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Edwards EXT75DX Betriebsanleitung Seite 6

Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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B722-40-882 Issue E
3.7
Betrieb über die serielle Schnittstelle ............................................................................... 31
3.7.1
Anschließen der seriellen Schnittstelle an Ihr Steuergerät .......................................................31
3.7.2
3.7.3
Serielles Protokoll ...................................................................................................... 32
3.7.4
Meldungsstruktur ........................................................................................................33
3.7.5
Verfügbare Befehle .....................................................................................................34
3.7.6
Gleichzeitiger paralleler und serieller Betrieb ..................................................................... 34
3.7.7
Multidrop-Modus ........................................................................................................38
3.8
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung ................................................. 38
3.8.1
Manuelles Belüftungsventil ............................................................................................38
3.8.2
Elektromagnetisches Belüftungsventil TAV5 oder TAV6 ..........................................................39
3.8.3
Geregelte Belüftung ....................................................................................................39
3.8.4
Anschluss eines anderen Ventils an das Vakuumsystem ..........................................................40
3.9
Kühlung ................................................................................................................... 40
3.9.1
Einführung ............................................................................................................... 40
3.9.2
Druckluftkühlung ........................................................................................................41
3.9.3
Wassergekühlte Ausführung ...........................................................................................41
4
Betrieb ........................................................................................... 43
4.1
DX-Pumpe mit seriellen Befehlen konfigurieren ................................................................... 43
4.1.1
Einstellung der Leistungsgrenze ...................................................................................... 43
4.1.2
Stromversorgung eines Lüfters vom Pumpen-Modul aus ..........................................................44
4.1.3
Optionen für eine geregelte Belüftung .............................................................................. 44
4.1.4
Einstellung der Standby-Drehzahl .................................................................................... 45
4.1.5
Einstellung der Normaldrehzahl ...................................................................................... 45
4.1.6
Timer-Einstellung und -Optionen ..................................................................................... 46
4.1.7
Optionen für Analogsignal .............................................................................................47
4.1.8
Elektronische Bremsoptionen ......................................................................................... 47
4.1.9
Werkseitige Einstellungen .............................................................................................48
4.1.10
Zuweisen einer Multidrop-Adresse ................................................................................... 48
4.2
DX-Pumpe mit einem TIC konfigurieren ............................................................................. 49
4.3
Anlauf ..................................................................................................................... 50
4.3.1
Schließen des Belüftungsventils ...................................................................................... 50
4.3.2
Kontrollen vor der Inbetriebnahme .................................................................................. 50
4.4
Betrieb mit paralleler Steuerung und Überwachung ..............................................................50
4.4.1
Starten der Pumpe ......................................................................................................50
4.4.2
Betrieb mit Standby-Drehzahl ........................................................................................ 51
4.4.3
Stop der Pumpe .........................................................................................................51
4.4.4
Parallele Überwachung ................................................................................................51
4.5
Betrieb mit serieller Steuerung und Überwachung ................................................................51
4.5.1
Verzögerter Start .......................................................................................................51
4.5.2
Starten der Pumpe ......................................................................................................51
4.5.3
Standby-Drehzahl .......................................................................................................52
4.5.4
Stop der Pumpe .........................................................................................................52
4.5.5
Temperaturwerte .......................................................................................................52
4.5.6
Werte der Verbindungsparameter .................................................................................... 52
4.5.7
Gemessene Motordrehzahl ............................................................................................53
4.6
Gleichzeitiger paralleler und serieller Betrieb ..................................................................... 53
4.7
Betrieb mit einem TIC .................................................................................................53
4.8
Verlangsamen und Belüften ...........................................................................................53
4.9
Betrieb unter extremen Bedingungen ............................................................................... 54
4.9.1
Betrieb mit hohem Einlassdruck ...................................................................................... 54
4.9.2
Betrieb bei hohen Temperaturen .................................................................................... 54
4.9.3
Betrieb bei Überdrehzahl ..............................................................................................54
4.9.4
Fehler in der Stromversorgung ........................................................................................ 55
4.10
Ausheizen ................................................................................................................ 55
5
Wartung .......................................................................................... 59
5.1
Einführung ............................................................................................................... 59
Seite ii
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