Belüftungsflansch-Adapter; Prx-Spülgas-Drosselventil; Schwingungsdämpfer; Fl20K Adsorptionsfalle - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
7.4.7 Belüftungsflansch-Adapter
Der Belüftungsflansch-Adapter hat ein 1/8 Zoll BSP-Rohrgewinde, das sowohl in den Belüftungs- als auch den
Spülanschluss eingeschraubt werden kann und diese so für DN10KF-Bauteile geeignet macht.
Belüftungsflansch-Adapter
Belüftungsflansch-Adapter DN10KF – 1/8 Zoll BSP-Rohrgewinde
7.4.8 PRX-Spülgas-Drosselventil
Das PRX10 ist ein modifizierter DN10KF-Zentrierring, der das Spülgas filtert und seinen Durchsatz auf den
empfohlenen Wert von 25 sccm begrenzt. Um ein Spülgas-Drosselventil an die Pumpe anzuschließen, müssen Sie
einen Belüftungsflansch-Adapter am Spülanschluss montieren.
Spülgas-Drosselventil
PRX10
7.4.9 Schwingungsdämpfer
In Anwendungen, bei denen die geringen, von der Compound-Turbomolekularpumpe erzeugten Schwingungen ein
Problem sind, kann ein Schwingungsisolator montiert werden. Der Isolator besteht aus zwei Spezialflanschen, die
durch einen Wellschlauch getrennt sind und außen eine schwingungsdämpfende Gummimanschette haben. Welcher
Isolator benötigt wird, hängt von der Größe des Pumpeneinlassflanschs ab.
Hinweis: Der Schwingungsdämpfer kann ausschließlich mit vertikal montierten Pumpen verwendet werden.
Flanschgröße
DN63ISO-K
DN63CF
DN100ISO-K
DN100CF
7.4.10

FL20K Adsorptionsfalle

Die Adsorptionsfalle minimiert das Rückströmen von Öldämpfen aus der Vorvakuumpumpe und wird empfohlen, wenn
höchste Systemreinheit erforderlich ist.
Adsorptionsfalle
FL20K
7.4.11

Anschluss-Stecker des Pumpen-Moduls

Ein Anschluss-Stecker des Pumpen-Moduls kann in die DX-Pumpe zur Steuerung eines TAV-Belüftungsventils oder
eines ACX-Luftkühlers montiert werden.
Produkt
Anschluss-Stecker des Pumpen-Moduls
7.4.12

TIC Turbo und Instrument Controller

Drei verschiedene Controller-Typen sind erhältlich: Der erste ist ein Instrument Controller (IC), der nur zum Steuern
von Messuhren verwendet wird und für den Betrieb einer EXT-Turbopumpe oder einer Vorvakuumpumpe nicht
geeignet ist. Der zweite ist ein Turbo Controller (TC), der nur zum Steuern einer 24-V-EXT-Turbopumpe und einer
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Flanschgröße
DN10KF
Bestellnummer
B581-15-000
B581-01-000
B581-20-000
B581-05-000
Bestellnummer
A133-05-000
Bestellnummer
B722-40-808
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Bestellnummer
B580-66-011
Bestellnummer
B580-65-001
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