Belüftungsgas-Spezifikationen Und Daten Zur Belüftungsregelung; Maximal Zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften: Druck Über Der Zeit (Pumpe Läuft Anfangs Mit Voller Drehzahl) - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
2.3 Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur
Belüftungsregelung
Die Pumpe kann zwar in die Atmosphäre entlüftet werden, eine hohe relative Luftfeuchtigkeit kann jedoch die
nachfolgende Abpumpzeit deutlich erhöhen. Um die Abpumpzeiten zu verringern, sollten Sie die Pumpe mit
trockenen, sauberen Gasen belüften. Eine Beschreibung der Entlüftungsoptionen finden Sie in
Anweisungen zum Konfigurieren der Entlüftungsoptionen in
Tabelle 6 – Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur
Belüftungsregelung
Belüftungsgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Empfohlene Zeit, bis Drehzahl von 50 % erreicht ist
Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit
Abbildung 3 – Maximal zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit beim Belüften: Druck über der Zeit
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Abschnitt
Referenzwerte
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder andere Inertgase
-22 °C
1 μm
0,1 ppm
>15 Sekunden
Siehe
(Pumpe läuft anfangs mit voller Drehzahl)
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
4.1.3.
Abbildung 3
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Abschnitt 3.8 und