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Symptom
Die grüne Normal-LED leuchtet nicht
auf, oder die Pumpe dreht sich nicht
mit voller Drehzahl, oder die Pumpe
hat einen Defekt während des
Betriebs.
Der Endvakuumdruck kann nicht
erreicht werden.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle 23 – Fehlersuche (Fortsetzung)
Überprüfung
Ist der Einlassdruck zu hoch?
Läuft die Pumpe zu heiß?
Kann sich der Rotor frei drehen?
Ist der Druck durch Wasserdampf
begrenzt?
Ist eines der Vakuum-Messgeräte
verunreinigt?
Ist die Saugleistung zu gering
(aufgrund eines zu geringen
Leitwerts zwischen der Pumpe
und dem Messgerät oder einer zu
großen Kammer)?
Beträgt der Druck am
Zwischenstufen-Einlass
>0,5 mbar (50 Pa)?
Beträgt der Vorvakuumdruck
3
>10 mbar (1x10
Pa)?
Ist der Hochvakuumbereich des
Systems verunreinigt?
B722-40-882 Issue E
Maßnahme
Wenn dies der Fall ist, verringern Sie
die Pumplast, oder überprüfen Sie,
ob ein großes Leck im System ist.
Verstärken Sie die Kühlung Ihrer
Pumpe. Eventuell müssen Sie von
Luftkühlung zu Wasserkühlung
wechseln (Angaben zum maximalen
Einlassdruck und den
Kühlanforderungen finden Sie in
Abschnitt
2). Eventuell müssen Sie
auch den Kühlwasserfluss erhöhen
oder die Wassertemperatur senken
oder beides. Überprüfen Sie, dass
die externen Wärmequellen (z.B.
Heizelemente zum Ausheizen des
Systems) nicht zu stark sind.
Wenn nicht, ist unter Umständen das
Pumpenlager beschädigt. Wenden
Sie sich an Ihren Lieferanten oder
an Edwards.
Heizen Sie das System aus, und
pumpen Sie danach.
Wenn dies der Fall ist, reinigen oder
ersetzen Sie sie.
Erhöhen Sie den Leitwert, oder
verringern Sie das Volumen.
Wenn der Druck am Zwischenstufen-
Einlass zu hoch ist, erhöht sich der
Einlassdruck am Einlass der
Turbomolekularpumpe. Stellen Sie
sicher, dass der Druck am
Zwischenstufen-Einlass < 0,5 mbar
(50 Pa) beträgt.
Wenn dies der Fall ist, ist der
Vorvakuumdruck unter Umständen zu
hoch. Überprüfen Sie die
Vorvakuumleitung auf Lecks. Wenn
der Durchsatz hoch ist, benötigen Sie
eventuell eine größere
Vorvakuumpumpe.
Wenn dies der Fall ist, reinigen Sie
das Hochvakuumsystem.
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