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Wcx-Wasserkühler; Bx-Heizmanschette; Tav-Belüftungsventil Und Belüftungsanschluss-Adapter; Vrx-Belüftungsdrossel - Edwards EXT75DX Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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7.4.3
WCX-Wasserkühler
An die DX-Pumpe kann ein Wasserkühler montiert werden. Hinweise zur Eignung der Kühlwasserversorgung finden Sie
in
Abschnitt
2.5.
Wasserkühler
WCX500-Wasserkühler
7.4.4

BX-Heizmanschette

Eine BX-Heizmanschette beschleunigt die Entgasung der Pumpe und ermöglicht, niedrigere Drücke zu erzielen. Sie
kann auch zum Schutz der Pumpe vor Kondensation und Verunreinigungen eingesetzt werden. Heizmanschetten sind
in Ausführungen mit 110 – 120 V oder 220 – 240 V erhältlich.
Hinweis:
Die Heizmanschette ist nur für den Einsatz in den CF-Varianten bestimmt.
Heizmanschette
BX70 (110 V, 30 W)
BX70 (240 V, 30 W)
BX250 (110 V, 30 W)
BX250 (240 V, 30 W)
7.4.5
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Zum Belüften des Systems stehen zwei Belüftungs-Magnetventile zur Verfügung. Die Ventile sind für 24 V Gleichstrom
ausgelegt, normalerweise geöffnet und können vom Pumpen-Modul gesteuert werden. Das Magnetventil wird an
Stelle des manuell betätigten Ventils eingebaut oder kann alternativ mit einem Adapter (im Lieferumfang des Ventils)
montiert und mit einem geeigneten Anschluss mit DN10KF-Flansch an Ihrem Vakuumsystem eingesetzt werden.
Das TAV5 ist für kleinere Vakuumsysteme geeignet. Das TAV6 hat einen höheren Leitwert und ist für größere
Vakuumsysteme (normalerweise mit Volumina über 10 Liter) geeignet.
Produkt
TAV5 vent-valve
TAV6 vent-valve
7.4.6
VRX-Belüftungsdrossel
Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung, um den Durchsatz von Belüftungsgas in die Pumpe zu
begrenzen. Sie können eine VRX-Belüftungsdrossel in die Einlassöffnung eines TAV5- oder TAV6-Belüftungsventil oder
an ein PRX10-Spülgas-Drosselventil montieren. Hinweise zur Auswahl der richtigen VRX-Belüftungsdrossel finden Sie
in
Tabelle
19. In
Tabelle 29
Belüftungsdrossel
VRX10
VRX20
VRX30
VRX50
VRX70
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Bestellnummer
B580-52-040
B580-52-060
B580-52-041
B580-52-061
Öffnungsdurchmesser
0,5 mm
1,0 mm
finden Sie die Bestellnummern der lieferbaren Belüftungsdrosseln.
Tabelle 29 – Belüftungsdrosseln
Bohrungsdurchmesser (mm)
Bestellnummer
B736-00-121
Zur Verwendung mit
EXT75DX
EXT75DX
EXT255DX
EXT255DX
Bestellnummer
B580-66-010
B580-66-020
0,1
0,2
0,3
0,5
0,7
B722-40-882 Issue E
Bestellnummer
B580-66-021
B580-66-022
B580-66-023
B580-66-024
B580-66-025
Seite 71

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