Edwards EXT556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen

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Betriebsanleitung (42 Seiten)

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Beschreibung

EXT556H / DN160ISO-K

EXT556H / DN160CF

EXT556H / DN160ISO-K (feines Ansaugsieb)

EXT556HF / DN160ISO-K

EXT556HF / DN160CF

Betriebsanleitung

EXT Compound-Turbomolekularpumpen:

EXT556H und EXT556HF

B777-50-882

Issue C

Bestellnummer

B777-51-000

B777-52-000

B777-61-000

B777-57-000

B777-58-000

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Inhaltszusammenfassung für Edwards EXT556H

Seite 1 B777-50-882 Issue C Betriebsanleitung EXT Compound-Turbomolekularpumpen: EXT556H und EXT556HF Beschreibung Bestellnummer EXT556H / DN160ISO-K B777-51-000 EXT556H / DN160CF B777-52-000 EXT556H / DN160ISO-K (feines Ansaugsieb) B777-61-000 EXT556HF / DN160ISO-K B777-57-000 EXT556HF / DN160CF B777-58-000...
Seite 2: Konformitätserklärung
B777-52-000 • EXT556HF DN160CF B777-58-000 • EXT556H DN160ISO-K (feines Ansaugsieb) B777-61-000 auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): EN1012-2:1996, A1: 2009 Kompressoren und Vakuumpumpen. Sicherheitsanforderungen. Vakuumpumpen EN61010-1: 2001* Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Lebensdauer des Rotors ....................23 Reinigen der Pumpe ....................24 Fehlersuche ......................24 Lagerung und Entsorgung ..............29 Lagerung ......................... 29 Entsorgung ....................... 29 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Zeichnung des Ansaugsiebs – zum Entfernen des Ansaugsiebs lösen Sie die Schrauben „A“. Entfernen Sie nicht die Schrauben „B“ ................14 Maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften ............16 Abmessungen und Merkmale von Pumpen der Baureihe EXT556H ..........18 Installation des Sonderzubehörs und der Ersatzteile der EXT556H ..........33 Seite ii ©...
Seite 5 ACX-Luftkühler ......................34 WCX-Wasserkühler ......................35 Schwingungsdämpfer ....................35 PRX-Spülgas-Drosselventil .....................35 VRX-Belüftungsdrossel ....................35 Weiterführende Publikationen Publikationstitel Publikationsnummer EXC120/120E/300/300M Turbomolekularpumpen-Controller D396-14-880 EXC250E/250L Turbomolekularpumpen-Controller D396-36-880 EXDC Turbomolekularpumpen-Antriebsmodule D396-40-880 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einleitung
Turbomolekularpumpen der Baureihe EXT556H. Lesen Sie sich alle Anweisungen in diesem Handbuch sorgfältig durch, und beachten Sie sie. Die Pumpe EXT556H ist für den Einsatz in Verbindung mit einem EXC- oder EXDC-Controller von Edwards ausgelegt. Lesen Sie sich dieses Handbuch und die zusammen mit Ihrem Controller gelieferte Betriebsanleitung durch, bevor Sie versuchen, das Gerät aufzustellen oder in Betrieb zu nehmen.
Seite 9: Technische Daten
Quecksilber mit der Pumpe in Kontakt kommen. Wenn Sie dies nicht beachten, kann der Rotor korrodieren und ausfallen. VORSICHT Verwenden Sie die Pumpe EXT556H nicht zum Pumpen von Gasen, die mehr als 20 % Sauerstoff enthalten, sofern nicht eine Lagerspülung gemäß den Angaben in Abschnitt 2 durchgeführt wird.
Seite 10: Pumpen Ohne Gasspülung
Wenn die Spülung mit einem Inertgas erfolgt, können mit den Pumpen auch Sauerstoffkonzentrationen über 20 % (auf das Volumen bezogen) gepumpt werden. Seite 4 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 11: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
Wassertemperatur Siehe Tabelle 5 Maximaler Wasserdruck 5 bar (Überdruck), 73,5 psig, 6 x 10 Kühlwasser ausgesetzte Materialien Kupfer, Messing und vernickelte Flächen © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12: Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
Druckluftkühlung, 30° C 1,5 x 10 mbar Umgebungstemp. Druckluftkühlung, 35° C 1,0 x 10 mbar Umgebungstemp. Wasserkühlung mit 15 °C 2,0 x 10 mbar Seite 6 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13 Abbildung Nenndrehzahl 50000 rpm Anlaufzeit bis 90 % der Nenndrehzahl: EXC250 < 8 Minuten EXC300 < 8 Minuten EXDC160 < 8 Minuten © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 14 Gase mit einer Atommasse < 28 amu bezeichnet, als „leichte Gase“ bezeichnet man Gase mit einer Atommasse ≥ 28 amu. †† Wenn Luftkühlung erforderlich ist, empfiehlt Edwards den Luftkühler ACX555. Seite 8 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Seite 15: Einbaulage Der Pumpe Ext556H
B777-50-882 Issue C Abbildung 1 – Einbaulage der Pumpe EXT556H 1. Einlass 2. Vorvakuumanschluss © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Einbau
Einbau Auspacken und Kontrollieren WARNUNG Die Variante EXT556H DN160CF der Pumpe wiegt 21 kg. Gehen Sie sorgfältig mit der Pumpe um, und achten Sie stets auf eine korrekte Handhabung. VORSICHT Beschädigen Sie nicht die Oberfläche des Überzugs der HF-Variante, da dies zu Korrosion und Leistungsverlust führen könnte.
Seite 18: Typisches Pumpsystem
9. Adsorptionsfalle 15. PRX10- Sperrgas- 4. Ansaugsieb (werkseitig 10. Drehschieber- Drosselventil montiert) Vorvakuumpumpe 16. Geregelte Spülgaszufuhr 17. Belüftungsventil 5. EXT-Pumpe 11. Ölnebelfilter Seite 12 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Ansaugsieb (Werkseitig Montiert)
Bolzensatz an das Vakuumsystem an. Als Alternative können Sie mindestens 8 Flanschklemmen verwenden. Wenn Sie eine Pumpe des Typs EXT556H DN160CF verwenden, bringen Sie sie mit einem vollständigen Satz von 20 M8- Bolzen an Ihr Vakuumsystem an. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Seite 20: Zeichnung Des Ansaugsiebs - Zum Entfernen Des Ansaugsiebs Lösen Sie Die Schrauben „A
Abbildung 3 – Zeichnung des Ansaugsiebs – zum Entfernen des Ansaugsiebs lösen Sie die Schrauben „A“. Entfernen Sie nicht die Schrauben „B“ Seite 14 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21: Vorvakuumanschluss
Um Ihr Vakuumsystem rein zu halten, empfehlen wir Ihnen, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst oder das Vakuumsystem zu belüften, wenn sich das Saugvermögen der Pumpe EXT556H zwischen der vollen Drehzahl und 50 % der vollen Drehzahl bewegt. Bei und über 50 % der vollen Drehzahl dreht sich der Rotor schnell genug, um alle Öle auf Kohlenwasserstoffbasis aus Ihrer Vorvakuumpumpe fern zu halten.
Seite 22: Maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften
Wenn Sie das mit der Pumpe gelieferte manuelle Belüftungsventil verwenden, dürfen Sie das Ventil erst öffnen, wenn die Drehzahl der Pumpe EXT556H auf 50 % der vollen Drehzahl zurückgegangen ist. Wenn Sie ein TAV-Belüftungsventil oder ein anderes Magnetventil als Belüftungsventil verwenden, sollten Sie das Belüftungsventil nur dann zur Belüftung der Pumpe ab voller Drehzahl verwenden, wenn das Vakuumsystem ein...
Seite 23: Spülgasanschluss
Führen Sie die elektrischen Anschlüsse zur Pumpe immer erst aus, nachdem die Pumpe im Vakuumsystem installiert wurde. Der EXC-Controller versorgt die Pumpe EXT556H über das Kabel zwischen Pumpe und Controller mit Strom. Verbinden und verriegeln Sie die Anschlüsse mit Bajonettverschluss an den Enden des Kabels mit den dazugehörigen Anschlüssen an der Pumpe und am EXC-Controller (sofern zutreffend).
Seite 24: Abmessungen Und Merkmale Von Pumpen Der Baureihe Ext556H
B777-50-882 Issue C Abbildung 5 – Abmessungen und Merkmale von Pumpen der Baureihe EXT556H 1. Belüftungsventil 4. Spülgas-Stopfen 2. Netzanschlusstülle 5. Erdungsanschluss 3. Vorvakuumanschluss (DN25KF) Seite 18 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 25: Kühlung
Sie für eine angemessene Kühlungsluftzufuhr zur Pumpe sorgen. 3.7.2 Druckluftkühlung Für die Pumpe EXT556H ist als Zubehör ein Luftkühler lieferbar (siehe Abschnitt 7). Montieren Sie den Luftkühler so, wie es in der mit ihm gelieferten Anleitung beschrieben ist. Wenn Sie eine andere Luftkühlung verwenden wollen, achten Sie darauf, dass der Durchsatz höher als 280 m...
Seite 26: Magnetfelder
Auf die Variante EXT556HF wirken starke Anziehungskräfte, wenn sie sich in oder in der Nähe von Magnetfeldern befindet. Achten Sie darauf, dass die Pumpe sicher an der Anlage befestigt ist, bevor Sie sie einem Magnetfeld aussetzen. Seite 20 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 27: Betrieb
2. Drücken Sie die Start/Stop-Taste auf dem EXC-Controller, um die EXT556H abzuschalten. 3. Wenn die Drehzahl der EXT556H auf 50 % der vollen Drehzahl gefallen ist, drehen Sie das Belüftungsventil gegen den Uhrzeigersinn, um es zu öffnen. Achten Sie darauf, dass der Druck nicht schneller ansteigt als zulässig, sonst kann die Pumpe beschädigt werden.
Seite 28: Sicherheitsverriegelungen Und Steuersystem
Ausheizen (nur mit ConFlat-Flansch) VORSICHT Wenn Sie die Pumpe EXT556H ausheizen, müssen Sie die Pumpe mit Wasserkühlung betreiben, um eine Schädigung der Lagerschmierung zu vermeiden. Sie müssen auch dafür sorgen, dass die Temperatur am Hochvakuumflansch 100 °C nicht übersteigt, um Schäden am Lager zu vermeiden.
Seite 29: Wartung
Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie Ihre Pumpe an ein Edwards- Kundendienstzentrum einschicken, um die Lager ersetzen zu lassen. Wenn Sie Pumpen der Baureihe EXT556H an Edwards- Kundendienstzentren zurückschicken, gehen Sie bitte so vor, wie am Ende dieser Anleitung beschrieben.
Seite 30: Reinigen Der Pumpe
Lösungsmitteln kann Komponenten im Innern der Pumpe beschädigen. Arbeiten Sie bei der HF-Variante auf keinen Fall mit scheuernden Materialien. Wenn die Pumpe EXT556H im Innern verunreinigt ist, kann das spezifizierte Endvakuum möglicherweise nicht erreicht werden, oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Die Pumpe sollte an ein Edwards-Kundendienstzentrum zurückgeschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird.
Seite 31 Sind die Systemverriegelungen Stellen Sie sicher, dass die (Fehler) an – bei jeder Drehzahl. korrekt verbunden? Systemverriegelungen nicht öffnen, nachdem die EXT-Pumpe angelaufen ist. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 32: Exc-Controller
Edwards oder Ihren Lieferanten. Der EXC Controller zeigt „Fail“ Wenden Sie sich an Edwards oder (Fehler) an – alle Drehzahl-LEDs Ihren Lieferanten. leuchten. Seite 26 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 33 Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Keines der obigen Symptome. – Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 35: Lagerung Und Entsorgung
Sie sich, dass alle Pumpenein- und -auslässe offen sind, bevor Sie die Pumpe entsorgen. Entsorgen Sie die Turbomolekularpumpe EXT556H und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind.
Seite 37: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Anlagen und Geräte, für die ein Kundendienst, eine Reparatur oder eine Instandsetzung durchgeführt wurde, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Kundendienst oder Reparatur Ihrer Anlage bereitstellen. Bitte sorgen Sie dafür, dass alle Zubehörteile (z.B.
Seite 38: Hv-Flansch-Dichtungen
Zubehör an der EXT-Pumpe montiert wird. 7.4.2 EXC-Controller Die Edwards EXC-Controller stellen die Funktionen bereit, die für den Betrieb eines Pumpsystems basierend auf einer EXT556H-Pumpe benötigt werden. Die Bestellnummern für die EXC-Controller werden in Tabelle 11 angegeben.
Seite 39: Installation Des Sonderzubehörs Und Der Ersatzteile Der Ext556H
B777-50-882 Issue C Abbildung 6 – Installation des Sonderzubehörs und der Ersatzteile der EXT556H 11. WCX-Kühlwasserzubehör 1. Schwingungsdämpfer 7. DN10KF-Adapter 12. Spülanschluss 2. Heizmanschette 8. Manuelles Belüftungsventil 3. HV-Flansch-Dichtung (montiert) 13. Verschluss-Stopfen am (im Lieferumfang) 9. VRX-Belüftungsdrossel Spülanschluss (montiert) 4. Ansaugsieb (montiert) 10.
Seite 40: Bx-Heizmanschette (Nur Mir Conflat-Flansch)
Eignung der Luftkühlung für eine bestimmte Anwendung zu überprüfen. Tabelle 17 – ACX-Luftkühler Pumpe Luftkühler Bestellnummer EXT556H/HF ACX555 B580-53-561 Seite 34 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 41: Wcx-Wasserkühler
Weitere Informationen zur Auswahl der korrekten VRX-Belüftungsdrossel finden Sie in Abschnitt 3.4. Tabelle 21 – VRX-Belüftungsdrossel Belüftungsdrossel Bohrungsdurchmesser (mm) Bestellnummer VRX10 B580-66-021 VRX20 B580-66-022 VRX30 B580-66-023 VRX50 B580-66-024 VRX70 B580-66-025 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

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Ext556hf

Edwards EXT556H Betriebsanleitung

Einleitung

Technische Daten

Einbau

Betrieb

Wartung

Lagerung und Entsorgung

Service, Ersatzteile und Zubehör

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