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B722-40-882 Issue E
Parameter
Kompressionsverhältnis am
HV-Anschluss
N
2
He
H
2
Saugvermögen am Zwischenstufen-
Anschluss, für DX-Pumpen mit
Zwischenstufe mit N
2
Durchsatz von 70 sccm durch den
Zwischenstufen-Anschluss
Durchsatz von 5 sccm durch den
Zwischenstufen-Anschluss
Saugvermögen am Zwischenstufen-
Anschluss, für
N
2
He
Endvakuum:
mit Drehschieberpumpe als
†
Vorvakuumpumpe:
mit Membranpumpe als
‡
Vorvakuumpumpe:
*
Saugleistungen ohne Ansaugsieb oder Ansaugfilter. Ansaugsiebe und Ansaugfilter reduzieren die Leistung
um ca. 10 %.
†
Endvakuum 48 Stunden nach dem Ausheizen mit 2-stufiger Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe
‡
Endvakuum 48 Stunden nach dem Ausheizen mit P
Parameter
Kritischer Vorvakuumdruck
N
2
He
H
2
Min. Vorvakuumpumpleistung
Maximaler Dauer-Vorvakuumdruck
(bei Enddruck am Einlass)
Stickstoff:
Wasserkühlung (40 °C Umgebung)
Druckluftkühlung (35 °C Umgebungstemperatur)
Natürliche Konvektionskühlung (30 °C
Umgebungstemperatur)
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Tabelle 4 – Technische Daten – DX-Pumpen (Fortsetzung)
EXT255DX ISO100
>1 x 10
5
4 x 10
4
1 x 10
-
-
-
-
-9
<5 x 10
mbar
(DN100ISO-K
Einlassflansch)
-8
<5 x 10
mbar
(DN100ISO-K
Einlassflansch)
b
Tabelle 5 – Technische Daten – DX-Pumpen
*
†
‡
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
EXT255iDX ISO100
8
>1 x 10
5
3 x 10
4
1 x 10
-
-
-1
10 l s
-1
8 l s
-9
<5 x 10
mbar
(DN100ISO-K
Einlassflansch)
-8
<5 x 10
mbar
(DN100ISO-K
Einlassflansch)
< 5 mbar (500 Pa).
EXT75DX
8 mbar
6,5 mbar
2,5 mbar
3
-1
0,6 m
h
4 mbar
5 mbar
2 mbar
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
EXT255DX
DN100CF
8
>1 x 10
5
4 x 10
4
1 x 10
-
-
-
-
-10
<5 x 10
mbar
(DN100CF
Einlassflansch)
-9
<5 x 10
mbar
(DN100CF
Einlassflansch)
EXT255DX
12 mbar
9 mbar
2,5 mbar
3
-1
0,6 m
h
7 mbar
5 mbar
2 mbar
8
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