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Edwards E1M18 Betriebsanleitung

Edwards E1M18 Betriebsanleitung

Drehschieberpumpen
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Drehschieberpumpen E1M18
und E2M18
BETRIEBSANLEITUNG
edwardsvacuum.com
A34310882_T
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Edwards E1M18

  • Seite 1 Drehschieberpumpen E1M18 und E2M18 BETRIEBSANLEITUNG edwardsvacuum.com A34310882_T Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
  • Seite 2: Markenrecht

    A24801880 Ölnebelfilter EMF3, EMF10 und EMF20 A46226880 Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne Vorankündigung vorgenommen werden. Wir übernehmen keine Haftung für etwaige Fehler in dieser Betriebsanleitung und geben weder ausdrückliche noch...
  • Seite 3 E1M18, 220-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, einphasig A34315903 E1M18, 200-230/380-460 V, 50/60 Hz, dreiphasig A34310940 E1M18, 220-240 V, 50 Hz oder 230-240 V, 60 Hz, einphasig (Amphenol) A34316903 E1M18, 110/200-240 V, 50 Hz oder 115-120/200-230 V, 60 Hz, einphasig A34317984...
  • Seite 4: Ce-Konformitätserklärung

    Das folgende Produkt AXXX - Pumpentyp Variante Beschreibung des Motors 343 = E1M18 01 bis 99 903 = 220 V/240 V 50/60 Hz einphasig 363 = E2M18 904 = 100 V/200 V 50/60 Hz einphasig 930 = 220 V/240 V 50/60 Hz einphasig...
  • Seite 5 Dokumentationsbeauftragte Jelena Havelkova, Spielberk Office Centre, Holandska 10, Brünn, 63900 Tschechische Republik, : +42(0) 734 418 896, : documentation@edwardsvacuum.com Diese auf den Anforderungen der aufgelisteten Richtlinien und EN ISO/IEC 17050-1 basierende Erklärung gilt für alle Produkt-Seriennummern ab diesem Datum: 21. Mai 2020. Petr Smerek –...
  • Seite 6: Zusätzliche Angaben Zu Rechtsvorschriften Und Konformität

    Zusätzliche Angaben zu Rechtsvorschriften und Konformität EU RoHS-Richtlinie: Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmen gemäß Anhang III • 6(b) Blei als Legierungselement in Aluminium mit einem Massenanteil von höchstens 0,4 % • 6(c) Kupferlegierung mit einem Massenanteil von höchstens 4 % Blei Konformität mit der EU-REACH-Verordnung Bei diesem Produkt handelt es sich um einen komplexen Artikel, der nicht für eine absichtliche Stofffreisetzung konstruiert ist.
  • Seite 7: Inhaltsverzeichnis

    5.1.2 Gasspülungen..........34 A34310882_T Seite 4 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 8 10.2.5 Auslass-Ölnebelfilter........52 10.2.6 Elektromagnetisches Leitungsventil......52 A34310882_T Seite 5 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 9 12. Kundendienst......... . . 56 12.1 Rücksendung von Ausrüstung oder Bauteilen an den Kundendienst ..56 A34310882_T Seite 6 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 10: Liste Der Abbildungen

    Abbildung 13: Zubehör............51 A34310882_T Seite 7 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 11: Sicherheit Und Compliance

    Missachtung zu Schäden an der Pumpe oder an der Anlage führt. Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich. Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren. A34310882_T Seite 8 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 12: Gefahrensymbole

    Folgende Warnschilder können an der Pumpe angebracht sein und werden in der gesamten Produktdokumentation verwendet: Warnung – siehe beigefügte Dokumentation. Warnung – Stromschlaggefahr. Warnung – heiße Oberflächen. Warnung: Blockieren Sie den Pumpenauslass nicht. Warnung – Schutzausrüstung verwenden. Zeigt an, dass Schutzausrüstung verwendet werden muss. A34310882_T Seite 9 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 13: Einführung

    Es darf keine Luft in das System eindringen. ▪ Das System muss dicht sein. Wenn Sie weitere Angaben wünschen, setzen Sie sich bitte mit uns in Verbindung. Die Adresse unseres Unternehmens in Ihrer Nähe finden Sie auf unserer Website www.edwardsvacuum.com. A34310882_T Seite 10 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 14: Beschreibung

    Beschreibungen. Die Pumpen E1M18 und E2M18 sind zweistufige Drehschieberpumpen mit Direktantrieb. Die E1M18 ist eine einstufige und die E2M18 ist eine zweistufige Pumpe. Die Pumpe ist ölgedichtet und für einen zuverlässigen Dauerbetrieb sowohl in Labor- als auch industriellen Umgebungen ausgelegt. Die Pumpe ist als Standgerät konzipiert. Der Antrieb erfolgt über eine flexible Kupplung durch einen einphasigen oder dreiphasigen...
  • Seite 15: Gasballast

    Kabelverschraubung-/Amphenol-Verbinder und Ein-/Aus-Schalter vertauscht, wobei die Position von Kabelverschraubung-/Amphenol-Verbinder eine IEC60320 16-20-A-Buchse ist. 2.4 Gasballast Wenn die Pumpe mit hohem Dampfdurchsatz betrieben wird, muss die Gasballastvorrichtung verwendet werden, um die Kondensierung der Dämpfe in der A34310882_T Seite 12 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 16 Gasballast in die Pumpe. Die zusätzliche Ölzufuhr verbessert die Schmierung und Versiegelung des Pumpenmechanismus. ▪ Bei weiteren Drehungen des Gasballast-Steuerventils wird der Gasballastdurchsatz in die Pumpe von Null auf erhöht, bis das Ventil vollständig geöffnet ist. A34310882_T Seite 13 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 17: Technische Daten

    Maximale Verdrängung Stromversorgung 50 Hz 20,5 m 20,5 m Stromversorgung 60 Hz 25,0 m 25,0 m Maximales Saugvermögen - Pneurop Stromversorgung 50 Hz 17,0 m 17,0 m Stromversorgung 60 Hz 20,4 m 20,4 m A34310882_T Seite 14 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 18: Mechanische Daten

    1,5 bar absolut 1,5 bar absolut (für vollen Pumpendurchsatz) 1,5 x 10 1,5 x 10 3.3 Mechanische Daten Tabelle 3 Mechanische Daten Ungefähres Gewicht der 38 kg (E1M18), 41 kg (E2M18) Pumpe Abmessungen Siehe Abbildung: Abmessungen (mm) Schutzart Einphasige Motoren IP44...
  • Seite 19: Abbildung 2 Einphasige Motoren: Abmessungen Mm (Zoll)

    A34310882_T - Technische Daten Abbildung 2 Einphasige Motoren: Abmessungen mm (Zoll) 12 (0.72) 234 (9.21) - E1M18 282 (11.10) - E2M18 10 (0.39) 260 (10.24) 75 (2.95) 172 (6.77) 83 (3.27) - E1M18 131 (5.16) - E2M18 159 (6.26) - E1M18 207 (8.15) - E2M18...
  • Seite 20: Daten Zur Schmierung

    A34310882_T - Technische Daten Abbildung 3 Dreiphasige Motoren: Abmessungen mm (Zoll) 162 (6.38) 75 (2.95) 172 (6.77) 159 (6.26) - E1M18 207 (8.15) - E2M18 27 (1.06) Abmessungen (mm) Pumpen-Bestellnummer Dreiphasige Motoren A34310940 50/60 A36310940 50/60 3.4 Daten zur Schmierung Hinweis: Materialsicherheitsdatenblätter für die in den nachfolgenden Abschnitten empfohlenen...
  • Seite 21: Elektrische Daten

    Tabelle 6 Elektrische Daten: einphasige Motoren Spannung Frequenz Pumpen-Bestellnummer Volllaststrom (A) (Hz) A36315903, A34316903, 220 - 240 A34315903 230 - 240 A34315981, A36315981 11.0 A34315904, A36315904 12.0 100 - 105 11.0 200 - 210 A34310882_T Page 18 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 22 Gerätekupplung = IEC 60320 Art C19 Kabelsatz, Kabelart = SJT, 3 x 14 AWG, 300 V, USA/Kanada 90 °C, VW-1 Länge: max. 3,0 m k. A. (200-230 V) Steckerart = NEMA, 6-15P Gerätekupplung = IEC 60320 Art C19 A34310882_T Page 19 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 23: Installation

    Wenn Sie nicht sicher sind, ob die Pumpe für die Anwendung geeignet ist, lesen Sie unsere Richtlinien über die Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen (siehe auch „Weiterführende Publikationen“ am Ende des Inhaltsverzeichnisses der vorliegenden Betriebsanleitung) oder wenden Sie sich an uns, um sich beraten zu lassen. A34310882_T Seite 20 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 24: Systemaufbau

    Schutzabdeckungen wieder auf. Lagern Sie die Pumpe in geeigneten, unter Lagerung seite 47 beschriebenen Bedingungen. Tabelle 9 Checkliste der einzelnen Artikel Menge Beschreibung Prüfung ( ü ) Drehschieberpumpe E1M18 oder E2M18 Anschlusspaket mit folgendem Inhalt: DN25KF -Zentrierring O-Ring für Zentrierring A34310882_T Page 21 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 25: Aufstellen Der Pumpe

    MAX-Markierung befindet, füllen Sie weiteres Öl in die Pumpe. Setzen Sie den Öleinfüllstopfen wieder ein. Ziehen Sie die Schraube per Hand fest an. Ziehen Sie sie nicht zu fest an. A34310882_T Page 22 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 26: Elektroinstallation: Einphasige Motoren

    50 Hz, 100-105 V 60 Hz und 115 V 60 Hz 100 - 105 A34315904, A36315904 Abbildung: Einphasige Motoren: 200 V 50 Hz, 200-210 V 60 Hz und 230 V 60 Hz 200 - 210 A34310882_T Page 23 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 27: Einphasige Standardmotoren

    Prüfen Sie, ob die Kabelverbindungen korrekt sind, und setzen Sie dann die Abdeckung wieder auf den Anschlusskasten des Motors. 4.6.2 Einphasige Motoren, Amphenol-Version Achten Sie bei der Auswahl des Gegenstücks der Amphenol-Verbindung darauf, dass sie kompatibel ist. A34310882_T Page 24 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 28: Abbildung 4 Einphasige Motoren: 220-240 V 50 Hz Und 230-240 V 60 Hz

    Setzen Sie die Abdeckung des Anschlusskastens wieder auf und sichern Sie sie mit den drei Schrauben. Achten Sie bei der Auswahl des Gegenstücks des Anschlusses auf Kompatibilität (IEC 60320 C19, Buchse). Abbildung 4 Einphasige Motoren: 220-240 V 50 Hz und 230-240 V 60 Hz A34310882_T Page 25 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 29: Abbildung 6 Einphasige Motoren: 200 V 50 Hz, 200-210 V 60 Hz Und 230 V 60 Hz

    Farbcodierung der Kabel: Braun Violett Grau Weiß Orange Abbildung 6 Einphasige Motoren: 200 V 50 Hz, 200-210 V 60 Hz und 230 V 60 Hz Farbcodierung der Kabel: Braun Violett Grau Weiß Orange A34310882_T Page 26 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 30: Abbildung 7: Einphasige Motoren Mit Amphenol-Anschluss: 220-240 V 50 Hz Und 230-240

    A34310882_T - Installation Abbildung 7 Einphasige Motoren mit Amphenol-Anschluss: 220-240 V 50 Hz und 230-240 V 60 Hz Pincodes: Stromführend Neutral Nicht verwendet Erdleiter (Masse) A34310882_T Page 27 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 31: Elektroinstallation: Dreiphasige Motoren

    Sie sicher, dass der Motor korrekt für die Versorgungsspannung und Frequenz der Stromversorgung konfiguriert ist. Andernfalls könnte der Motor beschädigt werden. Hinweis: Die Pumpe wird automatisch neu gestartet, wenn die Stromversorgung nach einer Unterbrechung wiederhergestellt wird. Wenn die Pumpe nicht automatisch gestartet A34310882_T Page 28 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 32: Überprüfung Der Drehrichtung

    Pumpe und Ihr Vakuumsystem mit Druck beaufschlagt werden. Wenn der Pumpeneinlass noch nicht angeschlossen ist, beobachten Sie den Motorkühllüfter durch die Motorlüfterabdeckung. Schalten Sie die Stromzufuhr zum Motor für einige Sekunden ein und dann wieder aus. A34310882_T Page 29 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 33: Anschluss Des Pumpeneinlasses

    ▪ Entfernen Sie den DN25KF-Flansch und stellen Sie die Verbindung zur 1-Zoll-BSP- Gewindebohrung her. ▪ Verwenden Sie den Bohrrohradapter DN25KF auf 28 mm (als optionales Zubehör erhältlich), siehe Pumpeneinlassadapter Vakuumanschluss-Adapter auf seite 53. A34310882_T Page 30 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 34: Anschluss Des Pumpenauslasses

    Unter den folgenden Umständen empfiehlt wir das Anbringen eines Ölnebelfilters am Pumpenauslass: ▪ Wenn die Pumpe mit offenem Gasballast-Steuerventil verwendet wird. ▪ Wenn die Pumpe längere Zeit mit einem Einlassdruck von mehr als 10 mbar betrieben wird. A34310882_T Page 31 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 35: Gasballast-Einlassanschluss

    Schließen Sie die Gaszufuhr oder das Ventil an die 1/4-Zoll-BSP-Gewindebohrung 4.11 System auf Dichtigkeit prüfen Führen Sie nach der Installation der Pumpe einen Lecktest durch, um das Entweichen von Substanzen aus dem System und das Eindringen von Luft ins System zu verhindern. A34310882_T Page 32 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 36: Bedienung

    Es darf keine Luft in das System eindringen. ▪ Das System muss dicht sein. ▪ Verwenden Sie Spülungen mit Inertgas (zum Beispiel eine Stickstoffspülung), um zündfähige Gase oder Dämpfe zu verdünnen, die über den Pumpeneinlass in die A34310882_T Seite 33 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 37: Gasspülungen

    Wert sinken, muss die Zufuhr des zündfähigen Gas- oder Dampfstroms zur Pumpe gestoppt werden. Hinweis: Wir empfehlen hierzu das Handbuch „Vacuum Pump and Vacuum System Safety“ (Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen) (Publikationsnummer P40040100), das bei uns oder beim Lieferanten erhältlich ist. A34310882_T Seite 34 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 38: Gasballast-Steuerventil

    Ist dies nicht der Fall, betreiben Sie die Pumpe, indem Sie den Einlass etwa 30 Sekunden lang zur Atmosphäre geöffnet halten. Isolieren Sie dann den Einlass und prüfen Sie, ob der Ölstand um 3 bis 5 mm fällt. A34310882_T Seite 35 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 39: Erzielen Des Endvakuums

    Öffnen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems und betreiben Sie die Pumpe mit geöffnetem Steuerventil weiter. Dekontaminieren Sie nach dem Pumpen kondensierbarer Dämpfe bei Bedarf das Öl, verwenden Sie das in Dekontaminieren des Öls Dekontamination des Öls auf seite 37 angegebene Verfahren an. A34310882_T Seite 36 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 40: Dekontamination Des Öls

    Dekontamination des Öls auf seite 37 und dekontaminieren Sie das Öl, falls erforderlich. Schließen Sie das Absperrventil des Vakuumsystems (falls nicht bereits geschlossen). Schließen Sie den Gasballast (drehen Sie das Gasballast-Steuerventil entgegen dem Uhrzeigersinn). A34310882_T Seite 37 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 41 A34310882_T - Bedienung Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe aus. A34310882_T Seite 38 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 42: Wartung

    Auslassverbindungen angeschlossen oder getrennt haben, eine Dichtigkeitsprüfung durch. Beseitigen Sie alle festgestellten Undichtigkeiten. ▪ Berühren Sie keine thermischen Zersetzungsprodukte fluorierter Stoffe und atmen Sie diese auch nicht ein. Solche Zersetzungsprodukte entstehen u. U. dann, wenn A34310882_T Seite 39 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 43: Wartungsplan

    Testen des Motors auf seite Testen des Zustands des Motors Alle 15.000 Betriebsstunden Austausch des Laufkondensators und Testen des Motors auf seite Anbringen neuer Schieber Alle 30.000 Betriebsstunden Anbringen neuer Schieber auf sei- te 44 A34310882_T Page 40 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 44: Ölstand Prüfen

    Bringen Sie den Ölablasshahn wieder an, entfernen Sie den Block und schließen Sie die Pumpe wieder ans Vakuumsystem an. Befüllen Sie einen geeigneten Behälter mit sauberem Öl und geben Sie Öl in die Befüllungsöffnung, bis der Ölstand die MAX-Markierung auf dem Frontrahmen des Ölschauglases erreicht. A34310882_T Page 41 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 45: Inspektion Und Reinigung Des Ansaugfilters

    6.6 Reinigen des Gasballastfilters Hinweis: Der Gasballastfilter wurde möglicherweise entfernt, um eine Gaszufuhr oder ein Ventil an den Gasballasteinlass anzuschließen. Siehe Abbildung: Entfernen/Austausch des Gasballastfilters. Entfernen Sie den Halte-Sprengring. Entfernen Sie das Schutzdrahtgeflecht und die Filterelemente. A34310882_T Page 42 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 46: Reinigen Der Abdeckung Und Des Gehäuses Des Motorlüfters

    Überprüfung von elektrischen Anlagen. Wir empfehlen Folgendes: Die Durchgängigkeit der Erdverbindung liegt unter 0,1 W. ▪ ▪ Der Isolationswiderstand ist größer als 10 MW. Wenn der Motor diese Tests nicht besteht, muss er ausgetauscht werden. A34310882_T Page 43 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 47: Anbringen Neuer Schieber

    A34310882_T - Wartung 6.10 Anbringen neuer Schieber Bringen Sie neue Schieber wie in den Anweisungen zum Schieber-Kit beschrieben an der Pumpe an (siehe Ersatzteile und Zubehör auf seite 49). A34310882_T Page 44 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 48: Fehlersuche

    Die Abdeckung des Motorlüfters ist beschädigt. ▪ Kupplung und Lüftersatz sind schlecht reguliert. ▪ Die Motorkupplung ist locker. ▪ Die Motorlager sind abgenutzt. ▪ Das Öl ist mit Feststoffpartikeln verschmutzt. ▪ Einer der Pumpenschieber hängt fest. A34310882_T Seite 45 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 49: Die Oberflächentemperatur Der Pumpe Liegt Über 100 °C

    7.7 Es gibt ein externes Ölleck. ▪ Die Dichtung der Ölpumpenwelle ist abgenutzt oder beschädigt. ▪ Die Dichtung der Schmierbüchse ist abgenutzt. ▪ Es gibt ein Ölleck vom Gasballast-Steuerventil. ▪ Es gibt ein Ölleck von der Ablassschraube. A34310882_T Seite 46 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 50: Lagerung

    Beschreibung in „Installation“ vor, um sie vorzubereiten und zu installieren. Wenn die Pumpe für länger als ein Jahr gelagert wurde, reinigen und überholen Sie sie, bevor Sie sie installieren, wie in der Anleitung zum Reinigungs- und Überholungs- Kit beschrieben. A34310882_T Seite 47 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 51: Entsorgung

    Entsorgen Sie die Pumpe, das Öl und alle aus der Pumpe entfernten Bauteile sicher und entsprechend allen lokalen und staatlichen Sicherheits- und Umweltbestimmungen. Seien Sie besonders vorsichtig bei Bauteilen und Altöl, die mit gefährlichen Prozessstoffen verunreinigt sind. Fluorelastomerdichtungen und O-Ringe dürfen nicht verbrannt werden. A34310882_T Seite 48 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 52: Ersatzteile Und Zubehör

    Kondensator-Kit für Pumpe, Teilenr. A36315904 A50591800 Kondensator-Kit für Pumpe, Teilenr. A36325904 A50591800 Kondensator-Kit für Pumpe, Teilenr. A34315912 A50591811 Kondensator-Kit für Pumpe, Teilenr. A36315912 A50591811 Kondensator-Kit für Pumpe, Teilenr. A36325912 A50591811 Kondensator-Kit für Pumpe, Teilenr. A34315920 A50591812 A34310882_T Seite 49 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 53: Zubehör

    Für die Pumpen ist eine Reihe von Zubehör erhältlich, wie dargestellt in Abbildung: Zubehör. Diese Zubehörteile werden in den folgenden Abschnitten kurz beschrieben. Siehe Tabelle: Bestellnummern der Zubehörteile für die Bestellnummern dieser Zubehörteile. A34310882_T Page 50 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 54: Abbildung 13: Zubehör

    Tabelle 12 Bestellnummern der Zubehörartikel Zubehör Bestellnummer ITO20K Ansaug-Kondensatfalle A44110000 ITF20K Ansaug-Staubfilter A44215000 ITD20K Ansaug-Kondensatfalle A44510000 ITC20K Chemische Ansaugfalle A44410000 EMF20 Auslass-Ölnebelfilter A46229000 Ventil PV25EK: 200/240 V, 1-phasig, 50/60 C41301000 Ventil PV25EK: 110/127 V, 1-phasig, 50/60 C41303000 A34310882_T Page 51 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 55: Ansaug-Kondensatfalle

    Pumpeneinlass an, um beim Ausschalten der Pumpe für zusätzlichen Schutz des Systems zu sorgen. 10.2.7 Adsorptionsfalle Verwenden Sie eine Adsorptionsfalle an einem sauberen Pumpensystem, um das Rückströmen des Pumpenöldampfes der Drehschieberpumpe ins Vakuumsystem zu verhindern. A34310882_T Page 52 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 56: Schwingungsdämpfer

    Verwenden Sie diesen 3/4-Zoll-BSP-Bausatz, wenn eine externe Gasballastzufuhr oder ein Gasballastventil angebracht ist. 10.2.14 Gasballastventil Zu verwenden, um den Gasballast aus der Ferne zu steuern. Der Gasballast-Banjo/ Krümmer-Bausatz wird beim Anbringen dieses Zubehörteils ebenfalls benötigt (siehe Gasballast-Banjo/Krümmer-Bausatz Gasballast-Banjo/Ellbogen-Bausatz auf seite 53). A34310882_T Page 53 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 57: Für Pfpe Ausgelegte Em-Pumpen

    Sie sie auch nicht ein. Diese Zersetzungsprodukte können auftreten, wenn sich die Pumpe auf 260 °C oder mehr erhitzt hat. PFPE-Öle sind im normalen Gebrauch sicher, können sich jedoch zersetzen und sind äußerst gefährlich, wenn A34310882_T Seite 54 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 58 Wenn Sie eine für PFPE ausgelegte EM-Pumpe mit Fomblin-Öl befüllen, empfehlen wir, sie regelmäßig auf Öllecks zu überprüfen, insbesondere im Bereich der Wellendichtungen. ▪ Falls Sie ein Ölleck entdecken, wenden Sie sich zur Beratung an uns oder Ihren Lieferanten. A34310882_T Seite 55 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 59: Kundendienst

    Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an uns zurück. HINWEIS: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, kann Ihre Ausrüstung nicht gewartet werden. A34310882_T Seite 56 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 60 A34310882_T - Kundendienst A34310882_T Seite 57 11/2020 - ©Edwards Limited...
  • Seite 61 edwardsvacuum.com...

Diese Anleitung auch für:

E2m18

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