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Multidrop-Modus; Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss Und -Steuerung; Manuelles Belüftungsventil - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
B722-40-882 Issue E
3.7.7

Multidrop-Modus

Wenn Sie im Multidrop-Modus (auch als Mehrpunkt-Modus bezeichnet) arbeiten, können Sie mit Hilfe eines einzigen
Computersystems mit mehr als einer DX-Pumpe kommunizieren. Jede DX-Pumpe muss ihre eigene individuelle
Adresse zugewiesen worden sein, bevor sie in ein Multidrop-System eingebaut werden kann. Der Befehl, um die
Multidrop-Adresse zuzuweisen, wird im Standard-DX-Meldungsformat gesendet (siehe
Das Meldungsprotokoll im Multidrop-Modus weicht geringfügig von dem ab, das für serielle Meldungen in einzelnen
Pumpsystemen beschrieben wurde. Die wesentlichen Unterschiede im Multidrop-Meldungsprotokoll sind nachstehend
detailliert aufgeführt:
Alle Multidrop-Befehle, -Abfragen oder -Antworten haben als erstes Zeichen ein „#".
Alle Befehle, Abfragen und Antworten haben einen Kopfdatensatz, der die Adresse des Knotens enthält, an
den die Meldung geht, gefolgt von der Adresse des Knotens, von dem die Meldung kommt.
Es gibt ein Begrenzungszeichen: (Doppelpunkt), durch das die zwei Multidrop-Adressen im Kopfdatensatz
getrennt sind.
Die übrige Meldung (Befehl, Abfrage oder Antwort) folgt demselben Protokoll, das bereits für Systeme mit
einer Pumpe beschrieben wurde.
Die Platzhalteradresse 99 ist sehr nützlich und bedeutet „beliebiger" Knoten.
Nachdem eine DX-Pumpe einer Multidrop-Adresse zugewiesen wurde, werden alle Meldungen im Format für einzelne
Pumpen ignoriert. Eine einzelne DX-Pumpe verhält sich still und ignoriert alle Befehlsmeldungen so lange, bis die
Multidrop-Adresse mit ihrer eigenen Adresse übereinstimmt.
3.8
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung
Wenn die Pumpe belüftet wird, während sie mit voller Drehzahl läuft, und wenn der Druck zu schnell ansteigt,
könnte dies zu Schäden an der Pumpe führen und ihre Lebensdauer verkürzen. Wir empfehlen daher, entweder
die Geschwindigkeit des Druckanstiegs zu begrenzen (siehe
öffnen, nachdem die Drehzahl der DX-Pumpe auf 50 % ihrer vollen Drehzahl gesunken ist.
Um Ihr Vakuumsystem rein zu halten, empfehlen wir Ihnen, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst (oder
das Vakuumsystem) zu belüften, wenn sich die Saugleistung der DX-Pumpe zwischen der vollen Drehzahl und 50 % der
vollen Drehzahl bewegt. In diesem Drehzahlbereich dreht sich der Rotor schnell genug, um jede Rückströmung von
Öl auf Kohlenwasserstoffbasis aus Ihrer Vorvakuumpumpe zu unterdrücken.
Schließen Sie das Belüftungsventil nicht an die Vorvakuumleitung an, da dies zu Verunreinigungen führen könnte.
Schließen Sie den Einlass des Belüftungsventils an die Belüftungsgasversorgung an (Informationen zur Belüftungsgas-
Spezifikation finden Sie in
Die Belüftung kann durch eine der folgenden in den Abschnitten
durchgeführt werden.
3.8.1
Manuelles Belüftungsventil
Ein manuelles Belüftungsventil gehört zum Lieferumfang der DX-Pumpe. Es ist nicht möglich, die Geschwindigkeit des
Druckanstiegs mit dem manuellen Belüftungsventil exakt zu regeln; achten Sie deshalb darauf, das Ventil nicht zu
schnell zu öffnen. Wir empfehlen Ihnen, das manuelle Belüftungsventil erst zu öffnen, nachdem die Pumpendrehzahl
auf 50 % der vollen Drehzahl gesunken ist.
Seite 38
VORSICHT
Abschnitt
2.3).
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt
Abbildung
3) oder das Belüftungsventil erst zu
3.8.1
bis
3.8.4
beschriebenen Methoden
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
4.1.10.)
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Diese Anleitung auch für:

Ext75idxExt255dxExt255idx

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