Typisches Pumpsystem Mit Einer Dx-Pumpe - Edwards Ext75Dx Betriebsanleitung
Ext-compound-t urbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
B722-40-882 Issue E
Installieren Sie die Pumpe im Vakuumsystem, bevor das Kabel der Logik-Schnittstelle mit dem
Steuergerät verbunden wird und bevor die Stromversorgung angeschlossen wird. Damit wird
sichergestellt, dass die Pumpe nicht versehentlich in Betrieb gehen und Menschen
verletzten kann.
Wir empfehlen, dass das System nach Abschluss der Installation auf Lecks geprüft wird.
1. Vakuumsystem
2. Hochvakuum-Messgerät
3. Schwingungsdämpfer
4. Ansaugsieb
5. DX-Pumpe
6. Ventil der Vorvakuumpumpe
7. Vakuum-Messgerät
8. Wellschläuche
9. Adsorptionsfalle
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WARNUNG
Abbildung 5 – Typisches Pumpsystem mit einer DX-Pumpe
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
10. Drehschieber-Vorvakuumpumpe
11. Ölnebelfilter
12. Belüftungsventil
13. Alternative Position für
Belüftungsventil
14. Luftkühler
15. PRX-Spülgas-Drosselventil
16. Geregelte Spülgaszufuhr
17. WCX-Wasserkühler und Anschlüsse
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
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