Technische Daten - Dx-Pumpen - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
Verwenden Sie die DX-Pumpe nicht zum Pumpen von Gasen, die mehr als 20 % Sauerstoff enthalten, sofern die
Pumpe nicht mit Gas gespült wird. Wenn Sie dies nicht beachten, polymerisiert der Schmierstoff, und es kann
zu vorzeitigen Ausfällen der Pumpe kommen.
Verwenden Sie eine DX-Pumpe nicht zum Pumpen von Quecksilberdämpfen, und sorgen Sie dafür, dass
Quecksilber (z.B. aus einer McLeod-Messröhre) nicht mit der Pumpe in Berührung kommt. Wenn Sie dies nicht
beachten, kann der Pumpenrotor korrodieren und ausfallen.
Hinweis: Gaskonzentrationen können durch den Verdichtungsdruck der Pumpe verändert werden.
Die Pumpen sind zum Pumpen der folgenden Restgase ausgelegt, die normalerweise in Hochvakuumsystemen
eingesetzt werden:
Luft
Methan
Propan
Butan
Kohlenmonoxid
Stickstoff
Wasserstoff
Sie können die Pumpe zum Pumpen von Sauerstoff und Wasserdampf einsetzen, sofern die folgenden Bedingungen
eingehalten werden:
Sauerstoff – Wenn die Pumpe mit einem Inertgas gespült wird, kann Sauerstoff in Konzentrationen über 20 %
(auf das Volumen bezogen) gepumpt werden. Angaben zur Spülgas-Spezifikation finden Sie in
Wenn die Pumpe dagegen nicht gespült wird, muss die Sauerstoffkonzentration geringer als 20 % (auf das
Volumen bezogen) sein.
Wasserdampf – Sie müssen dafür sorgen, dass der Dampf nicht im Inneren der Pumpe kondensiert; siehe
Abschnitt 3.9.3.
Wenn Sie ein nicht in der obigen Liste enthaltenes Gas pumpen möchten, lassen Sie sich von Ihrem Lieferanten
beraten. Wenn Sie nicht mit Ihrem Lieferanten Verbindung aufnehmen, verfällt möglicherweise Ihre Gewährleistung
für die Pumpe. Die Pumpe ist nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet.
Parameter
Gewicht
Einlassflansch
Vorvakuumflansch (Auslassflansch)
Belüftungsanschluss
Spülanschluss
Zwischenstufen-Anschluss (optional)
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VORSICHT
VORSICHT
Kohlendioxid
Neon
Krypton
Helium
Ethan
Argon
Tabelle 3 – Technische Daten – DX-Pumpen
EXT75DX
ISO63
3,0 kg
DN63ISO-K
DN16KF
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
DN25KF
& DN16KF
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
EXT75DX EXT75DX
DN63CF DN40KF
4,9 kg 2,9 kg
DN63CF DN40KF
DN16KF DN16KF
1/8 Zoll 1/8 Zoll
BSP-Anschluss BSP-Anschluss
1/8 Zoll 1/8 Zoll
BSP-Anschluss BSP-Anschluss
– –
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Abschnitt 2.4.
EXT75DX
ISO100
3,2 kg
DN100ISO-K
DN16KF
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
1/8 Zoll
BSP-Anschluss
–