Inhaltsverzeichnis - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einführung ......................................................................................... 1
1.1 Umfang und Definitionen ............................................................................................... 1
1.2 Allgemeine Beschreibung ............................................................................................... 1
1.3 Ansteuerungselektronik ................................................................................................. 2
1.4 Funktionsmerkmale ...................................................................................................... 3
1.4.1 Einstellung der Leistungsgrenze ....................................................................................... 3
1.4.2 Standby-Drehzahl ........................................................................................................ 3
1.4.3 Timer ...................................................................................................................... 4
1.4.4 Analogausgang ............................................................................................................ 4
1.4.5 Optionen für automatische Belüftung ................................................................................ 4
1.4.6 Einstellung der Normaldrehzahl ....................................................................................... 5
1.4.7 Elektronisches Abbremsen .............................................................................................. 5
1.5 Logik-Schnittstelle ....................................................................................................... 5
1.5.1 Parallele Steuerung und Überwachung ............................................................................... 6
1.5.2 Volle serielle Steuerung ................................................................................................ 6
1.5.3 Serielle Steuerung mit paralleler Überwachung .................................................................... 6
1.5.4 Parallele Steuerung mit gelegentlicher serieller Überwachung oder serieller Einstellung (Setup) ......... 7
1.5.5 Konfiguration des Pumpen-Moduls (serielle Einstellung (Setup)) ................................................ 7
2 Technische Daten ................................................................................. 9
2.1 Allgemeines ............................................................................................................... 9
2.2 Pumpmedien .............................................................................................................. 9
2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung .............................................. 16
2.4 Spülgas-Spezifikation ...................................................................................................17
2.5 Kühlwasser ............................................................................................................... 17
2.6 Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien ................................................................... 17
2.7 Elektrische Daten .......................................................................................................18
2.8 Anschluss der Logik-Schnittstelle ..................................................................................... 18
2.9 Anschlussbuchse des Pumpen-Moduls ................................................................................ 19
2.10 Anzeige-LEDs ............................................................................................................ 21
2.11 Betriebs- und Lagerungsumgebung ................................................................................... 21
3 Installation ....................................................................................... 23
3.1 Auspacken und Überprüfen ............................................................................................23
3.2 Typische Installation ...................................................................................................23
3.3 Anschluss an das Vakuumsystem ..................................................................................... 23
3.3.1 Ansaugsieb (werkseitig montiert) .................................................................................... 25
3.3.2 Mechanische Befestigung ..............................................................................................26
3.3.3 Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage .................................................................... 26
3.3.4 Montage über den Pumpenfuß ........................................................................................ 27
3.3.5 Vorvakuumanschluss ....................................................................................................27
3.3.6 Zwischenstufen-Anschluss (nur iDX- Varianten) .................................................................... 28
3.4 Spülgasanschluss ........................................................................................................28
3.4.1 Anschließen des Spülgases .............................................................................................28
3.4.2 Empfohlener Spülgasdurchfluss ....................................................................................... 28
3.5 Elektroinstallation ......................................................................................................28
3.5.1 Einführung ............................................................................................................... 28
3.5.2 Erdungs- (Masse-) Anschlüsse ......................................................................................... 28
3.5.3 Anschließen der Logik-Schnittstelle an den TIC .................................................................... 29
3.5.4 Anschließen der Logik-Schnittstelle an Ihr Steuergerät ..........................................................29
3.5.5 Anschließen der Stromversorgung .................................................................................... 29
3.6 Betrieb über die parallele Schnittstelle ............................................................................. 30
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B722-40-882 Issue E
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