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Spülgas-Spezifikation; Kühlwasser; Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien; Spezifikation Des Kühlwassersystems - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
2.4
Spülgas-Spezifikation
Spülgas-Spezifikation
Spülgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zulässiger Spülgasdurchsatz (sofern erforderlich)
Empfohlener Spülgasdurchfluss
Maximal zulässiger Spülgas-Eingangsdruck
Spezifikation des Kühlwassersystems
Qualität
pH-Wert
Maximale Calciumcarbonat-Konzentration
Maximale Chlorid-Konzentration
Minimale Sauerstoffkonzentration
Mindest-Kühlwasserdurchfluss (bei 15 °C)
Wassertemperatur
Maximaler Wasserdruck
Kühlwasser ausgesetzte Materialien
2.5
Kühlwasser
Die vorgenannte Kühlwasser-Spezifikation entspricht einer typischen Spezifikation für hochwertiges Trinkwasser.
Fragen Sie bei der für Sie zuständigen Wasserversorgungsbehörde nach, wenn Sie bezüglich der Qualität Ihres
Trinkwassers Zweifel haben.
2.6

Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien

Die folgenden Materialien und Komponententypen sind den gepumpten Gasen ausgesetzt:
Aluminiumlegierungen, rostfreie Stähle, O-Ringe aus Fluorelastomer und Neopren, Schmierstoffe auf
Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete aus seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz, glasfaserverstärktes
Epoxidharz, flammhemmendes Polypropylen, Polyamid und PVC.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 7 – Spülgas-Spezifikation
Tabelle 8 – Spezifikation des Kühlwassersystems
Referenzwerte
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase
-22 °C
1 μm
0,1 ppm
20 bis 50 sccm
-1
(0,33 bis 0,84 mbar l s
oder 33 bis 84 Pa l s
-1
25 sccm (0,42 mbar l s
, 42 Pa l s
2 bar (gemessen), 29 psi, 3 x 10
Referenzwerte
Mechanisch sauber und optisch klar, ohne Ablagerungen
oder Trübung
6,0 bis 8,0
75 ppm
100 ppm
4 ppm
-1
15 l hr
Siehe
Tabelle 5
5 bar (gemessen), 73,5 psig, 6 x 10
Vernickeltes Messing
B722-40-882 Issue E
-1
)
-1
)
5
Pa
5
Pa
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Diese Anleitung auch für:

Ext75idxExt255dxExt255idx

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