Gemessene Motordrehzahl; Gleichzeitiger Paralleler Und Serieller Betrieb; Betrieb Mit Einem Tic; Verlangsamen Und Belüften - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

Sie erhalten die folgende Antwort, wobei sich die erste Zahl auf die Spannung bezieht (gemessen in 0,1 V – d.h., Sie
müssen die Zahl durch 10 teilen, um eine Antwort in Volt zu erhalten), die zweite bezieht sich auf die Stromstärke
(gemessen in 0,1 A), und die dritte Zahl bezieht sich auf die Motorleistung (gemessen in 0,1 W):
Antwort = v 8
4.5.7

Gemessene Motordrehzahl

Sie können die gemessene Drehzahl des Motors in der DX-Pumpe überwachen, indem Sie die folgende Abfrage senden:
Sie erhalten die folgende Antwort, wobei sich die erste zurückgesendete Zahl auf die Motordrehzahl in Umdrehungen
pro Sekunde (Hz) bezieht:
Antwort = v
Hinweis: Die zweite zurückgesendete Zahl ist ein 32-Bit Systemstatus-Wort (eine Gruppe von 8 Sedezimal-
Zeichen), das bei der Fehlersuche hilfreich ist. Hinweise zur Entschlüsselung des Systemstatus-Worts
finden Sie in
4.6

Gleichzeitiger paralleler und serieller Betrieb

Hinweis: Es ist nicht möglich, die Überwachung über die serielle Schnittstelle zu nutzen und die Pumpe
gleichzeitig im Steuerungsmodus über die parallele Schnittstelle mit Standby-Drehzahl zu betreiben,
weil die beiden Funktionen dieselben Pins der Logik-Schnittstelle nutzen.
Die analogen Ausgangssignale stehen immer zur Verfügung, unabhängig davon, ob Sie Befehle im parallelen oder
seriellen Steuerungsmodus senden. Die analogen Ausgangsspannungen sind in
4.7

Betrieb mit einem TIC

Für den Betrieb mit einem Edwards Turbo Instrument Controller oder TIC Turbo Controller kann die DX-Pumpe direkt
an den Controller angeschlossen werden, der den für den Betrieb der DX-Pumpe notwendigen Strom liefert. Weitere
Hinweise zur Einstellung und zum Betrieb des TIC oder TIC Turbo Controller finden Sie auf der CD-ROM mit der
Teilenummer D397-00-879, die mit dem TIC oder TIC Turbo Controller geliefert wird.
4.8 Verlangsamen und Belüften
Sofort nach Anwendung des Stop-Befehls (unabhängig davon, ob über die parallele oder die serielle Schnittstelle oder
über den TIC) schalten Sie die Vorvakuumpumpe aus. Belüften Sie anschließend die Pumpe entsprechend den in
Abschnitt 3.8 gegebenen Anweisungen.
Öffnen Sie ein manuelles Belüftungsventil erst, nachdem die Pumpendrehzahl unter 50 % gefallen ist;
sonst könnte der Druck zu schnell ansteigen und dadurch zu Schäden an der Pumpe führen. Nur in einem
Notfall dürfen Sie das Belüftungsventil schnell öffnen, um den Pumpenrotor in der kürztestmöglichen Zeit
zu verlangsamen.
Hinweis: Wenn Sie das Pumpen-Modul zur Steuerung eines TAV-Magnetventils verwenden, gibt es eine
Verzögerung von 2 Sekunden zwischen einem empfangenen Stop-Befehl oder einer erkannten
Fehlerbedingung und der Öffnung des Belüftungsventils. Diese Verzögerung bietet die Möglichkeit, dass
Messgeräte, Ventile und andere Einrichtungen ausgeschaltet werden, bevor die Belüftung erfolgt.
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6 0 sp d d
Befehl
8 5 2 sp d d
Abschnitt 5.5.2.
VORSICHT
d ; d d d
? v 8 5 2
d d ; h h h
Tabelle 9
B722-40-882 Issue E
; d d d d d
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h h h h h
beschrieben.
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