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B722-40-882 Issue E
Symptom
Der Endvakuumdruck kann nicht
erreicht werden.
(Fortsetzung)
Die Pumpe ist sehr laut, oder es gibt
zu starke Schwingungen oder beides.
Alle sonstigen Probleme
5.5.1
Blinksignal-Fehlercodes
Wenn eine Fehlerbedingung („Fail") aktiviert wird, wird das Standard-Blinksignal der Status-LED von einmal Blinken
pro Umdrehung durch die Blinksignal-Fehlercodes ersetzt, die alle aktiven Fehlerbedingungen wiedergeben. Die
Positionen des Blinksignal-Codes für den „Fail"-Status innerhalb der Fehler-Blinksignalsequenz der Status-LED werden
in
Tabelle 24
angegeben.
Zwischen zwei aufeinander folgenden Wiederholungen eines Zyklus gibt es eine ausreichende Ruhezeit, um den
Beginn einer neuen Blinksequenz klar zu kennzeichnen. Die Dauer eines langen Blinksignals („L") entspricht der
dreifachen Dauer eines kurzen Blinksignals („s").
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Tabelle 23 – Fehlersuche (Fortsetzung)
Überprüfung
Überprüfen Sie die übrigen Bereiche
Ihres Systems auf Lecks und
Verunreinigungen.
Entfernen Sie die Pumpe aus
dem System, und testen Sie den
Endvakuumdruck für die Pumpe
allein (siehe
Abschnitt
2).
Stimmt die Drehzahl der Pumpe mit
der Resonanzfrequenz des Systems
überein, mit dem sie verbunden ist?
Wird die Schwingung von der
Drehschieber-Vorvakuumpumpe
übertragen?
Ist das Geräusch unregelmäßig und
wird immer schlimmer?
Erzeugt die Pumpe ein konstantes
hohes Geräusch?
-
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Maßnahme
Wenn Sie die Fehler gefunden haben,
reparieren Sie die Lecks und
entfernen die Verunreinigungen.
Wenn der Einlassdruck
unbefriedigend ist, überprüfen Sie
die Pumpe auf Verunreinigungen,
und sehen Sie in
Testen Sie die Pumpe auf Lecks.
Wenn die Leckrate >1x10
-5
-1
(1x10
Pa l s
an Ihren Lieferanten oder an
Edwards.
Wenn dies der Fall ist, ändern Sie die
Eigenfrequenz Ihres Systems, oder
isolieren Sie die Pumpe mit Hilfe von
Elementen.
Wenn dies der Fall ist, montieren Sie
Elemente oder einen
Schwingungsisolator in der
Vorvakuumleitung.
Wenn dies der Fall ist, ist ein Lager
defekt. Wenden Sie sich an Ihren
Lieferanten oder an Edwards.
Wenn dies der Fall ist, ist der Motor
nicht korrekt ausgewuchtet. Wenden
Sie sich an Ihren Lieferanten oder
an Edwards.
Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten
oder an Edwards.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Abschnitt 5
nach.
-7
-1
mbar l s
) ist, wenden Sie sich
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