Edwards EXT406PX Betriebsanleitung

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe

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Beschreibung

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN1001ISO-K

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN1601ISO-K

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN100CF-K

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN100ISO-K

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN160ISO-K

24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN100CF-K

Betriebsanleitung

EXT406PX

B760-10-882

Issue B

Bestellnummer

B760-11-991

B760-21-991

B760-12-991

B760-22-991

B760-31-991

B760-41-991

B760-32-991

B760-42-991

Inhaltsverzeichnis

Fehlerbehebung

Inhaltszusammenfassung für Edwards EXT406PX

Seite 1 B760-10-882 Issue B Betriebsanleitung EXT406PX Beschreibung Bestellnummer 24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN1001ISO-K B760-11-991 24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN1601ISO-K B760-21-991 24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN100CF-K B760-12-991 24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Rootspumpenanschluss DN100CF-K B760-22-991 24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN100ISO-K B760-31-991 24 Volt EXT406PX-Turbomolekular-Vakuumpumpe Standardpumpenanschluss DN160ISO-K...
Seite 2: Konformitätserklärung
West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, EXTPX-Compound-Turbomolekularpumpe: EXT406PX Rootspumpenanschluss DN100ISO-K B760-11-991 • EXT406PX DN100ISO-K B760-31-991 EXT406PX Rootspumpenanschluss DN160ISO-K B760-12-991 •...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Lebensdauer des Rotors ....................25 Reinigen der Pumpe ....................26 Fehlersuche ......................26 Lagerung und Entsorgung ..............29 Lagerung ......................... 29 Entsorgung ....................... 29 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 Schematische Darstellung eines typischen EXT406PX-Systems ..........14 Korrekte Installation des Ansaugsiebs ................16 Korrekte Einbaulage der Pumpe ..................17 Installation optionaler Zubehörteile ................. 33 Seite ii © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5: Titel Der Publikation
Titel der Publikation Nummer der Publikation EXDC-Turbomolekularpumpen-Antriebsmodul D396-45-882 Zubehör für EXT-Pumpen B580-65-880 TIC (100 W und 200 W) D397-22-882 TIC-Serie CD D397-00-879 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einführung
Lesen Sie die vorliegende Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch. Die Pumpe ist für den Einsatz in Verbindung mit einem EXDC160-Controller von Edwards ausgelegt. Lesen Sie die zusammen mit dem Controller gelieferte Betriebsanleitung, bevor Sie versuchen, das Gerät zu installieren oder in Betrieb zu nehmen.
Seite 9: Technische Daten
> 1 x 10 Vorvakuumanschluss zum > 1 x 10 Haupteinlassanschluss: N , He, H 1 x 10 und Ar 5 x 10 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 10 EXDC 160 W 24 V D396-46-000 Maximaler VA-Ausgang EXDC160 250 VA Ruhestrom 25 - 40 W Leistung bei Endvakuum mit mbar Vorvakuumdruck Seite 4 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 11: Pumpmedien
Temperaturen sind Umgebungswerte der Pumpe. Bei zusätzlicher Kühlung kann mehr Leistung erzielt werden. Genaue Grenzwerte sind von Anwendungsanforderungen, Kühlungsmethode und Pumpenkonfiguration abhängig; wenden Sie sich an Edwards, um die Eignung zu klären. Siehe auch Abschnitt 3.7 für Kühlungsanforderungen und -zubehör.
Seite 12 Wenn Sie ein nicht in der obigen Liste enthaltenes Gas pumpen müssen, lassen Sie sich von Ihrem Lieferanten beraten. Andernfalls verfällt möglicherweise die Gewährleistung für die Pumpe. Die Pumpe ist nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet. Seite 6 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
>15 Sekunden Maximaler Spülgasdruck 0,5 bar Überdruck Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards. Spülgas-Spezifikation und -Daten Wenn die Spülung mit einem Inertgas erfolgt, können mit den Pumpen auch Sauerstoffkonzentrationen über 20 % (auf das Volumen bezogen) gepumpt werden Tabelle 4 - Spülgas-Spezifikation...
Seite 14: Abmessungen Der Dn100 Iso-K-Pumpe - Rootspumpenvariante Gezeigt (In Mm)
Abbildung 2 - Abmessungen der DN100 ISO-K-Pumpe - Rootspumpenvariante gezeigt (in mm) 1. Erdungsschraube 4. Spülanschluss 2. Elektrischer Anschluss 5. Rootspumpenanschluss 3. Belüftungsanschluss (am Pumpenfuß) 6. Vorvakuumpumpenanschluss * Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß (Füße entfernen) Seite 8 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 15: Abmessungen Der Dn160 Iso-K-Pumpe - Standardvariante Gezeigt (In Mm)
Abbildung 3 - Abmessungen der DN160 ISO-K-Pumpe - Standardvariante gezeigt (in mm) 1. Erdungsschraube 4. Spülanschluss 2. Elektrischer Anschluss 5. Vorvakuumpumpenanschluss 3. Belüftungsanschluss (am Pumpenfuß) * Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß (Füße entfernen) © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 16: Abmessungen Der Dn100 Cf-Pumpe - Standardvariante Gezeigt (In Mm)
Abbildung 4 - Abmessungen der DN100 CF-Pumpe - Standardvariante gezeigt (in mm) 1. Erdungsschraube 4. Spülanschluss 2. Elektrischer Anschluss 5. Vorvakuumpumpenanschluss 3. Belüftungsanschluss (am Pumpenfuß) * Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß (Füße entfernen) Seite 10 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Abmessungen Der Dn160 Cf-Pumpe - Rootspumpenvariante Gezeigt (In Mm)
Abbildung 5 - Abmessungen der DN160 CF-Pumpe - Rootspumpenvariante gezeigt (in mm) 1. Erdungsschraube 4. Spülanschluss 2. Elektrischer Anschluss 5. Rootspumpenanschluss 3. Belüftungsanschluss (am Pumpenfuß) 6. Vorvakuumpumpenanschluss * Befestigungsbohrungen am Pumpenfuß (Füße entfernen) © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Installation
Beim Installieren und Deinstallieren der Pumpe müssen alle vor Ort geltenden gesetzlichen Bestimmungen hinsichtlich der Einwirkung der Pumpe auf die Umwelt beachtet werden. Ein typisches Pumpensystem mit einer EXT406PX-Pumpe sehen Sie in Abbildung © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Seite 20: Schematische Darstellung Eines Typischen Ext406Px-Systems
B760-10-882 Issue B Abbildung 6 - Schematische Darstellung eines typischen EXT406PX-Systems 1. Alternative Position für Belüftungsventil 10. Vakuum-Messgerät 2. Vakuumsystem 11. Vorvakuumventil 3. Hochvakuum-Messgerät 12. Faltenbälge 4. Ansaugsieb 13. Adsorptionsfalle (für nasslaufende Pumpe) 5. EXT406PX-Pumpe 14. Vorvakuumpumpe 6. Belüftungsventil 15. EXDC-Controller 7.
Seite 21: Anschluss An Das Vakuumsystem
Um ein Ansaugsieb zu entfernen, ziehen Sie es mit Hilfe eines Drahthakens vorsichtig vom Hochvakuumflansch ab. Ein vom Gerät entferntes Ansaugsieb kann nicht erneut verwendet werden. Ersatzsiebe sind erhältlich (siehe Abschnitt © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 22: Anschluss Des Einlassflansches Und Einbaulage
Verwenden Sie die mit der Pumpe gelieferten O-Ringe und mindestens 8 Spannklammern mit einem Drehmoment von 20 Nm oder einen rotierbaren Flansch zur Verbindung des Hochvakuumflanschs der Pumpe mit dem Vakuumsystem. Seite 16 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Korrekte Einbaulage Der Pumpe
B760-10-882 Issue B Abbildung 8 - Korrekte Einbaulage der Pumpe 1. Vorvakuumanschluss © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24: Vorvakuumanschluss
Abschnitt 3.3.2. Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung Um das Vakuumsystem rein zu halten, empfiehlt Edwards, die Pumpe oder das Vakuumsystem bei jedem Abschalten zu belüften. VORSICHT Wenn die Pumpe manuell belüftet wird, während sie mit voller Drehzahl läuft, und wenn der Druck zu schnell ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpe verkürzen.
Seite 25: Spülgasanschluss
Verwenden Sie alternativ ein anderes ans Vakuumsystem angeschlossenes Ventil mit angemessener  Einschränkung. Wenden Sie sich für weitere Einzelheiten an Edwards. 1. Schalten Sie die Pumpe aus, lassen Sie die Vorvakuumpumpe aber eingeschaltet. 2. Öffnen Sie das Belüftungsventil, wenn die Pumpendrehzahl auf 50 % zurückgegangen ist.
Seite 26: Exdc-Antriebsmodule
Weiterhin ist der Kunde dafür verantwortlich, die korrekte Führung von Kabeln und Rohrleitungen zu gewährleisten, um Stolper- und Sturzgefahren zu vermeiden. Edwards empfiehlt, zur Erdung von Pumpe und Zubehör einen eigenen Erdungs-(Masse-)Leiter zu montieren. Befestigen Sie den Erdungsleiter mit Hilfe einer unisolierten Litze oder mit einem eigenen isolierten grün/gelben Leiter und der M5 x 10-Schraube und der mitgelieferten Unterlegscheibe (wird an der Erdungsöffnung der Pumpe...
Seite 27: Druckluftkühlung
Pa Überdruck Kühlwasser ausgesetzte Materialien Vernickeltes Messing Magnetfelder WARNUNG Die in Tabelle 1 angegebenen maximal zulässigen externen Magnetfelder dürfen nicht überschritten werden. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29: Betrieb
5. Die Pumpe beschleunigt nun auf volle Betriebsdrehzahl. Die LED zur Anzeige der Normaldrehzahl am EXDC- Controller leuchtet auf, sobald die Nennbetriebsdrehzahl erreicht ist. Hinweis: Weitere Einzelheiten sind der Anleitung zum TIC-Controller zu entnehmen. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 30: Abschalten
Sie können dafür die Edwards BX-Heizmanschette (siehe Abschnitt 7) verwenden. Bringen Sie die Manschette unter dem Hochvakuumflansch um die Pumpe herum an. Seite 24 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31: Wartung
20.000 Stunden; das Intervall kann jedoch auch kleiner sein, je nach Art der Pumpaufgabe, für die die Pumpe eingesetzt wird. Wenn die Lager ausgetauscht werden müssen, empfiehlt Edwards, die Pumpe gegen ein im Werk vorbereitetes und eingestelltes Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum schicken, um die Lager austauschen zu lassen.
Seite 32: Reinigen Der Pumpe
Wenn die Pumpe im Innern verunreinigt ist, kann das angegebene Endvakuum möglicherweise nicht erreicht werden oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Unter diesen Umständen sollte die Pumpe an ein Edwards- Kundendienstzentrum zurückgeschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird. Befolgen Sie die Anweisungen in den Formularen am Ende dieser Betriebsanleitung, wenn Sie die Pumpe zurückschicken.
Seite 33: Fehlersuche
Pumpe möglicherweise defekt. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. „Droop Timeout“ Siehe Abschnitt 4.3.2. Siehe Abschnitt 4.3.2. angezeigt auf dem TIC © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 34 Unwucht vor. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Keines der obigen Symptome. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Seite 28 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 35: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie die Pumpe und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Anlagen und Geräte, an denen Service-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit einer Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards zum Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur der Anlage bereitstellen. Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.
Seite 38: Hv-Flansch-Dichtungen
90 - 264 V AC 47 bis 63 Hz D397-12-000 TIC Turbo & Instrument Controller 200 W 90 - 264 V AC 47 bis 63 Hz D397-22-000 Seite 32 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 39: Installation Optionaler Zubehörteile
4. VRX-Belüftungsdrossel 10. Heizmanschette (DN100CF gezeigt) 5. Manuelles Belüftungsventil (montiert) 11. Position der BX250-Heizmanschette 6. TAV-Belüftungsventil (Magnetventil) 12. Position der BX450-Heizmanschette 13. WCX-Wasserkühlung © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 40: Tav-Belüftungsventil Und Belüftungsanschluss-Adapter
Wert von 25 sccm erhältlich. Das Drosselventil eignet sich für alle mit einem Spülanschluss ausgestatteten EXT-Pumpen. Tabelle 14 - PRX-Spülgas-Drosselventil Spülgasdrossel Bestellnummer PRX10 B580-65-001 Seite 34 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 41: Acx-Luftkühler
DN100CF, DN160CF 110 - 120 V B580-52-043 220 - 240 V B580-52-063 Position 11 in Abbildung 9 † Position 12 in Abbildung 9 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

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