Anschluss Eines Anderen Ventils An Das Vakuumsystem; Kühlung; Einführung; Bohrungsdurchmesser Der Belüftungsdrossel (Mit Atmosphärendruck Am Einlass Des Belüftungsventils) - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
Nr. der Option
4
5
6.7
Wenn Sie Ihre Pumpe erhalten, ist die Belüftungsoption werkseitig auf „0" eingestellt (Details siehe
Sie können Ihr Pumpen-Modul auf eine der anderen Belüftungsoptionen einstellen, sofern Sie die Befehle über die
serielle Schnittstelle senden können oder Zugriff auf einen Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder Turbo
Controller haben.
Das Pumpen-Modul erregt („schließt") das TAV-Magnetventil nur, wenn es einen Start-Befehl empfängt.
Vorausgesetzt, dass sich das Ventil im „offenen" Belüftungsstatus befindet. Wenn Sie ein großes Vakuumsystem
haben, kann es sein, dass Sie möchten, dass die Vorvakuumpumpe den Druck im System auf einen annehmbaren Wert
senkt, bevor die DX-Pumpe anläuft. In diesem Fall können Sie einen Befehl über die serielle Schnittstelle senden, um
das Belüftungsventil zu schließen, bevor Sie einen Start-Befehl senden – dies ist als verzögerter Anlauf bekannt.
Wenn Sie Ihre DX-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller steuern,
können Sie Ihr TAV-Magnetventil vom TIC aus steuern. Weitere Informationen hierzu sind den Betriebsanleitungen
der TICs zu entnehmen.
3.8.4

Anschluss eines anderen Ventils an das Vakuumsystem

Wenn Sie ein anderes Belüftungsventil verwenden, achten Sie darauf, dass Ihr Vakuumsystem mit einer geeigneten
Belüftungsdrossel ausgerüstet ist, um die Druckanstiegsgeschwindigkeit zu begrenzen. Informationen über die Größen
der Belüftungsdrossel finden Sie in
Belüftungsventil erst öffnen, nachdem die Drehzahl der Pumpe auf 50 % der vollen Drehzahl gesunken ist.
Volumen des Vakuumsystems (Liter)
3.9 Kühlung
3.9.1 Einführung
Sie müssen für eine geeignete Kühlung der Pumpe sorgen, um Schäden am Rotor und Lager zu verhindern.
Natürliche Konvektionskühlung: Für einige leichte Pumpanwendungen mit einer Umgebungstemperatur unter
30 °C kann auch die natürliche Konvektion zur Kühlung der DX-Pumpe ausreichen.
Druckluftkühlung: Bei Verwendung von Druckluftkühlung muss die Umgebungstemperatur 5 °C bis 35 °C
betragen. Hierbei müssen Sie für eine angemessene Kühlungsluftzufuhr zur Pumpe sorgen.
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Tabelle 18 – Belüftungsoptionen (Fortsetzung)
Beschreibung der Belüftungsfunktion
Belüftungsventil öffnet vollständig unmittelbar bei Fail;
Belüftungsventil öffnet vollständig unter 50 % der vollen Drehzahl bei Stop.
Belüftungsventil öffnet vollständig unmittelbar bei Fail;
Geregelte Belüftung von 100 % bis 50 % der vollen Drehzahl, wenn Stop-Befehl
empfangen wurde, danach öffnet das Belüftungsventil vollständig unter 50 %.
Belüftungsventil öffnet unmittelbar vollständig sowohl bei Stop als auch bei Fail.
Tabelle 19. Wenn Sie keine geeignete Belüftungsdrossel montieren, dürfen Sie das
Tabelle 19 – Bohrungsdurchmesser der Belüftungsdrossel
(mit Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils)
<20
<10
<5
<2
VORSICHT
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Bohrungsdurchmesser (mm)
≤1,0
≤0,7
≤0,5
≤0,35
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Tabelle 18).