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Edwards EXT75DX Betriebsanleitung Seite 7

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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5.2
Lagerwartung ............................................................................................................ 59
5.3
Lebensdauer des Rotors ................................................................................................59
5.4
Reinigen der Außenflächen der Pumpe .............................................................................. 59
5.5
Fehlersuche .............................................................................................................. 60
5.5.1
Blinksignal-Fehlercodes ................................................................................................62
5.5.2
Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter ............................................................................. 63
5.5.3
Nützliche Informationen für den Kundendienst .................................................................... 66
6
Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 67
6.1
Lagerung ................................................................................................................. 67
6.2
Entsorgung ............................................................................................................... 67
7
Service, Ersatzteile und Zubehör ............................................................. 69
7.1
Einführung ............................................................................................................... 69
7.2
Kundendienst ............................................................................................................ 69
7.2.1
Rücksenden einer Pumpe zum Kundendienst ....................................................................... 69
7.3
Ersatzteile ............................................................................................................... 70
7.3.1
ISX Einlassfilter ..........................................................................................................70
7.3.2
Ansaugfilter .............................................................................................................. 70
7.3.3
Einlassflansch-Dichtungen .............................................................................................70
7.4
Zubehör .................................................................................................................. 70
7.4.1
Installation ............................................................................................................... 70
7.4.2
ACX-Luftkühler ..........................................................................................................70
7.4.3
WCX-Wasserkühler ......................................................................................................71
7.4.4
BX-Heizmanschette .....................................................................................................71
7.4.5
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ..........................................................71
7.4.6
VRX-Belüftungsdrossel .................................................................................................71
7.4.7
Belüftungsflansch-Adapter ............................................................................................72
7.4.8
PRX-Spülgas-Drosselventil .............................................................................................72
7.4.9
Schwingungsdämpfer ...................................................................................................72
7.4.10
FL20K Adsorptionsfalle .................................................................................................72
7.4.11
Anschluss-Stecker des Pumpen-Moduls .............................................................................. 72
7.4.12
TIC Turbo und Instrument Controller ................................................................................ 72
7.4.13
TIC PC Programm .......................................................................................................73
Index .............................................................................................. 75
Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen.
Abbildungen
Abbildung
1
Abmessungen der EXT75DX (mm) .................................................................................... 14
2
Abmessungen EXT255DX (mm) ........................................................................................ 15
3
(Pumpe läuft anfangs mit voller Drehzahl) ......................................................................... 16
4
Anschluss-Stecker des Pumpen-Moduls .............................................................................. 20
5
Typisches Pumpsystem mit einer DX-Pumpe ....................................................................... 24
6
Korrekte Installation des Ansaugsiebs (EXT75DX) ..................................................................25
7
Korrekte Installation des Ansaugsiebs (EXT255DX) ................................................................25
8
9
10
Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss ...........................................................33
11
Schaltplan der Anschlüsse der Logik-Schnittstelle .................................................................37
12
Einbau von optionalem Zubehör und Ersatzteilen .................................................................74
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Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
B722-40-882 Issue E
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