Index - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Index

A
Abschalten ................................................ 53
ACX-Luftkühler ........................................... 70
Analogausgang .............................................4
Anlauf ................................................ 43
Ansaugfilter ............................................... 70
Ansaugsieb (werkseitig montiert) ..................... 25
Anschließen der Logik-Schnittstelle
an den TIC ................................................ 29
Anschließen der Logik-Schnittstelle
an Ihr Steuergerät ....................................... 29
Anschließen der seriellen Schnittstelle
an Ihr Steuergerät ....................................... 31
Anschließen der Stromversorgung ..................... 29
Anschließen des Spülgases ............................. 28
Anschluss an das Vakuumsystem ...................... 23
Anschluss der Logik-Schnittstelle ..................... 18
Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage ..... 26
Anschluss eines anderen Ventils
an das Vakuumsystem ................................... 40
Anschlussbuchse des Pumpen-Moduls ................ 19
Anschluss-Stecker des Pumpen-Moduls ............... 72
Ansteuerungselektronik ...................................2
Anzeige-LEDs ............................................. 21
Ausheizen ................................................. 55
Auspacken und Überprüfen ............................ 23
B
Belüftungsflansch-Adapter ............................. 72
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten
zur Belüftungsregelung ................................. 16
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss
und -steuerung ........................................... 38
Beschreibung ...............................................1
Betrieb .................................................... 43
Betrieb bei hohen Temperaturen ..................... 54
Betrieb bei Überdrehzahl .............................. 54
Betrieb mit hohem Einlassdruck ....................... 54
Betrieb mit paralleler Steuerung und
Überwachung ............................................. 50
Betrieb mit serieller Steuerung und
Überwachung ............................................. 51
Betrieb mit Standby-Drehzahl ......................... 51
Betrieb über die parallele Schnittstelle .............. 30
Betrieb über die serielle Schnittstelle ............... 31
Betrieb unter extremen Bedingungen ........... 54
Betriebs- und Lagerungsumgebung ................... 21
Blinksignal-Fehlercodes ................................. 62
BX-Heizmanschette ...................................... 71
D
Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien .... 17
Druckluftkühlung ........................................ 41
DX-Pumpe mit einem TIC konfigurieren .............. 49
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E
Einführung ....................................1
Einlassflansch-Dichtungen .............................. 70
Einstellung der Leistungsgrenze .................... 3
,
50 Einstellung der Normaldrehzahl .................... 5
Einstellung der Standby-Drehzahl ..................... 45
Elektrische Daten ........................................ 18
Elektroinstallation ....................................... 28
Elektromagnetisches Belüftungsventil TAV5
oder TAV6 ................................................ 39
Elektronische Bremsoptionen .......................... 47
Elektronisches Abbremsen ............................... 5
Empfohlener Spülgasdurchfluss ....................... 28
Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter .............. 63
Entsorgung ................................................ 67
Erdungs- (Masse-) Anschlüsse .......................... 28
Ersatzteile ................................................ 70
F
Fehler in der Stromversorgung ........................ 55
Fehlersuche .............................................. 60
FL20K Adsorptionsfalle ................................. 72
Funktionsmerkmale ....................................... 3
G
Gemessene Motordrehzahl ............................. 53
Geregelte Belüftung .................................... 39
Gleichzeitiger paralleler und serieller
Betrieb ................................................34
I
Installation ...........................................23
ISX-Ansaugsieb ........................................... 70
K
Konfiguration des Pumpen-Moduls (serielle
Einstellung (Setup)) ....................................... 7
Kontrollen vor der Inbetriebnahme ................... 50
Kühlwasser ............................................... 17
Kundendienst ............................................. 69
L
Lagerung .................................................. 67
,
55
Lagerung und Entsorgung .............................. 67
Lagerwartung ............................................ 59
Lebensdauer des Rotors ................................ 59
Logik-Schnittstelle ........................................ 5
M
Manuelles Belüftungsventil ............................ 38
Mechanische Befestigung ............................... 26
Meldungsprotokoll ....................................... 33
B722-40-882 Issue E
, , ,
28 40 59
,
43
,
45
,
53
,
70
Seite 75