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Anlauf; Schließen Des Belüftungsventils; Kontrollen Vor Der Inbetriebnahme; Betrieb Mit Paralleler Steuerung Und Überwachung - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
B722-40-882 Issue E
4.3

Anlauf

Unabhängig davon, welches System Sie zur Steuerung der DX-Pumpe verwenden, sollten Sie die folgenden Schritte
vor dem Anlauf der Pumpe durchführen.
4.3.1
Schließen des Belüftungsventils
Wenn Sie ein manuelles Belüftungsventil verwenden, drehen Sie es im Uhrzeigersinn, um es zu schließen.
Wenn Sie zur Ansteuerung eines Belüftungsventils Ihr eigenes Steuerungssystem verwenden, vergewissern Sie
sich, dass das Belüftungsventil geschlossen ist.
Wenn Sie ein TAV-Magnetventil vom Pumpen-Modul aus ansteuern, schließt das TAV-Ventil automatisch, wenn
Sie die Pumpe starten.
Wenn Sie für den Betrieb des Belüftungsventils den TIC verwenden, siehe
Hinweis:
Die Vorvakuumpumpe und die DX-Pumpe können gleichzeitig gestartet werden. Die DX-Pumpe wird
nicht beschädigt und kann als wirksames Baffle eingesetzt werden. Wenn Ihr Vakuumsystem groß ist
(100 Liter oder größer), ist es effizienter, wenn Sie die Vorvakuumpumpe erst den Systemdruck auf
10 mbar senken lassen, bevor Sie die DX-Pumpe einschalten. In diesem Fall müssen Sie das
Belüftungsventil schließen, bevor Sie die Pumpe starten.
Wenn Sie das Pumpen-Modul zur Steuerung eines TAV-Magnetventils verwenden, das System aber ausschließlich im
parallelen Schnittstellenbetrieb arbeitet, können Sie das Ventil NICHT schließen, bevor Sie die DX-Pumpe starten, da
Sie keine Möglichkeit haben, den entsprechenden seriellen Befehl zu senden. Wenn Sie die Möglichkeit haben, einen
seriellen Befehl zu senden, können Sie ein verzögerten Anlauf durchführen, siehe hierzu
Hinweis:
Wenn Sie eine Membranpumpe als Vorvakuumpumpe zur DX-Pumpe verwenden, warten Sie 2 Minuten,
bevor Sie die DX-Pumpe starten.
4.3.2

Kontrollen vor der Inbetriebnahme

1. Schalten Sie die entsprechende Kühlvorrichtung (Lüfter oder Kühlwasserversorgung) ein.
Hinweis:
Wenn Sie das Pumpen-Modul für den Betrieb eines Lüfters konfiguriert haben, schaltet sich der Lüfter
automatisch ein, sobald die DX-Pumpe mit Strom versorgt wird.
2. Starten Sie die Vorvakuumpumpe.
3. Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe ein. Kontrollieren Sie, dass die beiden LEDs auf dem Pumpen-Modul
ungefähr 0,5 Sekunden aufleuchten und danach erlöschen.
Wenn die LEDs nicht wie erwartet aufleuchten, oder wenn die gelbe LED zu blinken beginnt, sehen Sie in
Abschnitt 5.5
nach.
4.4
Betrieb mit paralleler Steuerung und Überwachung
4.4.1

Starten der Pumpe

Starten Sie die DX-Pumpe, indem Sie den Start/Stop-Steuereingang mit der 0 V-Steuerreferenz am Anschluss der
Logik-Schnittstelle verbinden. Die Pumpe beschleunigt nun auf volle Betriebsdrehzahl.
Die grüne Anzeige am Pumpen-Modul leuchtet auf, wenn die Pumpe die Normaldrehzahl (dies sind standardmäßig
80 % der vollen Drehzahl, sofern Sie keinen anderen Wert für Ihre Anwendung gewählt haben).
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt 4.6
für weitere Hinweise.
Abschnitt
4.5.1.
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Diese Anleitung auch für:

Ext75idxExt255dxExt255idx

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