Mechanische Befestigung; Anschluss Des Einlassflansches Und Einbaulage - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung

B722-40-882 Issue E
3.3.2

Mechanische Befestigung

Nehmen Sie die Pumpe nicht in Betrieb, solange sie nicht sicher befestigt ist. Wenn die Pumpe
festsitzt, kann die gespeicherte Energie des Rotors eine schnelle Bewegung der Pumpe
verursachen, die zu weiteren Schäden an der Anlage und zu Verletzungen von Personen
führen kann.
Es gibt zwei Möglichkeiten, wie die EXT-Pumpe sicher befestigt werden kann. Idealerweise sollte der Einlassflansch
der DX-Pumpe auf einem feststehenden, sicher befestigten Vakuumsystem angeschlossen werden – siehe
Abschnitt 3.3.3. Falls dies aufgrund der Art des Vakuumsystems nicht möglich ist, ist der Pumpenfuß auf einer
festen Auflage zu befestigen – siehe
3.3.3

Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage

Die Pumpe kann über den Einlassflansch am Vakuumsystem befestigt werden. Die Pumpe kann in einer beliebigen
Einbaulage von der Vertikalen und aufrecht bis zur Waagrechten (±2°) montiert werden. Wenn die Pumpe in
horizontaler Lage montiert wird und Sie eine Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe zur DX-Pumpe verwenden,
sollte der Vorvakuumanschluss vertikal nach unten (±20°) zeigen, um die Gefahr der Verunreinigung durch Öl aus der
Vorvakuumpumpe zu verringern.
Stellen Sie sicher, dass der Einlassflansch der Pumpe und alle daran montieren Komponenten sauber und staubfrei
sind. Wenn der Einlassflansch der Pumpe nicht sauber gehalten wird, kann dies zu längeren Abpumpzeiten führen.
Die Einlassanschlüsse für die EXT75DX sind CF-Flansch, ISO-Flansche und der KF-Flansch. Die Einlassanschlüsse für die
EXT255DX sind CF- und ISO-Flansch:
Wenn die Pumpe einen CF-Flansch hat, verwenden Sie die der Pumpe beiliegende Kupfer-
Kompressionsdichtung und einen vollen Satz Schrauben, um den Einlassflansch der Pumpe an das
Vakuumsystem anzuschließen.
Wenn die Pumpe einen ISO-Flansch hat, verwenden Sie den ebenfalls zum Lieferumfang der Pumpe
gehörenden Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring und mindestens vier Flanschklemmen (die jeweils
mit einem Drehmoment von 10 Nm anzuziehen sind), um den Einlassflansch der Pumpe mit dem
Vakuumsystem zu verbinden. Alternativ können Sie für den Anschluss einen drehbaren Flansch und den der
Pumpe beiliegenden O-Ring verwenden. Nehmen Sie zur Befestigung des drehbaren Flanschs einen vollen
Satz Schrauben.
Wenn die Pumpe einen KF-Flansch hat, verwenden Sie die der Pumpe beiliegende Co-seal-Dichtung und eine
passende KF-Klemme, um den Einlassflansch der Pumpe an das Vakuumsystem anzuschließen. In diesem Fall
müssen Sie Ihre Pumpe auf einer festen Unterlage fixieren, wie in
Alle Schrauben des Einlassflanschs sind nachzuziehen, sobald sich das System unter Vakuum befindet. Sorgen Sie
dafür, dass keine Drehmomente oder anderen Kräfte vom Vakuumsystem oder damit verbundenen Rohrleitungen auf
die Pumpe übertragen werden. Montieren Sie, sofern erforderlich, einen Schwingungsisolator zwischen den
Einlassflansch der Pumpe und das Vakuumsystem (siehe
festen Unterlage fixieren, wie in
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WARNUNG
Abschnitt 3.3.4 für weitere Anweisungen zu dieser Befestigungsart.
Abschnitt
Abschnitt 3.3.4 beschrieben.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt 3.3.4 beschrieben.
7.4). In diesem Fall müssen Sie Ihre Pumpe auf einer
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