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Parameter
Saugvermögen am HV-Anschluss
N
2
He
H
2
Kompressionsverhältnis am HV-Anschluss
N
2
He
H
2
Saugvermögen am Zwischenstufen-
Anschluss, für DX-Pumpen mit
Zwischenstufe mit N
(DN16KF-Anschluss)
2
Durchsatz von 70 sccm durch den
Zwischenstufen-Anschluss
Durchsatz von 5 sccm durch den
Zwischenstufen-Anschluss
Saugvermögen am Zwischenstufen-
Anschluss, für
N
2
He
Endvakuum:
mit Drehschieberpumpe als
*
Vorvakuumpumpe:
mit Membranpumpe als Vorvakuumpumpe:
*
Endvakuum 48 Stunden nach dem Ausheizen mit 2-stufiger Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe.
†
Endvakuum 48 Stunden nach dem Ausheizen mit P
Parameter
Gewicht
Einlassflansch
Vorvakuumflansch (Auslassflansch)
Belüftungsanschluss
Spülanschluss
Zwischenstufen-Anschluss (optional)
Saugvermögen am HV-Anschluss
N
2
He
H
2
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 3 – Technische Daten – DX-Pumpen (Fortsetzung)
EXT75DX
ISO63
61 l s
57 l s
53 l s
>1 x 10
1 x 10
5 x 10
10 l s
3 l s
-
-
-9
<5 x 10
†
<5 x 10
b
Tabelle 4 – Technische Daten – DX-Pumpen
EXT255DX ISO100
6,25 kg
DN100ISO-K
DN25KF
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
–
-1 *
220 l s
-1 *
230 l s
-1 *
180 l s
EXT75DX
DN63CF
-1
-1
61 l s
-1
-1
57 l s
-1
-1
53 l s
11
11
>1 x 10
6
6
1 x 10
4
4
5 x 10
-1
-
-1
-
-
-
-10
mbar
<5 x 10
mbar
-8
-9
mbar
<5 x 10
mbar
< 5 mbar (500 Pa).
EXT255iDX ISO100
6,5 kg
DN100ISO-K
DN25KF
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
DN25KF
-1 *
220 l s
-1 *
230 l s
-1 *
180 l s
B722-40-882 Issue E
EXT75DX
EXT75DX
DN40KF
ISO100
-1
42 l s
66 l s
-1
49 l s
59 l s
-1
48 l s
54 l s
11
>1 x 10
>1 x 10
6
1 x 10
1 x 10
4
5 x 10
5 x 10
-
-
-
-
-
-
-
-
-9
-9
<5 x 10
mbar
<5 x 10
-8
-8
<5 x 10
mbar
<5 x 10
EXT255DX
DN100CF
8,5 kg
DN100CF
DN25KF
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
–
-1 *
220 l s
-1 *
230 l s
-1 *
180 l s
-1
-1
-1
11
6
4
mbar
mbar
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