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Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung
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Edwards EXT200/EXT200H Betriebsanleitung

Split flow compound-turbomolekularpumpen
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EXT Split Flow Compound-Turbomolekularpumpen
Beschreibung
24 Volt EXT Compound-Turbomolekularpumpen
EXT200/200H
EXT200/200Hi
EXT70/200H
EXT200/200H
EXT200/200H GCMS (umgekehrtes Gehäuse)
EXT200/200H LCMS (umgekehrtes Gehäuse)
24 Volt EXT-System (umfasst Compound-Turbomolekularpumpe und EXDC160):
EXT200/200H
EXT200/200Hi
EXT70/200H
EXT200/200H ICPMS
EXT200/200H GCMS
EXT200/200H GCMS (umgekehrtes Gehäuse)
EXT200/200H LCMS (umgekehrtes Gehäuse)
Betriebsanleitung
B756-01-882
Issue K
Bestellnummer
B756-01-991
B756-02-991
B756-03-991
B756-24-991
B756-41-991
B756-43-991
B756-21-991
B756-22-991
B756-23-991
B756-30-991
B756-40-991
B756-42-991
B756-44-991

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Verwandte Anleitungen für Edwards EXT200/EXT200H

Inhaltszusammenfassung für Edwards EXT200/EXT200H

  • Seite 1 B756-01-882 Issue K Betriebsanleitung EXT Split Flow Compound-Turbomolekularpumpen Beschreibung Bestellnummer 24 Volt EXT Compound-Turbomolekularpumpen EXT200/200H B756-01-991 EXT200/200Hi B756-02-991 EXT70/200H B756-03-991 EXT200/200H B756-24-991 EXT200/200H GCMS (umgekehrtes Gehäuse) B756-41-991 EXT200/200H LCMS (umgekehrtes Gehäuse) B756-43-991 24 Volt EXT-System (umfasst Compound-Turbomolekularpumpe und EXDC160): EXT200/200H B756-21-991 EXT200/200Hi B756-22-991...

  • Seite 2: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Wir, Edwards Limited, Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte,...

  • Seite 3: Einbauerklärung

    Maschine machbar war. Die relevante technische Dokumentation wurde gemäß Anlage VII, Teil B erstellt. Als Antwort auf eine begründete Anfrage von nationalen Behörden wird Edwards Ltd die relevanten Informationen zu der teilmontierten Maschine per E-Mail übermitteln.
  • Seite 4 Diese Seite bleibt absichtlich frei.

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Fehlersuche ......................24 Lagerung und Entsorgung ..............29 Lagerung ......................... 29 Entsorgung ....................... 29 Service, Ersatzteile und Zubehör ............. 31 Einführung ....................... 31 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 6 HV-Flansch-Dichtungen ....................32 EXDC-Antriebsmodule ....................32 EXC-Controller ......................32 Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller ..............33 EXT-Wasserkühlblock ....................33 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter ............33 ACX-Luftkühler ......................33 VRX-Belüftungsdrossel ....................34 Seite ii © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 7: Einführung

    Anleitung vor Aufstellung und Inbetriebnahme der Pumpe aufmerksam durch. Die EXT Split Flow-Pumpen sind zum Betrieb mit einem Edwards EXDC- oder EXC-Controller ausgelegt. Lesen Sie die zusammen mit dem Controller gelieferte Betriebsanleitung, bevor Sie versuchen, das Gerät zu installieren oder in Betrieb zu nehmen.
  • Seite 8 B756-01-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 2 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 9: Technische Daten

    Prozessgase nicht in die Atmosphäre entweichen und dort zu gefährlichen Situationen führen können. WARNUNG Gase, die von anderen Einlässen gepumpt werden, können sich verbinden und so gefährliche Mischungen bilden. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 10: Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung

    Maximaler Belüftungsgasdruck < 0,5 bar Überdruck (7 psig, 0,5 x 10 Pa Überdruck)* * Wenden Sie sich bei Druckwerten oberhalb dieser Grenze an Edwards. Seite 4 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 11: Wasserkühlung

    15 l h Wassertemperatur Siehe Tabelle 4 Maximaler Wasserdruck 5 bar (Überdruck), 73,5 psig, 6 x 10 Kühlwasser ausgesetzte Materialien Vernickeltes Messing © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 12: Technische Daten

    1,5 x 10 2,5 x 10 2 x 10 2 x 10 3,3 x 10 6 x 10 1,7 x 10 7 x 10 Seite 6 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 13 ±2 ° Nenndrehzahl 60000 U/Min 60000 U/Min 60000 U/Min 60000 U/Min Standby-Drehzahl 42000 U/Min 42000 U/Min 42000 U/Min 42000 U/Min Nur EXC-Controller © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 14 Oberhalb dieses Drucks fällt die Drehzahl unter die Nenndrehzahl ab. ‡‡‡ Für den maximalen Durchsatz ist unter Umständen eine größere Vorvakuumpumpe erforderlich. Seite 8 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 15: Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien

    Abbildung 1 - Abmessungen des EXT 200/200H-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm) 1. TAV5-Belüftungsventil 4. Haupteinlass 2. 8 Schlitze mit einer Breite 5. EXDC-Controller von 8,4 mm 6. Vorvakuumanschluss 3. Seiteneinlass © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 16: Abmessungen Des Ext 200/200H Gcms-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten In Mm)

    Abbildung 2 - Abmessungen des EXT 200/200H GCMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm) 1. 8 Schlitze mit einer Breite 4. TAV5-Belüftungsventil von 8,4 mm 5. Haupteinlass 2. EXDC-Controller 6. Seiteneinlass 3. Vorvakuumanschluss Seite 10 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 17: Abmessungen Des Ext 200/200H Icpms-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten In Mm)

    Abbildung 3 - Abmessungen des EXT 200/200H ICPMS-Split-Flow-Pumpensystems (Einheiten in mm) 1. 8 Schlitze mit einer Breite 4. Belüftungsanschluss von 8,4 mm 5. Haupteinlass 2. Controlleranschluss 6. Seiteneinlass 3. Vorvakuumanschluss © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 18: Abmessungen Des Ext200/200H Gcms/Lcms (Umgekehrtes Gehäuse)

    Abbildung 4 - Abmessungen des EXT200/200H GCMS/LCMS (umgekehrtes Gehäuse) 1. Verlängerter 4. 8 Schlitze mit einer Breite Belüftungsanschluss-Adapter von 8,4 mm 2. Vorvakuumanschluss 5. Haupteinlass 3. EXDC-Controller 6. Seiteneinlass Seite 12 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 19: Installation

    Entsorgen Sie die Verpackungsmaterialien nicht und bewahren Sie sie auf, um die Pumpe bei einer Rücksendung bei eventuellem Servicebedarf zu verpacken. Typische Installation VORSICHT Bei der Installation der Pumpe müssen alle vor Ort gültigen Umweltschutzbestimmungen beachtet werden. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 20: Anschluss An Das Vakuumsystem

    Installieren Sie die Pumpe im Vakuumsystem, bevor Sie den Controller an die Stromversorgung anschließen. Damit wird sichergestellt, dass die Pumpe während der Installation nicht in Betrieb gehen und Personen verletzen kann. Seite 14 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 21: Mechanische Befestigung

    Pumpe verursachen, die zu Verletzungen von Personen und Schäden an der Anlage führen kann. Für in der Herstellererklärung aufgeführte Varianten siehe die Kundenanleitung zur mechanischen Befestigung. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 22: Ansaugsiebe (Montiert Geliefert) Oder Integraler Maschen-Zentrierring (Separat Von Der Pumpe Geliefert)

    Abbildung 6 dargestellt wieder ein, mit dem Edwards-Logo nach oben. Stellen Sie sicher, dass die Wülste auf dem Siebrand in die Nut am Pumpenflansch eingreifen. Falls notwendig, die Fahnen des Filters sanft nach außen biegen, um einen guten Sitz zu gewährleisten.

  • Seite 23: Vorvakuumanschluss

    B756-01-882 Issue K Bei den Einlassanschlüssen der EXT Split Flow-Pumpe handelt es sich um ISO-Flansche. Verwenden Sie den zum Lieferumfang der Pumpe gehörenden Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring und mindestens vier Befestigungsschrauben, um den Hochvakuumflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden.

  • Seite 24: Zwischenstufen-Anschluss (Nur Hi-Pumpenvarianten)

    Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung Um das Vakuumsystem rein zu halten, empfiehlt Edwards, bei jedem Abschalten der Pumpe die Pumpe selbst (oder das Vakuumsystem) zu belüften, wenn sich die Drehzahl der EXT Split Flow-Pumpe zwischen der vollen Drehzahl und 50 % der vollen Drehzahl bewegt.

  • Seite 25: Elektroinstallation

    Der EXC-Controller ist so ausgelegt, dass das Pumpsystem auf vielfältige Weise konfiguriert werden kann, von einem einfachen, manuell betätigten System bis zu einem vollautomatischen System mit Fernsteuerung. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 26: Kühlung

    Kühlwasserzyklus bei Wartungsmaßnahmen unterbrochen wird. Stellen Sie sicher, dass eine Schicht Thermokontaktfett auf dem Wasserkühler vorhanden ist, bevor Sie ihn wieder an die Pumpe montieren. Seite 20 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 27: Betrieb

    Ziehen Sie das EXDC/EXC-Controller-Kabel erst dann von der Pumpe ab, wenn sich die Pumpe vollkommen in Ruhe befindet. Andernfalls bestehen gefährliche Spannungen für das Personal und das potentielle Risiko, den EXDC/EXC-Controller zu beschädigen. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 28: Sicherheitsverriegelungen Und Steuersystem

    Wenn die Pumpe heiß ist, lassen Sie sie vor einem erneuten Start ausreichend abkühlen. Hinweis: Alle Verweise auf LEDs und Tasten beziehen sich nicht auf die OEM-Versionen des EXC-Controllers, d. h. EXC100L oder EXC100. Seite 22 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 29: Wartung

    Ersatzgerät auszutauschen. Als Alternative können Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum schicken, um die Lager austauschen zu lassen. Wenn Sie die Pumpe an ein Edwards-Kundendienstzentrum einschicken müssen, halten Sie sich an das am Ende dieser Anleitung beschriebene Verfahren. Die Anweisung zum Ablassen aller Flüssigkeiten gilt jedoch nicht für den Schmierstoff in den Ölbehältern der Pumpe.

  • Seite 30: Reinigen Der Pumpe

    Wenn die EXT Split Flow-Pumpe im Innern verunreinigt ist, kann das angegebene Endvakuum möglicherweise nicht erreicht werden oder die Abpumpzeiten verlängern sich. Unter diesen Umständen sollte die Pumpe an ein Edwards- Kundendienstzentrum zurückgeschickt werden, wo sie zerlegt und gereinigt wird. Befolgen Sie die Anweisungen in den Formularen am Ende dieser Betriebsanleitung, wenn Sie die Pumpe zurückschicken.

  • Seite 31: Bohrungsdurchmesser Der Belüftungsdrossel (Mit Atmosphärendruck Am Einlass Des Belüftungsventils) 18 7 Fehlersuche

    Stellen Sie sicher, dass sich die (Fehler) an – bei jeder Drehzahl. korrekt verbunden? Systemverriegelungen nicht öffnen, nachdem die EXT Split Flow-Pumpe angelaufen ist. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 32 Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Der EXC-Controller zeigt „Fail“ Wenden Sie sich an Edwards oder (Fehler) an – alle Drehzahl-LEDs Ihren Lieferanten. leuchten. Seite 26 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 33 Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. Keines der obigen Symptome. Wenden Sie sich an Edwards oder Ihren Lieferanten. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 34 B756-01-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 28 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 35: Lagerung Und Entsorgung

    Entsorgen Sie die Pumpe nicht durch Verbrennen. Die Pumpe enthält Phenol- und Fluorsilicat-haltige Materialien, die sich bei hohen Temperaturen in sehr gefährliche Stoffe zersetzen können. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 36 B756-01-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 30 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 37: Service, Ersatzteile Und Zubehör

    Anlagen und Geräte, an denen Service-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Die Kundendienstzentren vor Ort können auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur von Anlagen bereitstellen. Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.

  • Seite 38: Ansaugfilter (Nur Pumpen Mit Zwischenstufe)

    Pumpensystem wird ursprünglich mit D396-46-510 geliefert (unverpackt) 7.4.3 EXC-Controller Die Edwards EXC-Controller stellen die Funktionen bereit, die für den Betrieb eines Pumpsystems basierend auf einer EXT70/200H, EXT70/200Hi, EXT200/200H oder EXT200/200Hi Split Flow-Pumpe benötigt werden. Die Bestellnummern für die EXC-Controller werden nachfolgend angegeben.

  • Seite 39: Verbindungskabel Zwischen Pumpe Und Controller

    Die EXT Split Flow-Pumpe kann mit einem ACX-Luftkühler ausgestattet werden. Beachten Sie jedoch Abschnitt 2, um die Eignung der Luftkühlung für eine bestimmte Anwendung zu überprüfen. Tabelle 16 - ACX-Luftkühler Luftkühler Bestellnummer ACX250H B580-53-160 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 40: Vrx-Belüftungsdrossel

    VRX50 0,5 mm B580-66-024 VRX70 0,7 mm B580-66-025 Abbildung 8 - Optionale Zubehörteile installieren 3. TAV-Belüftungsventil 1. ACX-Kühlungsventilator 4. EXDC-Controller 2. WCX-Wasserkühler Seite 34 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

Diese Anleitung auch für:

Ext-serieExt200/ext200hiExt200/ext200h icpmsExt70/ext200hExt200/ext200h gcms

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