Zwischenstufen-Anschluss (Nur Idx- Varianten); Spülgasanschluss; Anschließen Des Spülgases; Empfohlener Spülgasdurchfluss - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
3.3.6

Zwischenstufen-Anschluss (nur iDX- Varianten)

Schließen Sie den Zwischenstufen-Anschluss mit geeigneten Vakuum-Schläuchen und Befestigungselementen an
Ihr Vakuumsystem oder an den Auslassflansch einer anderen Turbo- oder Compound-Turbomolekularpumpe an
(wenn Sie die iDX-Pumpe als Vorvakuumpumpe einer anderen Pumpe nutzen). Lassen Sie den Ansaugfilter im
Zwischenstufen-Anschluss, außer wenn Sie sicher sind, dass keine größeren Partikel in den Zwischenstufen-Anschluss
gelangen können.
Notes: Die EXT75iDX mit einem Zwischenstufen-Anschluss DN16KF wird ohne eingebauten Ansaugfilter geliefert.
3.4 Spülgasanschluss
3.4.1 Anschließen des Spülgases
Um ein Spülgas in die Pumpe zu leiten, entfernen Sie den im Spülanschluss sitzenden Stopfen, montieren Sie einen
Belüftungsanschluss-Adapter (siehe
Adapter an. Ihr Spülgas muss die in
3.4.2 Empfohlener Spülgasdurchfluss
Der empfohlene Spülgasdurchfluss für typische Anwendungen beträgt 25 sccm (0,42 mbar l s
Durchsatz schützt die Pumpe, wenn Sie Sauerstoff in Konzentrationen über 20 % (auf das Volumen bezogen) pumpen.
Der Durchsatz des Spülgases muss auf den in
Verwenden Sie zur Begrenzung des Durchsatzes einen Durchsatzregler oder einen Druckregler und geeichten
Durchsatzbegrenzer. Das als Zubehör lieferbare Spülgas-Drosselventil PRX10 (siehe
Zweck geeignet. Stellen Sie das PRX10 so ein, wie in der Anleitung zu diesem Zubehörteil beschrieben.
3.5

Elektroinstallation

3.5.1 Einführung
Sie müssen dafür sorgen, dass die Pumpe geerdet ist. Wenn Sie dies nicht beachten, kann von dem
System Lebensgefahr ausgehen, wenn ein stromführender Leiter eine Metalloberfläche berührt.
Die Elektroinstallation muss von einer dafür in geeigneter Weise qualifizierten Person ausgeführt werden.
Führen Sie die elektrischen Anschlüsse zur DX-Pumpe immer erst aus, nachdem die Pumpe in Ihrem Vakuumsystem
installiert wurde.
Erden Sie die Pumpe mit dem dafür vorgesehenen Anschluss; siehe hierzu auch
Sie können die DX-Pumpe mit einem Edwards TIC Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller betreiben,
siehe Abschnitt 3.5.3. Sie können die DX-Pumpe auch mit Ihrem eigenen System steuern, siehe
3.5.5 finden Sie Hinweise, wie Sie beim Anschließen der Steuerung an die Stromversorgung vorgehen müssen.
3.5.2 Erdungs- (Masse-) Anschlüsse
Wir empfehlen Ihnen, zur Erdung der DX-Pumpe einen eigenen Erdungs- (Masse-) Leiter zu montieren. Befestigen Sie
den Erdungsleiter mit Hilfe einer unisolierten Litze oder mit einem eigenen isolierten grün/gelben Leiter und der
M5 x 10 Schraube und der mitgelieferten Sicherungsscheibe (wird am Erdungsloch der Pumpe montiert) an der
Pumpe. Die Impedanz zwischen dem Pumpengehäuse und dem Erdungsanschluss muss < 0,1 Ω sein.
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Abschnitt 7.4), und schließen Sie die Spülgaszufuhr an den Belüftungsanschluss-
Abschnitt 2.4 angegebenen Spezifikationen erfüllen.
Abschnitt 2.4 spezifizierten zulässigen Bereich begrenzt werden.
WARNUNG
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Abschnitt
Abschnitt 3.5.2.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
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, 42 Pa l s ). Dieser
7.4) ist für diesen
Abschnitt 3.5.4. Unter