Abmessungen Ext255Dx (Mm) - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung
Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
1. Pumpen-Modul
2. Anschlussbuchse des Pumpen-Moduls
(für Lüfter/TAV-Ventil)
3. Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT255iDX)
4. Manuelles Belüftungsventil im
Belüftungsanschluss
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abbildung 2 – Abmessungen EXT255DX (mm)
5. Anschluss der Logikschnittstelle
6. Spülanschluss (blindgeflanscht)
7. Erdungsanschluss
8. Kühlblock, Einbauseite
9. Anzeige-LEDs Pumpen-Modul
10. Vorvakuumanschluss
B722-40-882 Issue E
Seite 15
Inhaltsverzeichnis
