Ansteuerungselektronik - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
Das Pumpen-Modul enthält Elektrolyt-Kondensatoren und kann unter bestimmten
Fehlerbedingungen gefährliche Dämpfe abgeben. Stellen Sie sicher, dass das Pumpen-Modul in
einem gut belüfteten Bereich betrieben wird.
Versuchen Sie nicht, das Pumpen-Modul von der Pumpe zu trennen, da dies zu Schäden an den elektrischen
Anschlüssen führt.
Die DX-Pumpen bestehen aus der Compound-Turbomolekularpumpe mit einem dauerhaft an ihr befestigten Pumpen-
Modul, das die Ansteuerungselektronik enthält.
Das Pumpen-Modul steuert die Stromversorgung der Pumpe. Es hat keine Elemente, die vom Anwender betätigt oder
bedient werden könnten und kann nur über die Logik-Schnittstelle betrieben werden. Um die DX-Pumpe in Betrieb
zu nehmen, müssen Sie sie an Ihr eigenes Steuergerät und Ihre Stromversorgung anschließen oder alternativ den
Edwards Turbo Instrument Controller (TIC) oder den TIC Turbo Controller verwenden.
Das Pumpen-Modul treibt den bürstenlosen Gleichstrommotor in der Pumpe an. Die Pumpe ist mit drei Hall-Effekt-
Vorrichtungen ausgestattet, die als Sensoren zur Erkennung der Rotorposition arbeiten und dafür sorgen, dass der
Antriebsstrom korrekt um die Phasenwicklungen des Motors umgepolt wird.
Bei der Vakuumpumpe sind die Rotorblätter der Turbomolekularstufe und ein Holweck-Drag-Mechanismus auf einer
einzigen Welle montiert; der Holweck-Mechanismus ermöglicht einen Betrieb bei höheren Vorvakuumdrücken als bei
reinen Turbomolekularpumpen.
Die DX-Pumpen werden mit einem in die Öffnung des Einlassflanschs montierten Ansaugsieb geliefert. Sowohl die
EXT255iDX als auch die EXT75iDX werden mit einem Ansaugfilter zum Einbau in den Zwischenstufen-Anschluss DN25KF
geliefert. Das Ansaugsieb und der Ansaugfilter schützen die Pumpe vor Schäden, die entstehen könnten, wenn
größere Partikel in die Pumpe gelangen. Das Ansaugsieb schützt auch den Anwender vor Verletzungen durch die
scharfen Rotorblätter in der Pumpe.
Hinweis: Die EXT75iDX mit einem Zwischenstufen-Anschluss DN16KF wird ohne Ansaugfilter geliefert.
Die DX-Pumpen haben einen Belüftungsanschluss, über den die Pumpe und das Vakuumsystem auf Atmosphärendruck
belüftet werden können. Die Pumpe wird mit manuellem Belüftungsventil geliefert; dieses Ventil kann durch ein
elektromagnetisch betätigtes Belüftungsventil des Typs TAV5 oder TAV6 ersetzt werden (als Zubehör erhältlich –
siehe Abschnitt 7).
Die DX-Pumpen haben einen Spülanschluss: Ein Inert-Spülgas kann eingeleitet werden, um das Lager und den Motor
vor Korrosion oder den Lagerschmierstoff vor Oxidation zu schützen. Ein als Sonderzubehör erhältlicher
Belüftungsanschluss-Adapter und ein Spülgas-Drosselventil können auf den Spülgasanschluss montiert werden, um
den Durchsatz des Spülgases zu regeln und das einströmende Gas zu filtern (siehe
Luftkühler und ein Wasserkühlungsblock sind als Sonderzubehör zum Kühlen der DX-Pumpen lieferbar (siehe
Abschnitt 7).
1.3

Ansteuerungselektronik

Das Pumpen-Modul enthält die Ansteuerungselektronik, die den Betrieb der Pumpe und des Zubehörs wie
beispielsweise eines TAV-Belüftungsventils oder eines Luftkühlers steuert. Oben auf dem Pumpen-Modul gibt es eine
Anschlussbuchse, über die das TAV-Belüftungsventil oder der Luftkühler verbunden werden können (siehe
Abschnitt 2.9).
Das Pumpen-Modul hat zwei Anzeige-LEDs, die den Status und den Betrieb der Pumpe anzeigen und die bei einer
Störung auch zur Fehlersuche genutzt werden können (siehe
Seite 2
WARNUNG
VORSICHT
Abschnitt
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Abschnitt 7).
2.10).