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Verwandte Anleitungen für Edwards EXT556H DN160ISO-K
Inhaltszusammenfassung für Edwards EXT556H DN160ISO-K
- Seite 1 B777-50-882 Issue D Betriebsanleitung EXT Compound-Turbomolekularpumpen: EXT556H und EXT556HF Beschreibung Bestellnummer EXT556H/DN160ISO-K B777-51-000 EXT556H/DN160CF B777-52-000 EXT556H/DN160ISO-K (feines Ansaugsieb) B777-61-000 EXT556HF/DN160ISO-K B777-57-000 EXT556HF/DN160CF B777-58-000...
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Seite 2: Konformitätserklärung
EXT556H DN160CF B777-52-000 • EXT556HF DN160CF B777-58-000 EXT556H DN160ISO-K (feines Ansaugsieb) B777-61-000 auf das bzw. auf die sich die vorliegende Erklärung bezieht, im Einklang steht bzw. stehen mit der (den) folgenden Norm(en) oder (einem) anderen normativen Dokument(en): EN1012-2:1996, A1: 2009 Kompressoren und Vakuumpumpen. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Lebensdauer des Rotors ....................23 Reinigen der Pumpe ....................24 Fehlersuche ......................24 Lagerung und Entsorgung ..............29 Lagerung ......................... 29 Entsorgung ....................... 29 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 4 Maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften ............16 Abmessungen und Merkmale von Pumpen der Baureihe EXT556H ..........18 Installation von Sonderzubehör und Ersatzteilen der EXT556H ..........33 Seite ii © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 5: Titel Der Publikation
Schwingungsdämpfer ....................35 PRX-Spülgas-Drosselventil .....................35 VRX-Belüftungsdrossel ....................35 Weiterführende Publikationen Titel der Publikation Nummer der Publikation EXC120/120E/300/300M Turbomolekularpumpen-Controller D396-14-880 EXC250E/250L Turbomolekularpumpen-Controller D396-36-880 EXDC Turbomolekularpumpen-Antriebsmodule D396-40-880 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 6 B777-50-882 Issue D Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite iv © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 7: Einführung
Die Pumpe EXT556H ist für den Einsatz in Verbindung mit einem EXC- oder EXDC-Controller von Edwards ausgelegt. Lesen Sie sich dieses Handbuch und die zusammen mit Ihrem Controller gelieferte Betriebsanleitung durch, bevor Sie das Gerät installieren oder in Betrieb nehmen. Das Controller-Handbuch enthält die Einzelheiten der elektrischen Installation. - Seite 8 “ bedeutet: Dies ist ein Durchfluss bzw. Durchsatz von 1 cm bei einer Umgebungstemperatur von 0 °C und einem Druck von 1013 mbar (1,013 x 10 Pa). Seite 2 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 9: Technische Daten
Andernfalls wird der Schmierstoff beschädigt und es kommt zum vorzeitigen Ausfall der Pumpe. Hinweis: Gaskonzentrationen können durch den Verdichtungsdruck der Pumpe verändert werden. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 10: Pumpen Ohne Gasspülung
Wenn die Spülung mit einem Inertgas erfolgt, können mit den Pumpen auch Sauerstoffkonzentrationen über 20 % (auf das Volumen bezogen) gepumpt werden. Seite 4 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 11: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung
75 ppm Maximale Chlorid-Konzentration 100 ppm Minimale Sauerstoffkonzentration 4 ppm Empfohlener Kühlwasserdurchfluss (bei 15 °C) 15 l hr Wassertemperatur Siehe Tabelle 5 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 12: Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
Pb < 7 mbar >10 Pb < 20 mbar ‡ Endvakuum <10 mbar < 2 x 10 mbar Min. Vorvakuumpumpleistung 12 m Empfohlene Vorvakuumpumpe RV12 Seite 6 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 13 Druckluftkühlung, 35° C 1,8 mbar Umgebungstemp. Wasserkühlung mit 15° C 2,2 mbar Eine Wasserkühlung beim Pumpen hoher Konzentrationen von Argon ist nicht zu empfehlen © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 14 Gase mit einer Atommasse > 28 amu bezeichnet, als „leichte Gase“ bezeichnet man Gase mit einer Atommasse 28 amu. †† Wenn Luftkühlung erforderlich ist, empfiehlt Edwards den Luftkühler ACX555. Seite 8 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 15: Einbaulage Der Pumpe Ext556H
B777-50-882 Issue D Abbildung 1 - Einbaulage der Pumpe EXT556H 1. Pumpeneinlass 2. Vorvakuumanschluss © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 16 B777-50-882 Issue D Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 10 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 17: Installation
Tabelle 6 - Zum Lieferumfang gehörende Artikel Anzahl Beschreibung Turbomolekularpumpe EXT556H Ansaugsieb (montiert) HV-Flansch-Dichtung (O-Ring mit Zentrier- und Außenring, Co-Seal-Dichtung oder Kupfer- Kompressionsdichtung) © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 18: Typisches Pumpsystem
13. EXC-Controller 5. EXT-Pumpe 14. Luftkühler 6. Ventil der Vorvakuumpumpe 15. PRX10-Spülgas-Drosselventil 7. Vakuum-Messgerät 16. Geregelte Spülgaszufuhr 8. Faltenbälge 17. Belüftungsventil 9. Adsorptionsfalle Seite 12 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 19: Das Ansaugsieb (Werkseitig Montiert)
Wenn Sie eine Pumpe des Typs EXT556H DN160CF verwenden, schließen Sie sie mit einem vollständigen Satz von 20 M8-Bolzen ans Vakuumsystem an. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 20: Zeichnung Des Ansaugsiebs - Zum Entfernen Des Ansaugsiebs Lösen Sie Die Schrauben „A
Abbildung 3 - Zeichnung des Ansaugsiebs – zum Entfernen des Ansaugsiebs lösen Sie die Schrauben „A“. Entfernen Sie nicht die Schrauben „B“. Seite 14 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 21: Vorvakuumanschluss
Wenn Sie die Pumpe bei voller Drehzahl belüften und der Druck zu schnell ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpenlager verkürzen. Um das Vakuumsystem rein zu halten, empfiehlt Edwards, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst oder das Vakuumsystem zu belüften, wenn sich die Drehzahl der Pumpe EXT556H zwischen der vollen Drehzahl und 50 % der vollen Drehzahl bewegt. -
Seite 22: Maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften
Vakuumsystem-Volumina, damit der Druckanstieg beim Belüften innerhalb der in Abbildung 4 dargestellten Grenzen gehalten wird. Informationen zur Belüftungsgas-Spezifikation finden Sie in Abschnitt Abbildung 4 - Maximale Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften Seite 16 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 23: Spülgasanschluss
Vakuumanschlüsse liegt in der Verantwortung des Kunden. Ebenso obliegt es dem Kunden, dafür zu sorgen, dass von Anschlüssen für Versorgungsmedien keine Rutsch- oder Stolpergefahren ausgehen. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 24: Abmessungen Und Merkmale Von Pumpen Der Baureihe Ext556H
Abbildung 5 - Abmessungen und Merkmale von Pumpen der Baureihe EXT556H 1. Belüftungsventil 4. Spülgas-Stopfen 2. Netzanschluss 5. Erdungsanschluss 3. Vorvakuumanschluss (DN25KF) Seite 18 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 25: Kühlung
Anschlüsse kann für den Anschluss der Wasserzu- oder -rückleitung verwendet werden. 1. Schieben Sie den verstärkten Schlauch (Innendurchmesser ca. 6 mm) über die Enden der geriffelten Schlauchanschlüsse am Wasserkühler. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 26: Magnetfelder
Auf die Variante EXT556HF wirken starke Anziehungskräfte, wenn sie sich in oder in der Nähe von Magnetfeldern befindet. Achten Sie darauf, dass die Pumpe sicher an der Anlage befestigt ist, bevor Sie sie einem Magnetfeld aussetzen. Seite 20 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 27: Betrieb
4. Wenn die Pumpe mit Wasserkühlung betrieben wird, warten Sie, bis die Pumpe vollkommen zum Stillstand gekommen ist, und drehen Sie danach die Kühlwasserzufuhr ab. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 28: Sicherheitsverriegelungen Und Steuersystem
Wenn die Pumpe EXT556H (und das Vakuumsystem) beheizt wird, beschleunigt dies den Entgasungsprozess, sodass die Pumpe das Endvakuum in kürzestmöglicher Zeit erreicht. Durch das Beheizen der Pumpe wird auch verhindert, dass Dämpfe im Innern der Pumpe kondensieren. Verwenden Sie zum Beheizen der Pumpe die Edwards BX-Heizmanschette (siehe Abschnitt 7). Bringen Sie die Manschette direkt unter dem Hochvakuumflansch um die Pumpe herum an. -
Seite 29: Wartung
Normalerweise sind dies mehr als 20.000 Stunden, es kann jedoch auch weniger sein; dies hängt von der Art der Pumpaufgabe ab, für die die Pumpe eingesetzt wird. Wenn die Lager ersetzt werden müssen, empfiehlt Edwards, die Pumpe gegen ein im Werk vorbereitetes und eingestelltes Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum einschicken, um die Lager ersetzen zu lassen. -
Seite 30: Reinigen Der Pumpe
Gehen Sie dabei so vor, wie am Ende dieser Anleitung beschrieben. Zur Reinigung der Außenflächen der Pumpe kann jedes organische Lösungsmittel verwendet werden. Edwards empfiehlt die Verwendung FCKW-freier Lösungsmittel, z. B. Isopropanol oder Ethanol. Verwenden Sie eine für die Verunreinigungen auf den Pumpenoberflächen geeignete Reinigungslösung. - Seite 31 (Hinweise hierzu finden Sie in der Betriebsanleitung zum EXC Controller). Wenn der EXC-Controller weiterhin „Fail“ (Fehler) anzeigt, wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 32 Überprüfen Sie die Pumpe auf Lecks. Wenn die Leckrate > 10 mbar l s Pa l s ) ist, wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Seite 26 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 33 Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Keines der obigen Symptome. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 34 B777-50-882 Issue D Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 28 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 35: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Die Pumpe enthält Phenol- und Fluorsilicat-haltige Materialien, die sich bei hohen Temperaturen in sehr gefährliche Stoffe zersetzen können. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 36 B777-50-882 Issue D Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 30 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 37: Service, Ersatzteile Und Zubehör
Anlagen und Geräte, an denen Service-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Servicezentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards zum Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur der Anlage bereitstellen. Bitte sorgen Sie dafür, dass alle Zubehörteile (z.B. Wasser-/Luftkühler) abgebaut sind, bevor Sie die Pumpe zum Kundendienst einschicken. -
Seite 38: Hv-Flansch-Dichtungen
Zubehör an der EXT-Pumpe montiert wird. 7.4.2 EXC-Controller Die Edwards EXC-Controller stellen die Funktionen bereit, die für den Betrieb eines Pumpsystems basierend auf einer EXT556H-Pumpe benötigt werden. Die Bestellnummern für die EXC-Controller sind in Tabelle 11 angegeben. -
Seite 39: Installation Von Sonderzubehör Und Ersatzteilen Der Ext556H
13. Verschluss-Stopfen am Spülanschluss (montiert) 6. TAV-Belüftungsventil (Magnetventil) 14. DN10KF-Adapter 7. DN10KF-Adapter 15. PRX-Spülgas-Drosselventil 8. Manuelles Belüftungsventil (montiert) 16. Heizmanschettenposition 9. VRX-Belüftungsdrossel 17. ACX-Luftkühlerbaugruppe © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 40: Bx-Heizmanschette (Nur Mir Conflat-Flansch)
5, um die Eignung der Luftkühlung für eine bestimmte Anwendung zu überprüfen. Tabelle 17 - ACX-Luftkühler Pumpe Luftkühler Bestellnummer EXT556H/HF ACX555 B580-53-561 Seite 34 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 41: Wcx-Wasserkühler
Weitere Informationen zur Auswahl der korrekten VRX-Belüftungsdrossel finden Sie in Abschnitt 3.4. Tabelle 21 - VRX-Belüftungsdrossel Belüftungsdrossel Bohrungsdurchmesser (mm) Bestellnummer VRX10 B580-66-021 VRX20 B580-66-022 VRX30 B580-66-023 VRX50 B580-66-024 VRX70 B580-66-025 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 42 B777-50-882 Issue D Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 36 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.