spülgas-Zuleitungsdruck 2 bar (absolut); 29 psig, 3 x 10 Seite 8 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 15: Kühlwasser
15 l h Wassertemperatur Siehe Tabelle 1 Maximaler Wasserdruck 5 bar (absolut), 73,5 psig, 6 x 10 Material mit Kühlwasserberührung Vernickeltes Messing © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 16: Technische Daten
Enddruck 48 Stunden nach Ausheizen mit Pb <5 mbar (500 Pa). ‡‡ Ansaugdruck ist auf 1 x 10 mbar (1 x 10 Pa) gestiegen. Seite 10 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 17: Materialien Mit Gasberührung
Die folgenden Materialien und Bauteile kommen mit den gepumpten Gasen in Berührung: Aluminiumlegierungen, Edelstähle, Fluorelastomer- und Nitril-O-Ringe, Schmiermittel auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz und mit Kohlenstofffasern verstärktes Epoxidharz. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 18 Abbildung 4 — Abmessungen EXT255/EXT255Hi (mm) 1. Zwischenstufen-Anschluss 5. Vorvakuum-Anschluss (nur EXT255Hi) 6. Kühlwasser-Anschlüsse 2. Belüftungsventil 7. Platzbedarf für rechtwinkligen 3. Spülanschluss Kabelanschluss 4. Netzanschluss 8. Erdungsanschluss Seite 12 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 19: Abmessungen Ext255/Ext255Hi (Mm)
Abbildung 5 — Abmessungen EXT255HVi (mm) 1. Zwischenstufen-Anschluss 5. Vorvakuum-Anschluss 2. Belüftungsventil 6. Kühlwasser-Anschlüsse 3. Spülanschluss 7. Platzbedarf für rechtwinkligen 4. Netzanschluss Kabelanschluss © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 21: Installation
EXT255HVi ist in Abbildung 7 dargestellt. Wenn erforderlich, spülen Sie die EXT-Pumpe mit Inertgas, wie in Abschnitt 3.5 beschrieben. Das für diese EXT-Pumpen lieferbare Zubehör ist in Abschnitt 7 beschrieben und in Abbildung 9 dargestellt. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 22: Typisches Pumpsystem Mit Einer Ext255H
18. Belüftungsventil 5. EXT-Pumpe 13. EXC-Controller 19. Alternative Position für 6. Vorvakuumventil 14. Luftkühler Belüftungsventil 7. Vorvakuum-Messgerät 15. Belüftungsanschluss- 8. Faltenbälge Adapter Seite 16 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 23: Typisches Pumpsystem Mit Einer Ext255Hi/Ext255Hvi
6. Nicht belegt 15. Belüftungsanschluss- 20. Vakuumkammer 2 7. Vorvakuummessgerät Adapter 21. Einlassfilter 8. Faltenbälge 16. Drosselelement PRX10 22. Zwischenstufen-Anschluss 9. Adsorptionsfalle 23. Vorvakuumventil © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 24: Die Pumpe An Das Vakuumsystem Anschließen
Abbildung 8 sehen Sie, wie das Ansaugsieb wieder einzubauen ist. Beim Einbauen muss das Edwards-Logo oben liegen. Vergewissern Sie sich, dass die Auswölbungen im Rand des Siebs in die Rille des Pumpenflanschs kommen. Wenn erforderlich, biegen Sie die Nasen des Siebs vorsichtig nach außen, damit das Sieb möglichst gut sitzt.
Seite 25: Montage Des Pumpengrundrahmens
Schraubensatz, um den Hochvakuumflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden. Bei Pumpen mit ISO-Flansch verwenden Sie den Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring, den Sie mit der Pumpe erhalten haben, und befestigen die Pumpe mit mindestens vier Klammerschrauben an dem Vakuumsystem.
Seite 26: Zwischenstufen-Anschluss (Nur Ext255Hi/Ext255Hvi)
B753–03–882 Ausgabe F Wir empfehlen den Einsatz einer Edwards RV-Vorvakuumpumpe. Auch diese Vorvakuumpumpe kann über den EXC- Controller (EXC120 oder EXC300) gesteuert werden. In Tabelle 1 sehen Sie, für welche Leistung die Vorvakuumpumpe mindestens ausgelegt sein muss. Möglicherweise benötigen Sie eine stärkere Vorvakuumpumpe, wenn Sie die Pumpe mit hohen Einlass-Druckbelastungen oder hohen Durchsätzen betreiben, oder wenn Sie die Pumpe mit einem...
Seite 27: Spülgasanschluss
System bis zu einem vollautomatischen System mit Fernsteuerung). Beachten Sie zur Elektroinstallation bitte die Hinweise im Handbuch, das Sie mit dem EXC-Controller erhalten haben. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 28: Kühlung
Handbuch beschrieben, das Sie mit der Betriebsanleitung des Luftkühlers erhalten haben. Wenn Sie einen anderen Lüfter für die Luftkühlung einsetzen möchten, vergewissern Sie sich, dass die Durchflussgeschwindigkeit über 70 m (40 cfm) beträgt. Seite 22 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 29: Wasserkühlung
Sie die beiden M4-Inbusschrauben heraus und nehmen den Wasserkühler von der Pumpe ab. Vergewissern Sie sich vor dem erneuten Montieren der Pumpe, dass der Wasserkühler ausreichend mit Wärmeleitpaste geschmiert wurde. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 31: Betrieb
Urlaubszeit das Vakuum in einem System aufrechterhalten möchten). Sie erhöhen den Systemdruck bzw. Sie weiten den maximalen Ansaugdruckbereich der Pumpe aus, wenn dies in einem bestimmten Prozess erforderlich ist. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 32: Die Pumpe Ausschalten
Controller die Start-/Stopp-Taste, um den Controller zurückzusetzen und schalten die EXT-Pumpe wieder ein. Ist die Pumpe heißgelaufen, lassen Sie die Pumpe vor dem Wiedereinschalten lange genug abkühlen. Seite 26 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 33: Ausheizen
Durch die Ausheizung der EXT-Pumpe (und entsprechend des gesamten Vakuumsystems) beschleunigt sich der Entgasungsprozess, und die Pumpe erreicht das Endvakuum in äußerst kurzer Zeit. Außerdem verhindert das Ausheizen Dampfkondensationen in der Pumpe. Zum Ausheizen der Pumpe können Sie die Edwards BX-Ausheizmanschette verwenden (siehe Abschnitt 7). Legen Sie die Manschette unmittelbar unter dem Hochvakuumflansch um die Pumpe.
Seite 35: Wartung
20.000 Stunden. Je nach Einsatzbedingungen der Pumpe kann die Lebensdauer sich jedoch verringern. Wenn die Lager ersetzt werden müssen, empfehlen wir den Austausch der Pumpen und eine Überholung der Pumpen im Werk. Sie können Ihre Pumpen auch an ein Edwards Kundendienstzentrum schicken, um dort die Lager erneuern zu lassen.
Seite 36: Die Pumpe Reinigen
Wenn die EXT-Pumpe von innen verunreinigt ist, kann das vorgegebene Endvakuum nicht erreicht werden bzw. kann sich die Abpumpzeit verlängern. In diesem Fall sollten Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum zurückschicken, um sie zerlegen und reinigen zu lassen. Verfahren Sie dabei bitte gemäß der Beschreibung am Ende dieser Anleitung.
Seite 37: Fehlersuche
Sind die Systemverriegelungen richtig Sicherstellen, dass sich die Notabschaltung aus – angeschlossen? Verriegelungen nach dem Anlaufen der unabhängig von der Drehzahl. Pumpe nicht öffnen. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 38 Wenn nein, könnten die Lager der EXT- ungehindert drehen? Pumpe beschädigt sein. Setzen Sie sich mit Ihrem Lieferanten oder direkt mit Edwards in Verbindung. Seite 32 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 39 Lieferanten oder direkt mit Edwards in Verbindung. Keines der beschriebenen Setzen Sie sich mit Ihrem Lieferanten Symptome wurde festgestellt. oder direkt mit Edwards in Verbindung. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 41: Lagerung Und Entsorgung
Die Pumpe darf nicht verbrannt werden. (Die Pumpen enthalten Materialien auf Phenol- und auf Fluorsilikonbasis, die sich bei Erwärmung in sehr gefährliche Bestandteile zersetzen können.) © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 43: Kundendienst, Ersatzteile Und Zubehör
China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Israel, Italien, Japan, Korea, Singapur und den USA sowie über ein weltweites Händlernetz. Edwards-Zentren beschäftigen speziell geschulte Kundendiensttechniker. Bestellen Sie die benötigten Teile oder das gewünschte Zubehör bei der nächsten Edwards-Niederlassung oder beim nächsten Edwards-Händler. Geben Sie bei Ihren Bestellungen bitte jeweils die folgenden Daten an:...
Seite 44: Zwischenstufen-Anschlussdichtung (Nur Ext255Hvi)
Sie, wie das Zubehör an den EXT-Pumpen montiert bzw. in die Pumpen eingebaut wird. 7.4.2 EXC-Controller Die Edwards EXC-Controller dienen zur Steuerung von Pumpsystemen mit einer EXT255H, einer EXT255Hi oder einer EXT255HVi. Die EXC-Controller sind unter folgenden Bestellnummern lieferbar: Controller...
Seite 45: Verbindungskabel Pumpe/Controller
Die Adsorptionsfalle minimiert die Rückströmung von Öldämpfen aus der Vorvakuumpumpe und wird für die Anwendungen empfohlen, die besonders saubere Systeme erfordern. Adsorptionsfalle Bestellnummer FL20K A133-05-000 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 39 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 46: Einbau Des Optionalen Zubehörs (Und Der Ersatzteile) (Ext255Hi Abgebildet)
(mitgeliefert) 16. Anordnung der 5. Belüftungsanschluss 10. Wasserkühler Ausheizmanschette 6. VRX-Belüftungsbegrenzer (gegenüberliegend) 17. Ansaugsieb (mitgeliefert) 11. Belüftungsanschluss-Adapter Nur EXT255Hi ✝ Nur EXT255Hi/EXT255HVi Seite 40 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Seite 47: Tav-Belüftungsventil Und Belüftungsventil-Adapter
Welcher VRX-Belüftungsbegrenzer jeweils für Ihr System zu verwenden ist, entnehmen Sie bitte den Hinweisen in Abschnitt 3.4. Belüftungsbegrenzer Öffnungsdurchmesser (mm) Bestellnummer VRX10 B580-66-021 VRX20 B580-66-022 VRX30 B580-66-023 VRX50 B580-66-024 VRX70 B580-66-025 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 41 Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.

Diese Anleitung auch für:

Ext255h/100cf Ext255hi/iso100 Ext255hvi

Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung

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Lagerung und Entsorgung

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