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Betrieb; Inbetriebnahme; Standby-Betrieb; Abschalten - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
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4

Betrieb

Nehmen Sie die Pumpe EXT556H erst in Betrieb, wenn sie an Ihr Vakuumsystem angeschlossen ist.
Wenn Sie dies nicht beachten, kann der Pumpenrotor Verletzungen verursachen.
Der Pumpenrotor dreht sich mit sehr hohen Drehzahlen, und die Rotorblätter sind möglicherweise
nicht sichtbar.
4.1

Inbetriebnahme

Um ein manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem EXC250- oder EXC300-
Controller in Betrieb zu nehmen, gehen Sie so vor, wie nachfolgend beschrieben. Weitere Hinweise finden Sie in der
Betriebsanleitung zum Controller.
1. Drehen Sie das manuelle Belüftungsventil im Uhrzeigersinn, um es zu schließen.
2. Öffnen Sie die Kühlwasserzufuhr (sofern mit Wasserkühlung gearbeitet wird), oder schalten Sie die
Stromversorgung des Luftkühlers ein.
3. Starten Sie die Vorvakuumpumpe.
4. Wenn der Druck im Vakuumsystem 10 mbar oder weniger beträgt, starten Sie die Pumpe über die Start-/Stop-
Taste des Controllers oder den entsprechenden Signalbefehl an den Controller.
5. Die Pumpe beschleunigt nun auf volle Betriebsdrehzahl.
4.2

Standby-Betrieb

Der Controller EXC250 verfügt über eine Standby-Option mit einer Drehzahl von 95 %. Sie kann verwendet werden,
um Überlagerungsphänomene zwischen zwei Pumpen des Typs EXT556H in einem System zu vermeiden. Weitere
Einzelheiten sind der Anleitung zum Controller zu entnehmen.
Auch der EXC300 hat eine Standby-Option, die mit Hilfe der Standby-Taste auf der Vorderseite des Controllers
betätigt wird. Sie betreibt die Pumpe mit 70 % ihrer Drehzahl. Hiermit kann eine Erhöhung des Systemdrucks
ermöglicht werden, wenn dies für einen bestimmten Prozess vorteilhaft ist. Allerdings sollten Sie die Pumpe in dieser
Betriebsart nicht über lange Zeiträume laufen lassen, da die Pumpe nicht für einen Dauerbetrieb mit dieser Drehzahl
ausgelegt ist.
4.3

Abschalten

Um ein manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem EXC-Controller
abzuschalten, gehen Sie so vor, wie nachfolgend beschrieben. Die entsprechenden Hinweise für ein System, bei dem
die Vorvakuumpumpe und das Zubehör vom EXC-Controller gesteuert werden, finden Sie in der Betriebsanleitung zum
Controller.
1. Schließen Sie das Ventil in der Vorvakuumleitung, mit der die Pumpe EXT556H mit der Vorvakuumpumpe
verbunden ist.
2. Drücken Sie die Start/Stop-Taste auf dem EXC-Controller, um die EXT556H abzuschalten.
3. Wenn die Drehzahl der EXT556H auf 50 % der vollen Drehzahl gefallen ist, drehen Sie das Belüftungsventil gegen
den Uhrzeigersinn, um es zu öffnen. Achten Sie darauf, dass der Druck nicht schneller ansteigt als zulässig, sonst
kann die Pumpe beschädigt werden. Siehe hierzu die Abschnitte
4. Wenn die Pumpe mit Wasserkühlung betrieben wird, warten Sie, bis die Pumpe vollkommen zum Stillstand
gekommen ist, und drehen Sie danach die Kühlwasserzufuhr ab.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
3.4
und 2.3.
B777-50-882 Issue C
Seite 21
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Diese Anleitung auch für:

Ext556hf

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