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Edwards EXT75DX Betriebsanleitung Seite 84

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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B722-40-882 Issue E
Montage über den Pumpenfuß ......................... 27
Multidrop-Modus ......................................... 38
N
Nützliche Informationen für den Kundendienst ..... 66
O
Optionen für Analogsignal .............................. 47
Optionen für automatische Belüftung ..................4
Optionen für eine geregelte Belüftung ............... 44
P
Parallele Steuerung mit gelegentlicher serieller
Überwachung oder serieller Einstellung
(Setup) ......................................................7
Parallele Steuerung und Überwachung .................6
Parallele Überwachung ................................. 51
PRX-Spülgas-Drosselventil .............................. 72
Pumpmedien .......................................... 9
R
Reinigen der Außenflächen der Pumpe ............... 59
Rücksenden einer Pumpe zum Kundendienst ........ 69
S
Schließen des Belüftungsventils .................. 43
Schwingungsdämpfer .................................... 72
Serielle Aktivierung („Serial Enable") ................ 32
Serielle Steuerung mit paralleler Überwachung ......6
Serielles Protokoll ....................................... 32
Spülgasanschluss ......................................... 28
Spülgas-Spezifikation ................................... 17
Standby-Drehzahl ..................................... 3
Starten der Pumpe ................................. 50
Starten mit Steuerung über die parallele
Schnittstelle .............................................. 51
Stop der Pumpe ..................................... 51
Stromversorgung eines Lüfters vom
Pumpen-Modul aus ...................................... 44
T
TAV-Belüftungsventil und
Belüftungsanschluss-Adapter .......................... 71
Technische Daten ..........................................9
Temperaturwerte ........................................ 52
TIC/DX PC Monitor ....................................... 73
Timer ........................................................4
Timer-Einstellung und -Optionen ..................... 46
Typische Installation .................................... 23
U
Umfang und Definitionen .................................1
Seite 76
V
Verfügbare Befehle ..................................... 34
Verlangsamen und Belüften ............................ 53
Verzögerter Start ........................................ 51
Volle serielle Steuerung .................................. 6
Vorvakuumanschluss .................................... 27
VRX-Belüftungsdrossel .................................. 71
W
Wartung ................................................... 59
Wassergekühlte Ausführung ............................ 41
WCX-Wasserkühler ...................................... 71
Werkseitige Einstellungen .............................. 48
Werte der Verbindungsparameter .................... 52
Z
Zubehör ................................................... 70
Zuweisen einer Multidrop-Adresse .................... 48
,
Zwischenstufen-Anschluss
16
(nur iDX-Varianten) ..................................... 28
,
50
,
52
,
51
,
52
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